Устройство для герметизации электровакуумных приборов с помощью заглушки

 

(72) Авторы изобретения

Г. В. Конюшков, О. 10. Жевалев, А. Я, Эоркин, В, П. Шумарин, В. С. Украинский, Н. А. Белохвостов и В. Г.,Кузнецов

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к оборудованию для откачки и герметизации электровакуумных приборов (ЭВП).

Известно устройство для герметизации

ЭВП с помощью заглушки, содержащее печь обезгаживания, откачную систему, высоковакуумную камеру, герметично сое-. диненную с обрабатываемым прибором уплотняющим фланцем и прокладкой, на

0 греватель, охватывающий герметизируемый участок прибора и заглушку, и меха ниэм перемещения заглушки, установленный внутри высоковакуумной камеры tl).

Однако известное устройство обладает следующими недостатками: при подаче усилия герметизации на заглушку возможна разгерметизация соединения прибора с

Ъысоковакуумной камерой, фланцевое соединение прибора с высоковакуумной к мерой, где усилие герметизации создает ся шпильками, не позволяет механизировать процессы соединения и разъединения

:прибора с высоковакуумной камерой, указанное устройство не позволяют также соединять прибор с высоковакуумной камерой по мягкой оболочке прибора.

Известно устройство для герметизации

ЗВП с помощью заглушки, содержащее печь обеэгаживания, откачную систему, высоковакуумную камеру, соединенную с обрабатываемым прибором через уплотняющий фланец и прокладку, механизм перемещения заглушки, установленный внутри высоковакуумной камеры, нагреватель, охватывающий герметиэируемый участок прибора и упругие элементы (2 1.

В таком устройстве соединение прибора с высоковакуумной камерой осуществляется уплотняющим фланцем и прокладкой, где усилие уплотнения, создаваемое шпиль вами, направлено навстречу усилию герметизации, подаваемому на заглушку, и поэтому из-за деформации уплотняюшего материала прокладки и в результате этого ослабления шпилек в процессе обезгаживания прибора в момент приложения усилия герметизации на заглушку возмож102 4

13 через сменньш наконечник 16. Заглушка 10 упирается в штенгель 2, и производится сжатие упругого элемента 12 до необходимого усилия, после чего площад- . ка 13 фиксируется на тягах 5 фиксаторами 14. Из схемы видно, что усилии упругих элементов 8 и 12 передаются по разным силовым цепочкам. Для разгружения упругих элементов 8 и 12 механизм давления 15 давит на площадки 7 и 13, вынимаются фиксаторы 6 и 14 и разжимаются упругие элементы 8 и 12, после чего разводятся ползуны 1, и прибор 3 снимается с высоковакуумной камеры 9.

Применение упругого элемента для создания усилия уплотнения прибора с высоковакуумной камерой в процессе вакуумно-термической обработки позволяет компенсировать деформацию уплотняющего материала прокладки, а связь механизма перемещения заглушки сполэунами чег рез тяги развязывает усилие герметизации прибора заглушкой и усилие уплотне25 ния прибора с высоковакуумной камерой.

Тем самым исключается возможность разгерметизации прибора с высоковакуумной камерой в процессе вакуумно-термической обработки и при подаче усилия на эаглушзо ку. Применение ползунов и упругих элементов позволяет механизировать процессы соединения и разъединения прибора с высоковакуумной камерой и процесс его герметизации заглушкой.

Списанное выше устройство исключает возможность разгерметизации прибора с высоковакуумной камерой на всем протяжении вакуумно-термической обработки прибора и его герметизации заглушкой

4О даже если обрабатываемый прибор соединен с высоковакуумной камерой по мягкой оболочке прибора, Устройство может быть использовано иа конвейерных машинах для откачки ЗВП с герметизацией эаглуш45 кой, что позволит механизировать процессы соединения и разъединения прибора с высоковакуумной камерой и процесс его герметизации заглушкой, увеличить произ

50 водительность оборудования в 2 раза.

L Устройство для герметизации. электр ровакуумных приборов с помощью заглушки содержащее печь обеэгаживания, от качную систему, высоковакуумную камеру, соединенную с обрабатываемым прибором

3 686 на разгерметизация прибора с высоковакуумной камерой. Этот эффект особенно существенен при соединении прибора с высоковакуумной камерой по мягкой оболочке прибора, где деформация уплотняюшего

;мат риала большая..Фланцевое соединение прибора с высоковакуумной камерой «е позволяет также механизировать процессы соединения и разъединения прибора с высоковакуумной камерой.

Целью данного изобретения является механизация процесса герметизации.

Поставленная цель достигается тем, что устройство снабжено ползунами, схо . дящимися при движении в направляющих иа щтенгеле прибора и связанных через тяги1 фиксаторы площадку и упругий элемент с высоковакуумной камерой, а механизм перемещения заглушки связан с ползунами через соответствующие упругий элемент, плошадку и фиксаторы, взаимодействующие с упомянутыми тягами, причем ползуны выполнены в виде полуфланцев, а упругие элементы выпол-в I иены в виде тарельчатых пружин.

На чертеже изображено предлагаемое устройство.

Устройство состоит из двух ползунов

1, сходящихся на штенгеле или оболочке

2 приборов 3 при движении в направлян щих 4, связанных через тяги 5, фиксаторы 6, площадку 7 и упругий элемент 8 с высоковакуумной камерой 9, механизма перемещения заглушки, включающего в себя заглушку 10 и сильфонный узел со штоком 11, связанным с ползунами 1 через упругий элемент 12, площадку 1 3, фиксаторы 14, и тяги 5, механизма давления 15 со сменным наконечником 16, откачной системы 17, печи обезгаживания 18 и нагревателя 19.

Устройство работает следующим образом, .

После установки прибора 3 на высоковакуумную камеру 9 сводятся ползуны 1 на штенгеле 2, после чего механизм давления 15 давит на площадху 7, сжимая упругий элемент 8. После создания необходимого усилия площадка 7 фиксируется на тягах 5 фиксаторами 6, создавая постоянное усилие прижатия штенгеля 2 к высоковакуумной камере 9 за счет упругого элемента 8, Затем производится откачка и обработка прибора. Для герметизации прибора заглушка нагревается нагревателем 19 или электродной системой прибора 3 или печью обезгаживания 18, и механизм давления 15 давит на плошадку

Формула изобретения

686 102

6 через уплотняюший фланец и прокладку, механизм перемещения заглушки, установ ленный внутри высоковакуумной камеры, > нагреватель, охватываюший герметиэируемый участок прибора и упругие элементы, отличаюшеес я тем, что, с целью механизации процесса герметиза»ции, устройство снабжено ползунами, схо» дящимися при движении в направляющих на штенгеле прибора и связанных через тяги, фиксаторы, площадку и упругий элемент с высоковакуумной камерой, а механизм перемещения заглушки связан с поаэунами через соответствующие упругий элемент, площадку и фиксаторы, взаимодействующие с упомянутыми тягами.

2. Устройство по и. 1, о т л и ч аю ш е е с я тем, что ползуны вынос . иены в виде двух полуфланцев.

3. Устройство цо и. 1> о т л и ч аю ш е е с я тем> что в качестве упругих элементов использованы тарельчатые пру- жины.

Источники информацяи, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Хю 465674, кл. Н 01 Т 9/38, 1968.

2. Авторское свидетельство СССР

М 472397, кл. Н 01 У 9/38, 1973 (прототип).

БНИИПИ Заказ 5472/52

Тираж 923 Подписное

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4