Устройство для токовой подгонкитонкопленочных резисторов

 

Оп ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сокрз Советскик

Социалистическин

Республик (1)834784 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 27.04. 79(21) 2765013/18-21 с присоединением заявки,% (23) Приоритет (51)M. Кл.

Н 01 С 17/00

Государственный комитет

СССР

Опубликовано 30. 05. 81. Бюллетень № 20

Дата опубликования описания 02.06.81 па делам изобретений н открытий (5З) ЙК621. 316. .849(088.8) (72) Авторы изобретения

А. Б. Крылов (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТОКОВОЙ ПОДГОНКИ

ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ

Изобретение относится к микро-. электронике и может быть использовано при изготовлении прецизионных резйсторов .

Известно устройство для токовой подгонки тонкопленочных резисторов, содержащее источник тока, подключен- ный через реостат к подгоняемому резистору и измеритель величины сопротивления, выполненный по мостовой cxeÃ1 3.

Однако изменение тока подгонки в этом устройстве осуществляется вручную путем перемещения движка реостата что обуславливает низкую произвоЭ

15 дительность процесса подгонки, кроме того, устройство имеет два источника питания.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности явпяется устройство для токовой подгонки тонкопленочных резисторов, содержащее ис- точник переменного напряжения, первый вывод которого соединен с одной из вершин измерительного моста и компаратор, включенный в первую диагональ измерительного моста 12).

Однако известное устройство сложно из-за наличия генератора нарастающих по мощности импульсов, управляющего генератора, схемы запоминания и управления, а надежность его,определяемая наличием механического коммутатора, и производительность, определяемая количеством импульсов и скоростью нарастания их мощности, недостаточны.

Цель изобретения — повышение быстродействия и упрощение конструкции.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для токовой подгонки тонкопленочных резисторов, содержащее источник переменного напряжения, первый вывод которого соединен с одной из вершин измерительного моста и компаратор, включенный в первую диагональ измерительного моста, снабжено управляемыми ключевыми элементами, причем второй вывод источника переменного

3 8347 напряжения через первый управляемый ключевой элемент соединен с другой вершиной измерительного моста, а во вторую диагональ измерительного моста включен второй управляемый ключевой элемент, управляющий вход которого соединен.с выходом компаратора, а управляющий вход первого управляемого ключевого элемента соединен со входом запуска устройства. IO

На чертеже представлена блок-схема устройства для подгонки тонкопленочных резисторов.

Устройство содержит генератор 1, мостовую измерительную схему 2 с ре- 15 зистОрами В1 R Й11 R р Где R II u

Rg — соответственно подгоняемый и эталонный резисторы, компаратор 3, включенный в диагональ мостовой измерительной схемы, электронные тиристорные ключи 4 и 5 управляемые ключевые элементы), из которых первый тиристорный ключ (4) включен последовательно между генератором и мостовой измерительной схемой, а второй 5 25 параллельно мостовой измерительной схеме, вход 6, через который произо водится запуск устроиства. !

Устройство работает следующим образом.

Генератор 1 непрерывно вырабатывает последовательность импульсов одной, например,.положительной полярнОсти ° Запуск устрОйства Осуществля ется подачей запускающего импульса на вход тиристорного ключа 4 от специальной схемы запуска в момент начала импульса. При этом тиристорный ключ 4 открывается и будет открыт в течение всего. времени прохождения импульса.

Через открытый ключ 4 напряжение от генератора I прикладывается к закрытому тиристорному ключу 5 и мостовой измерительной схеме 2, через которую протекает электрический ток, вызывающий подгонку резистора RI,. В момент, когда сопротивление эталонного и подгоняемого резисторов совпадет, компаратор 3 включает тиристорный ключ 5, который замыкает мостовую схему; при этом не используемая для подгонки часть импульса проходит через включенный тиристорный ключ 5, и процесс подгонки прекращается, тиристорные ключи 4 и 5 возвращаются в исходное состояние.

В предлагаемом устройстве электронные ключи предназначены для форми84 4 рования одного импульса тока подгонки специальной формы из напряжения, например, силовой электрическоЙ сети или другого генератора. Ключ 4 подключает схему подгонки и измерений в момент, синхронный с. началом периода, формируя фронт импульса, а ключ 5 формирует крутой срез импульса в момент совпадения сопротивлений эталонного и подгоняемого рвзисторов. Таким образом, с помощью электронных ключей формируется один импульс специальной формы с дозированной энергией, которая необходима для подгонки резистора в номинал.

Так как подгонка резистора выполняется всего одним импульсом, у которого относительно .*Ологий фронт, а крутой срез формируется быстродействующим ключом 5, мощность в подгоняемом резисторе непрерывно и монотонно (а не дискретно возрастает, проходя все значения от нуля до максимального значения. Это обуславливает возможность подгонки резисторов различных номиналов и типоразмеров. При этом отпадает необходимость в .программируемом изменении параметров нарастающих по мощности импульсов, а следовательно, и в их контроле и запоминании.

Сопротивление подгоняемого резистора непрерывно контролируется в процессе подгонки мостовой измерительной схемой с высокой точностью, определяемой точностью эталонного резистора, высокой чувствительностью компаратора и высоким напряжением, приложенным к мосту. Так как измерение выполняется быстродействующим нуль-органом, точность подгонки практически не зависит от времени подгонки. Это позволяет выполнять подгонку резисторов за очень короткое время с предельной точностью, поэтому нет необходимости устанавливать допуск на номинал.

Предлагаемое устройство позволяет при простоте схемы управления бесконтактно коммутировать большие элект; рические токи через подгоняемый резистор, существенно расширяя диапазон номиналов и мощностей подгоняемых резисторов. Построение схемы устройства позволяет использовать для подгонки импульсы различной формы с пологим фронтом (треугольные, колокольные, синусоидальыые и т.д.) в качестве генератора импульсов используют выпрямленное напряжение силовой электричес5 8347 кой сети. В предлагаемом устройстве повышается также производительность, так как подгонка осуществляется всего одним электрическим импульсов.

Формула изобретения

Устройство для токовой подгонки тонкопленочных резисторов, содержащее источник переменного напряжения, первый вывод которого соединен с одной иэ вершин измерительного моста и компаратор, включенный в первую диагональ измерительного моста, о т л и ч а ю-

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

¹ 232352, кл. Н 01 С 17/00, 1967.

2. Патент Франции № 2098496-, кл. Н 01 С 17/00, 1970 (прототип) .

Заказ 4113/80 Тираж 784

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж- 35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель 0. кудрвьцева

Редактор И. Ковальчук Техред Л. Пекарь Корректор Ю. Макаренко