Способ изготовления электровакуумных приборов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к ввт. свид-ву (22) Заявлено 14.12.79 (21) 2852041/18-25 (51)М. КЛ.

Н 01 J 9/38 с присоединением заявки М— (23) Приоритет—

Государственный комитет

СССР по делам изобретений н открытий

Опубликовано 150881.Бюллетень No 30

Дата опубликования описания 15,0881 (53) УДК 621. 385. .032.2(088.8) (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ

ПРИБОРОВ

Изобретение относится к производству электровакуумных приборов (ЭВП), в частности к способам обезгаживания электродов при откачке или тренировке смонтированных ЭВП с протяженным электронным потоком и многоэлектродной электронно-оптической системой, и может быть использовано в электронной промышленности при производстве надежных и долговечных ЭВП.

Известен способ обезгаживания электродов ЭВП путем электронной бомбардировки. Наиболее эффективным является сканирование электронного луча по обрабатываемой поверхности электродов смонтированного прибора, например, путем подачи переменного напряжения на фокусирующий электрод

ЭЛТ для достижения минимального давления в приборе j1 ).

Однако для приборов с многоэлектродной электронно-оптической системой и протяженным электронным потоком этот способ непригоден из-за невоэможности обработать поверхности, 25 находящиеся в электронной тени, так как изменение напряжений.на фокусирующем электроде не может обеспечить достаточно эффективное воздействие на траектории электронов в области удаленных от катода электродов, а это необходимо для создания встречного потока электронов на поверхности, находящиеся с противоположной от катода стороны.

Известна также обработка электродов сканирующим электронным лучом путем подачи на электроды одновременно с постоянными разных по величине переменных напряжений при повышенной температуре катода (2J.

Однако этот способ трудоемок, так как он плохо автоматизируется, в связи с чем эффективность обезгаживания деталей оказывается низкой.

Объясняется это тем, что для электронной обработки максимальной поверхности электродов в собранном приборе необходимо подать на них последовательность мгновенных напряжений так, что электронный поток последовательно обегает всю обрабатываемую поверхность электродов, поворачивая вспять для обработки обратных сторон. Необходимо периодически на электродах устанавливать мгновенные отрицательные, а на ближайших к катоду обрабатываемых электродаходновременно положительные напряжения по отношению к катоду. Поэтому

855785 для каждого конкретного прибора потребуется либо устанавливать необходимые напряжения вручную или с помощью релейного устройства, либо использовать переменные напряжения нетрадиционной формы. Это все сложно ,и дорого в производстве, Цель изобретения — упрощение автоматизации и повышение эффективности обезгаживания электродов.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления ЭВП с многоэлектродной электронно-оптической системой, включакщему электронную бомбардировку поверхностей электродов сканирующим электронным лучом путем подачи на электроды од- >5 новрегленно с постоянными разных по величине переменных напряжений при нормальной или повышенной температуре катода до достижения минимального давления в приборе, подают переменные Щ напряжения разной частоты или одной частоты, но сдвинутые по фазе относительно друг друга так, чтобы периодически на электродах устанавливались мгновенные отрицательные, а на ближайших к катоду обрабатываемых электродах — одновременно положительные напряжения по отношению к катоду, обеспечивая при этом за каждый полный цикл обработку поверхностей электродов, как обращенных к катоду, так и противоположных сторон, причем время обработки (или количество циклов) выбирается из условия достижения в приборе минимального давления.

Эффективность обезгаживания существенно возрастает при энергии бомбардирующих электронов выше 250 эВ и

GJIoTHocTH тока выше 10 MKA/ñì

В качестве примера практического использования предлагаемого способа 40 приводится разработанный этап технологического процесса по обезгаживанию одного из типов сверхдолговечного СВЧ прибора средней мощности.

На фиг.1 показана конструкция части электронно-оптической системы сверхдолговечного СВЧ прибора и соотношение напряжений, необходимое .для обработки обратной стороны второго электрода; на фиг.2 — то же и соотношение напряжений, необходимое для обработки лицевых сторон первого и второго электродов, на фиг.З и 4 варианты подачи постоянных и переменных напряжений на электроды, обеспечивающих простую и полностью автоматизированную обработку.

Устройство содержит катод 1, первый электрод 2, второй электрод 3, третий электрод 4 и т.д.

46

Дано два варианта (из многих) расчета на ЭВМ мгновенных напряжений траекторий электронов для обработали разных участков поверхностей электродов. Соотношение напряжений, приве- i 65 денных на фиг.1 и 2, представлено в таблице. б

Напряжение на электродах, B ()" 1

-20, +600 -40

+20 +200 +500

Простая и полностью автоматизированная обработка электродов указанной конфигурации достигается путем подачи постоянных и переменных напряжений одной частоты, но сдвинутых по фазе (фиг.3), или разных по частоте (фиг.4). Моменты времени е и с соответствуют двум рассчитанным соотношениям напряжений (см.табл.).

Предлагаемый вариант должен обеспечить за один полный цикл перебор всех необходимых соотношений мгновенных напряжений.

По этой методике обрабатывается один из типов сверхдолговечных СВЧ приборов, для чего спроектирована и изготовлена специальная установка, позволяющая за один прием одновременно обезгаживать все внутривакуумные поверхности электродов. Одновременно проводится дооткачка прибора встроенным электроразрядным насосом, который одновременно служит и манометром. Время обработки определяется достижением результирующего давления в приборе 10 -10" мм рт.ст.

Технико-экономический эффект от реализации изобретения заключается в повышении долговечности и надежности изделий, а их работоспособность определяет срок службы неремонтируемой и дорогостоящей аппаратуры. Существенное упрощение автоматизации процесса облегчает и ускоряет внедрение электронного обезгаживания скрытых металлических поверхностей электродов, которые до этого не обезгаживались и служили источником газовыделения.

Формула изобретения

Способ изготовления электровакуумных приборов с многоэлектродной электронно-оптической системой, включающий электронную бомбардировку поверхностей электродов сканирующим электронным лучом путем подачи на электроды одновременно с постоянными разных по величине переменных напряжений при нормальной или повышенной температуре катода, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью автоматизации и повышения эффективности

855785

Троемя арии «мнмроюаВ

Фиа. У обезгаживания поверхностей электродов, на них подают переменные напряжения разной частоты или одной частоты, но сдвинутые по фазе так, чтобы периодически на электродах устанавливались мгновенные отрицательные, а на ближайших к катоду обрабатываемюс электродах - одновременно положительные напряжения по отношению к катоду, обеспечивая при этом эа каждый полный цикл обработку поверхностей электродов, как обращенных к катоду, так и противбйоложных сторон, причем количество, таких циклов выбирают из условия достижения минимального давления в приборе.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент СИИ В 3966287, кл. 316-1, опублик. 1976.

2. Авторское свидетельство СССР

В 66349, кл. Н 01 J 9/44, 1941 (прототип).

855785 фивЗ

Составитель Г.Жукова

Редактор Л.Копецкая Техред T.Ìàòî÷êà Корректор М.Коста

Заказ 6941/75 Тираж 784 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5 филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4