Насос для откачки водорода

Авторы патента:

ЮФЕРОВ ВЛАДИМИР БОРИСОВИЧ

ГЛАЗУНОВ ГЕННАДИЙ ПЕТРОВИЧ

КОСИК НИКОЛАЙ АНДРЕЕВИЧ

F04B37/02 - для создания вакуума путем абсорбции и адсорбции (абсорбция или адсорбция вообще B01J)

Союз Советских

Социалистических

Республик

{ii>861723

{61) Дополнительное к авт. сеид-ву(22) Заявлено 27.1279 (21) 2859558/25-06 с присоединением заявки Н» (23) Приоритет

Опубликовано 070981.6юллэтвиь @ 33

Дата опубликования описания 070981. (1 Р г 3

F 04 В 37/02

Гоеуаврствеиннй комитет

СССР яо аелам изобретеннй н открнтнй (53) УДК 621.528.3 (088.8) (72) Авторы изобретения

В.Б. Юферов, Г.П. Глазунов н Н. (71) Заявитель (54) НАСОС ДЛЯ ОТКАЧКИ ВОДОРОДА

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известен насос для откачки водо-, рода, содержащий корпус, закрепленную в нем палладиевую мембрану и нагреватель flJ.

Из-за недостаточной механической прочности мембраны, насос обладает малой надежностью, недостаточным сроком службы.

Целью изобретения является повышение надежности.

Указанная цель достигается тем, . что на мембране со стороны откачиваемого объема закреплена диафрагма, 15 выполненная из пористого металла.

На чертеже схематично изображен описываеьый насос.

Насос для откачки водорода содержит корпус 1, закрепленную в нем 20 палладиевую мембрану 2 и нагреватель

3. На мембране 2 со стороны откачнваемого объема закреплена диафрагма 4, выполненная из пористого металла.

Насос работает следукиаим образом.

После подсоединения к откачиваемому объему с парциальным давлением водорода10- торр., палладиевую мембрану 2 нагревают при помощи иаг» ревателя 3 до температуры 400-500оС. 30

Водород проникает через нагретый металл и на обратной стороне связывается кислородом воздуха. Благодаря наличию механически прочной диафрагмы 4 на палладиевой мембране 2 не наблюдается заметных прогибов и деформаций при температуре мембраны

2-500 С и перепаде давлений атмосфе» ра - вакуум.

Таким образом, предлагаемая конструкция обеспечивает существенное увеличение механической прочности мембраны, что повьваает срок службы насоса и его надежность. Существенным является тот факт, что положительный эффект достигается при сохранении быстроты откачки насоса.

Формула изобретения

Насос для откачки водорода, содержащий корпус, закрепленную в нем палладиевую мембрану и нагреватель, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, на мембране со стороны откачиваемого объема закреплена диафрагма, выполненная нз пористого металла.

Нсточники информации, принятые во внимание при экспертизе

3. Патент Великобритании 9 905405 кл Р 1 К ЗА опубл. 1962.

861723 Уираж 712 Подписное

ВНИНИИ Государственного комитета СССР по делам ивобретений и открытий.113935, Иосмва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5. Заказ 6497/23 филиал ШЮ ° Патент, г. Уигород, ул. Проектная 4

Составитель 0 Тишина

Редамтор Н. Коляда Темред М. Голинка Корректор у, Пономаренко

Похожие патенты:

Сорбционный насос // 861722

Вакуумная установка // 850909

Сорбционный насос непрерывногодействия // 848747

Криосорбционный насос // 846784

Сорбционный насос непрерывногодействия // 846783

Вакуумный сорбционный насос // 846782

Сорбционный насос // 844814

Вакуумный сорбционный насос непрерыв-ного действия // 836383

Способ получения вакуума // 827836

Адсорбционный насос // 827835

Адсорбционный насос // 2101564

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Система для обработки полупроводникового изделия (варианты), встроенный геттерный насос и способ обработки полупроводникового изделия // 2125619

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия

Модуль и система геттеронасоса // 2138686

Способ вакуумирования гермообъема // 2140015

Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д

Геттерный насос квантового водородного генератора // 2183768

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Адсорбционный насос // 2186248

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Газопоглотительный насос // 2186249

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Адсорбционный насос // 2187694

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Адсорбционный насос // 2187695

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Адсорбционный насос // 2187696