Вакуумный сорбционный насос непрерывного действия

 

Союз Советских

Социалистических

Республии

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<>866267 (61) Дополнительное к авт. саид-ву(22) Заявлено 100180 {21) 286764б/25-0б с присоединением заявки М—

t5>3+ <„„3

F 04 В 37/02

Государственный комитет

СССР ио делам изобретений и открытий (23) 0риоритет

Опубликовано 2309,81.6 оллетеиь М35

Дата опубликования описания 230981 (53) УДК б21.528. .3(088.8) Л.M. Поляков, С.Я. Чеканов, Н.И. Холодный1

B.Ì. Кодяков и В.С. Коган 1 (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ВАКУУМНЫЙ СОРБЦИОННЫЙ НАСОС

НЕПРЕРЫВНОГО ДЕЙСТВИЯ

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен вакуумный сорбционный насос непрерывного действия, содержащий корпус, разделенный перегородкой с шлюзовым каналом на камеры десорбции и сорбции, в последней из которых расположен сосуд, эаполненный хладагентом, и размещенный в камерах сорбционный элемент в виде бесконечной ленты, контактируицей с поверхностью сосуда и поджатой упругим элементом к стенкам канала Г1).

Однако в процессе откачки, по ме15 ре сорбции, вероятность захвата молекул снижается и они претерпевают ряд столкновений, прежде чем оказываются захваченными. При этом данный процесс усугубляется тем, что, в основном, молекулы сталкиваются с экранами, на долю которых приходится до

70-80% поверхности камеры сорбции.

В резУльтате того, что экраны не содержат сорбента, а их температура выше температуры охлажденных поверхностей сосуда с хладагентом, снижается одна из основных характеристик насоса, а именно быстрота действия насоса при заданном давлении.

Цель изобретения — повышение быстроты действия насоса.

Указанная цель достигается тем, что сосуд выполнен двухстенным и имеет в поперечном сечении серповидную форму, ленты подпружииены к внутренней поверхности сосуда, а в стенках. шлюзового канала выполнена полость, подключенная к паровому объему сосуда.

На фиг. 1 изображен продольный разрез описываемого насоса; на фиг. 2 - разрез A-A на Фиг. 1, Вакуумный сорбционный насос непрерывного действия содержит корпус 1, разделенный перегородкой 2 со шлюзовым каналом 3 на камеры 4 и 5 десорбции и сорбции, в последней из которых расположен сосуд б, заполненный хладагентом, и размещенный в камерах

4 и 5 сорбционный элемент в виде бесконечной ленты 7, контактирукщей с поверхностью сосуда б и поджатой упругим элементом 8 к стенкам канала 3.

Сосуд б выполнен двухстенным и имеет в поперечном сечении серповидную форму, а ленты 7 подпружинены к внутренней поверхности сосуда. В стенках шлюзового канала 3 выполнена полость, подключенная к паровому объему сосуда б.

866267

В камере 4 десорбции размещен нагреватель 9 и ведущий ролик 10. В ка-. мере 5 сорбции соосно размещена ось

11, снабженная приводом 12.

Работает насос следующим образом.

После получения в откачиваемом объеме и насосе предварительного разряжения 10 мм рт.ст. с помощью вспомогательного насоса, в сосуд 6 заливается криогенная жидкость (азот)..

После достижения криогенной температуры 80-85 К включаются нагреватели 9, и привод 12, приводящий so вращение ось 11 с упругим элементом

8, а также ведущий ролик 10, лента

7 начинает перемещаться по внутренней поверхности камеры 5 сорбции .и шлюзовому каналу 3, поступая в камеру 4 десорбции. При этом часть сорбирующего элемента (ленты 7), находящегося в камере 5 сорбции, сорбирует гаэ откачиваемого объема. В камере 4 десорбции под действием лучистого тепла нагревателей 9, сорбирующий элемент нагревается до 300

350 С, а десорбированный газ вспомогательным насосом удаляется в атмосферу. Оптимальный тепловой режим в камерах 5 и 4 сорбции и десорбции обеспечивается изменением скорости перемещения сорбирующего элемента и регулировкой мощности нагревателей 9.

Принудительно охлаждаеьый шлюзовой канал 3 парами отходящей криогенной жидкости понижает температуру ленты 7, прежде чем она поступит на охлажденную поверхность камеры 5 сорбции, что также снижает эксплуатационный расход криогенной жидкости до 15%, а также создает условия для более глубокого охлаждения ленты

7, что в конечном счете улучшает характеристику насоса по быстроте действия. Кроме этого, охлажденный шлюзовой канал 3 обеспечивает более высокий перепад давлений между камерами 5 и 4 сорбции и десорбции, т.е. дает возможность получить более низкое предельное давление насоса.

Формула изобретения

Вакуумный сорбционный насос непрерывного действия, содержащий корпус, разделенный перегородкой со

35 шлюзовым каналом на камеры десорбции и сорбции, в последней из которых расположен сосуд, заполненный хладагентом, и размещенный в камерах сорбционный элемент в виде бесконечной щ ленты, контактирующей с поверхностью сосуда и поджатой упругим элементом к стенкам канала, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения быстроты действия, сосуд выполнен

>> двухстенным и имеет в поперечном сечении серповидную форму, ленты подпружинены к внутренней поверхности сосуда.

2. Насос по и. 1, о т л и ч а ю— шийся тем, что в стенках шлюзоЗО вого канала выполнена полость, подключенная к паровому объему сосуда.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

33 1. Авторское свидетельство СССР по заявке и 2622346/25-06, кл. 2 F 04 8 37/02, 1978.

866267

Фие. 2

Составитель О. Тишина

Редактор П. Ортутай Техред Л.Пекарь КорректоР О. Билак

Заказ 8040/57 Тираж 715 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Вакуумный сорбционный насос непрерывного действия Вакуумный сорбционный насос непрерывного действия Вакуумный сорбционный насос непрерывного действия Вакуумный сорбционный насос непрерывного действия 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх