Устройство для испытания на герметичность замкнутых изделий

 

° союз Советскык

Соцыалыстнческык

Республик

Оп ИСАИ ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕИЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву(22) Заявлено 14.1279 (21) 2853975у25-28 (5l)M. КЛ.

6 01 М 3/02 с присоединением заявки Йо— (23) Приоритет—

Госуяарстаемммм коимтет

СССР ао яаеаи мзобретеммм м открытмм

Опубликовано 309881,Бюллетень Н9 32

Дата опубликования описания 300831 (53) УДК 620.165..29(088,8) (72) Авторы изобретения

В.В.Шебанин, Э.Д.Молчанов, А.С.Ефимов и А.П.Ушаков (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПЫТАНИЯ HA ГЕРМЕТИЧНОСТЬ ЭАИКНУТЦХ

ИЭДЕЛИЙ

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к устройствам для испытания на герметичность замкнутых иэделий например полупровод никовнх приборов и интегральных схем.

Известно устройство для контроля герметичности замкнутых изделий, содержащее емкость а нагретой жидкостью в которую погружают контроли» руемое издепие. О величине течи судят по количеству образовавшихся пузырьков rasa(13.

Однако устройство позволяет обнаруживать только средние и грубые течи, поскольку положенный в основу

его работы визуальный метод контроля обладает низкой чувствительностью.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является устройоаво для испытания на герметичность@ замкнутых иэделий, содержащее испытательную камеру для установки изделия, измерительную трубку, соединенную с испытательной камерой, емкость, частично заполненную жидкостью и соединенную с камерой через трубку, и источник давления(23 .

Недостаток этого устройства заключается в невысокой точности проводимых с его помощью испытаний, посколь- 30 ку в случае малых течей объем газа, проникакщий в изделие, оказывается мал по сравнению с объемом, находящимся над жидкостью в измерительной трубке, и изменение уровня жидкости в последней незначительно. В случае грубых течей точность испытаний снижается из-за быстрого заполнения жидкостью измерительной трубки и изделия.

Цель изобретения - повышение точности испытаний.

Цель достигается тем, что источник давления соединен с емкостью, трубка погружена в жидкость, объем испытательной камеры максимально приближен к объему изделия, а объем измерительной.трубки равен внутренниму объему изделия.

Кроме того, измерительная трубка выполнена с переменным сечением, что целесообразно при испытании иэделий с большим внутренним объемом.

На чертеже показано устройство, общий вид.

Устройство содержит испытательную камеру 1, в объеме 2 которой установлено иэделие 3 с замкнутым внутренним объемом 4, измерительную трубку 5, выполненную с переменным з 859842 сечением и соединенную с испытатель ной камерой 1, емкость 6, частично эаполненную жидкостью 7 и соединенную с камерой 1 через трубку 5, расширяющийся участок 8 которой погру-, жен в жидкость 7, источник 9 давле- ния, соединенный с емкостью б через вентиль 10 и дроссель 11, шкалу 12 для контроля уровня жидкости, установленную на измерительной трубке 5. Объем 2 испытательной камеры 1 максимально приближен к объему

10 изделия 3, а объем измерительной трубки 5 равен внутреннему объему 4 изделия 3 .. устройство работает следующим образом.

Изделие 3 устанавливают в объем 2 испытательной камеры 1 и герметиэируют ее. От источника 9 через вентиль 10 и дроссель 11 подают в емкость б давление, которое через 20 жидкость 7 передается в измерительную трубку 5 и испытательную камеру 1. Благодаря тому, что расширякщийся участок 8 трубки 5 погружен в жидкость, опрессовка изделия производится постоянным количеством воздуха. При этом осуществляют контроль за уровнем жидкости в измерительной трубке 5 с помощью шкалы 12. При йаличии в иэделии 3 грубой течи измерительная трубка 5 полностью заполняется жидкостью эа время достижения в устройстве рабочего давления. Другие виды течей определяются и характеризуются по скорости заполнения жидкостью измерительной трубки. При- Зв ближение объема 2 испытательной камеры к объему иэделия 3 снижает балластный объем воздуха, благодаря чему повыаается чувствительность при определении малых и других 40 течей ° Равенство между объемом измерительной трубки 5 и внутренним объемом 4 изделия 3 исключает контакт изделия с жидкостью. В связи с этим при испытании изделий с большим внутренним объемом целесообразно использовать измерительную трубку с переменным сечением.

Предлагаемое устройство позволяет за счет максимального уменьшения балла стных объемов камеры и измерительной трубки и опрессовки изделия постоян ным количеством воздуха расширить диапазон контролируемых утечек.

Формула изобретения

1. Устройство для испытания на герметичность замкнутых изделий, содержащее испытательную камеру для установки изделий, измерительную трубку, соединенную с испытательной камерой, емкость, частично заполненную жидкостью и соединенную с камерой через трубку, и источник давле-, ния, отличающееся тем, что, с целью повышения точности испытаний, источник давления соединен с емкостью, трубка погружена в жидкость, объем испытательной камеры максимально приближен к объему изделия, а объем измерительной трубки равен внутреннему объему изделия.

2. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что измерительная трубка выполнена с переменным сечением.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

Ланис В.A. и Левина Л.Е. Техника вакуумных испытаний. М.-Л., Госэнергоиздат, 1963, с. 137.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 561100, кл. G 01 M 3/26, 1977 (прототип).

859842

Составитель В.Талъвойш

Редактор у,.душникова Техред А. Савка : Хорректрр Г. Рдшетник

Заказ 7535/63 Тираж 907 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытии

113035, Москва, Х«35, Рауыская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4