Способ получения вакуума

 

(» 827336

GПйСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

P;I<)„6(f T(:.iIIi)!

1:)(()<З1!ИетиЧЕОИИ:<

i I.I:II > III! I(й„, ф (61) Дополнител! Пос и авт. свид-ву-(22) Заявлено 20.06.79 (2)! ) 2781671 25-0() ()l) 31 Клз

l= 04 В 37./02

С П О Н(0 С д1111 01! Н с М 3 Я 5! В К И,Ъ вЂ”вЂ”

1осудерстееииой комитет

СССР.л делам изобретений и открытий (23) Приоритст —(43) 0()у(;л икова но (7.05.81. Бюл Ic Tc !! I,Õ) 17 ! (45) Дата 01!сб:1 5!I<îâÿíèÿ Описания 07.05.81. (53) УД1(621.528.3 (088.8) (72) Автор

В. И. Месеняип!н из о б р ст с I i I I 51 (71) Заявитель (,)41 СПОС015 ПОЛЪ 1Е11ИЯ В, KVYVti((1

Известен способ получения вакуума, Включающий откачку газа насосами с масляным уплотнением через сор бционную loвун(ку (11.

При получении Вакуума с использованием известного способа не исключена возмо>кнОсть сор опии fIBpOB Воды и др1 г1!.< компонентов откачивасмой смеси, что сии;кает смкост1 сороспта по пара vI масла и п05!и)кает эффсктиВность ".я",!пнт! р<нипнс ита от обратного потока паров.

Целью изобретения является повышение защиты реципиента от паров масла.

Цель достигается тем, что сорбент в:10вушке нагревают до температуры более высокой, чем температура десорбции компонентов откачиваемой смеси газоВ и паров воды, но меньшей, чем тсмпсрятуря дссорбЦИ1! ПЯРОВ МЯСЛЯ.

Нагрсганис сорбента I: ловушке в npoIIессе вакуумироваиия нс вызывает дополнит(льны; трудностей реализации спосооя, тяк как практически всс вакуумные сис!смы с ловуип<ами снабжены нагревателями

;! l5! lIcp Il 0jIII IcскО и pc f cllnl) 3 II I 11 с(; рб вита и нроцесс(подг()товки и Обслу)кивяии5! такик систем.

С 1ЦПО ITh (f1000()Я 1105Ic!I510T051 (леД(!О! цим примером (го осуществлсf!IIH, 2

Ловушку заполняют активировянным углем марки СКТ-2 и производят предварительну(о регенерацию сорбента прогревом при 200 — 300 С. При этом проис.<одит удя5 ление предварительно сорбировапной воды, газов и паров мас".à. Затем сн!<жа)от темпе. ратуру сорбента в ловушке до 130 С и поддер)кива!От ее на этом уровне в течение Всего времени работы. После 300 циклов от10 качки реципиента объемом 50 л от aT»I(>сфсрного давления до 1 10- мм рт. ст. следов масла в спектре остаточных газов не обнаруживается. Врез!я откачки реципиент:! оста стся неизмеш)ым.

Благодаря повышенной температуре сорбента сорбция паров воды и газов прак II:!(., <н (, 1:!1;1 к:i сл!o, !) () 1 Р()III 1 1к и.<ры масла активно !тоглощапот(я.

20 (1 A 1) ..(1 3 с! я и 3 О б р (T (н и я >;> (.пособ получения вакуума, вкл!очак)щий Откачку газа насосами с масляным vllлотненисм (ерез сорбцнонную ловупп у, î T,I и I а ю щ f! и с!1 тем, что, с Ilелью повышения эффектнвн<)(ти зян1иты реципиента от

3Q паров масла, сорбе)гг Вл,овушке нагревают

82783Г>

8 до температуры более высокой, чем температура десорбции компонентов откачиваемой смеси газов и паров воды, но меньшей, чем температура десорбции паров масла.

ИстОчники информацРш, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Англии Ко 1057357, кл, F 11 1, опубл. 1965.

Составигсль И. Юшин

Техред И. Заболотнова

Редактор Т. Юрчикова

Корректор А. Степанова

Поди иснос

Заказ 375

Тира>к 712

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 7Ê-35, Раушская наб., д. 4/5

Загорская типография Упрполиграфиздата Мособлисполкогяа

Способ получения вакуума Способ получения вакуума 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх