Криогенный вакуумный насос

 

1. КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого эк/ ГС УС рана откачивающим элементом в виде заполненного хладагентом сосуда, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности при работе насоса, вблизи источников заряженньк частиц, в нижней части сосуда перпендикулярно его оси размещен сверхпроводящий соленоид. 2. Насос ПОП.1, отличающийся тем, что соленоид имеет сквозные каналы, расположенные параллельно оси сосуда. 8 S (Л С УС

- СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (1)) (>>)4 F 04 В 37/08

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ !3

Н АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 2859091/25-06 (22) 27.12.79 (46) 30.07.85. Бюл. У- 28 (72) О.С.Друй, Е.И.Скибенко и В.Б.Юферов (53) 621 ° 528.1(088.8) (56) 1. Акцептованная заявка

Великобритании Р 1415332, кл. F 1 N, 1975. (54)(57) 1. КРИОГЕННЬЙ ВАКУУМНЫЙ

НАСОС, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого эк. рана откачивающим элементом в виде заполненного хладагентом сосуда, отличающийся тем, что, с целью повьппения экономичности при работе насоса, вблизи источников заряженных частиц, в нижней части сосуда перпендикулярно. его оси размещен сверхпроводящий соленоид.

2. Насос по и.1, отличаю— шийся тем, что соленоид имеет сквозные каналы, расположенные параллельно оси сосуда.

871573

Составитель О.Тишина

Техред Л.Мартяшова Корректор С.Черни

Редактор Л.Письман

Заказ 4519/6 Тираж 586 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам,изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.,д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известен криогенный вакуумный насос, содержащий корпус с размещенными в нем внутри охлаждаемого 5 экрана откачивающим элементом в виде заполненного хладагентом сосуда 1

При работе известного насоса вблизи источника заряженных частиц, часть заряженных частиц, отражаясь . от экрана, попадает на конденсирующую поверхность насоса, десорбирует 10 -10 мол. /см с откачиваемо14 го газа, что приводит к резкому повышению давления в установке, кро- l5 ме того, работа насоса становится неэкономичной, поскольку требуются дополнительные затраты хладагента на повторную конденсацию молекул газа. ° 20

Цель изобретения — повышение экономичности при работе насоса вблизи источников заряженных частиц.

Цель достигается тем, что в нижней части сосуда перпендикулярно его 25 оси размещен сверхпроводящий соленоид и, кроме того, соленоид имеет сквозные каналы, расположенные параллельно оси сосуда.

На чертеже схематично изображен ЗО предлагаемый насос.

Криогенный вакуумный насос содержит корпус i с размещенным в нем внутри охлажцаемого экрана 2 откачивающим элементом в виде заполненного хладагентом сосуда 3. В нижней части сосуда перпендикулярно его оси размещен сверхпроводящий соленоид 4.

Соленоид имеет сквозные каналы 5

У расположенные параллельно оси сосуда. Соленоид через изоляторы 6 снабжен токовводами 7, которые имеют сверхпроводящую перемычку 8, шунти- > рующую витки соленоида.

Насос работает следующим образом.

Жидкий гелий заливается в сосуд

3 после того, как экран 2 охлажден жидким азотом до 80 К. Уровень жидкого гелия ниже уровня перемычки

8, так что она не переходит в сверхпроводящее состояние. После того, как гелий залит, соленоид 4 запитывается током по токовводам 7 от внешнего источника. После достижения необходимой величины магнитного поля у откачивающей поверхности насоса, в сосуд 3 доливается гелий так, чтобы перемычка 8 перешла в сверхпроводящее состояние и зашунтировала соленоид 4.

Таким образом, применение описываемого насоса позволяет получать безмаслянный вакуум с помощью криогенных средств откачки вблизи источника заряженных частиц, которые в обычных насосах приводят к значительной десорбции сконденсированных молекул откачиваемого газа, что в ряде случаев приводит к полному прекращению работы насоса.