Турбомолекулярный вакуумный насос
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскик
Социалмстмческив
Республик
< 1848762 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.11.79 (21) 2882933д5-06 (51)М. Кл.з
Р 04 D 19/04 с присоединением заявки ¹â€”
Государственный комитет
СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет—
Опубликовано 2307,81. Бюллетень.¹ 27
Дата опубликования описания 230781 (53) УДК 621.527.8 (088.8) (71) Заявитель
Московское ордена Ленина и ордена Трудового Красного.:,.
Знамени высшее техническое училище им. Н.Э. Баумана (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫИ ВАКУУМНЫИ НАСОС
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных насосов.
Известны турбомолекулярные вакуумные насосы, содержащие корпус и рас-. положенные в нем статор и ротор, выполненные в виде дисков с лопатками (1).
Недостатком известных насосов являются невысокие откачные характеристики вследствие ограниченности скорости вращения ротора. цель изобретения — увеличение откачных характеристик при выполнении дисков ротора из титана или его сплавов.
Указанная цель достигается тем, что между дисками статора, расположенными иа входе насоса, и остальными дисками статора расположена токоиэолирующая проставка, а на корпусе размещена магнитная система, создающая магнитное поле, перпендику- лярное плоскости дисков, причем к дискам статора, расположенным на входе, подключен источник высокого напряжения °
На чертеже представлен насос,, продольный: разрез .
Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и расположенные в .нем статор 2 и ротор 3, выполненные в виде дисков 4,5 и 6 с-лопатками, при этом между дисками 4 статора 2, расположенными на входе насоса, и остальными дисками 5 статора 2 расположена токоизолирующая проставка 7, а на корпусе 1 размещена магнитная система 8, создающая магнитное поле, перпендикулярное плоскости дисков
4,5 и 6, причем к дискам 4 статора 2, расположенным на входе, подключен источник высокого напряжения. Источ- ник высокого напряжения подключен посредством токопровода 9.
Насос работает следующим образом.
Молекулы Остаточного газа, по2О ступающие иэ откачиваемого объема, соударяясь с лопатками дисков 6 быстро вращающегося ротора 3, получа. ют импульс в направлении откачки и переносятся к выходу из насоса.
25 K дискам 4 статора 2 по токопроводу
9 подводится высокое напряжение от источника (5-10 кВ), в результате чего возникает разряд, иониэирую щий остаточный газ.Ионы остаточного
ЗО газа бомбардируют диски 6 ротора 3, 848762
Формула Изобретения
Составитель В. Кряковкин
Техред А.Ач Корректор О, Билак
Редактор В. Данко
Тираж 712 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Заказ 6043/41
Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 распыляя материал дисков 6(титан или егО сплавы) .Распыленный -титан образует с остаточным газом твердые соединения и является дополнительным откачным средством.
Таким образом в предлагаемом насосе помимо эффекта откачки, создаваемого турбомолекулярным насосом, реализует дополнительно эффект откачки, аналогичный работе геттерноионного насоса, что позволяет улучшить откачные характеристики насоса в целом без увеличения его геометрических размеров.
Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в нем статор и ротор, выполненные в виде дисков с лопатками, о т л ич а ю щ и Я с я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик при выполнении дисков ротора из титана или его сплавов, между дисками статора расположена токоизолирующая проставка, а на корпусе размещена магнитная система, создающая магнитное поле, перпендикулярное плоскости дисков, причем к дискам статора, расположенным на входе, подключен источник высокого напряжения.
Источники информации, . принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР р 533757, кл. F 04 р 19/04, 1973.
