Вакуумный сорбционный насос

 

(72) Авторы изобретения

И. М. Шухман, В. П. Щеголев и Е. Н. С (73) Заявитель

М осковский aasog Сапфир (54) ВАКУУМНЫЙ СОРБЦИОННЫЙ HACOC

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен вакуумный сарбционный насос, содержащий гофрированный корпус с присоединительным фланцем и днищем, соеS диненными штоком, и сорбент, закрепленный на внутренней поверхности корпуса fl).

Однако в этом насосе время откачки достаточно велико из-эа низкой степени теплопередачи между гранулами со бента и между стенкой корпуса и сорбентом, так как последний, расположенный в гофрах стенки корпуса, поджат только гравитационными силами к нижней плоскости гофра.

Цель изобретения - сокращение времени достижения предельного вакуума.

Указанная цель достигается тем, что корпус выполнен из высокотеплопроводной фольги, его гофры контактируют 1а между собой наружными поверхностями, а сорбент имеет волокнистую структуру.

На чертеже изображен насос, продольный разрез.

Вакуумный сорбциониый насос содержит гофрированный корпус 1 с присоединительным фланцем 2 и днищем 3, соединенными штоком 4, и сорбент 5 закрепленный на внутренней поверхности корпуса 1, выполненного из высокотеплопроводной фольги его гофры контактируют между собой наружными поверхностями, а сорбент 5 имеет волокнистую структуру. Корпус 1 помещен в сосуд 6 Дьюара.

Насос работает следующим образом.

Корпус 1 помещают в сосуд 6 Дьюара.

Тепло, содержащееся в корпусе 1 насоса и сорбенте 5, быстро отбирается через тецлопроводную фо пгу, после чего происходит сорбция газа.

Формула изобретения

Вакуумный сорбционный насос, содержащий гофрированный корпус с присоединительным фланцем и днищем, соединенными

3 8467 82 4 штоком, и сорбент, закрепленный на внут- жду собой наружными поверхностями, а ренней поверхности корпуса,о т л н ч а ю- сорбент имеет волокнистую структуру. ш и и с я тем, что, с целью сокращения Источники информации, времени достижения предельного вакуума. принятые во внимание при экспертизе корпус выполнен из высокотеплопровод- > 1. Авторское свидетельство СССР ной фольги, его гофры контактируют ме- % 452677, кл. F 04 В 37/02, 197 3.

Составитель О. Тишина

Редактор И. Касарда Техред М. Рейвес Корректор М. Коста Р

Заказ 5427/49 . Тираж 7 12 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР ио делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород ул. Проектная, 4

Вакуумный сорбционный насос Вакуумный сорбционный насос 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх