Высоковакуумный криогенный насос

 

АНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 070777 (21) 2505927/25-06 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 151180. Бюллетень № 42 (51) М KA 3

F 04 В 37/08

Государственный комитет

СССР но делам изобретений н открытий (53) УДК б21.527.. 8 (088. 8) Дата опубликования описания 25. 11. 80

В.П.Беляков, Н.B.Ôèëèí, В.В.Леонов, В.И.Куприянов, Н.П.Юшин, В.П.Кряковкин, A.È.Êóòûëîâñêèé и N.È.Ñèíÿãoâñêèé (72) Авторы изобретения (54 ) ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ КРИОГЕННЫИ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известны высоковакуумные криоген- ные насосы, содержащие размещенные в -корпусе конденсирующие элементы, охлаждаемые жидким водородом или жидким гелием, расположенные между охлаждаемыми теплозащитными экранами

f1 j.

Насосы соединяются с откачиваемь1м объемом магистралью. Это влечет за

Собой ограничение быстроты откачки насоса проводимостью магистрали.

Наиболее близкими по технической сущности и достигаемому результату 35 являются высоковакуумные криогенные насосы, содержащие конденсирующие элементы, расположенные между.плос.ким и шевронным теплозащитными экранами, снабженными каналами для хлада- 20 гента (2).

Быстрота откачки насосов встроен- ного типа определяется коэффициентом захвата системы теплозащитнйй экран - 25 конденсирунщие элементы, т. е, отношением количества газа, поглощенного крионасосом, к количеству газа, посту пающего к входной поверхности теплоэащитного экрана.

В известном насосе теплозащитный экран шенронного типа выполнен оптически непрозрачным по отношению к конденсирующим элементам и к плоскому экрану. Это условие необходимо, так как конденсирующие элементы насоса расположены перед плоским экраном и.параллельно ему. Попадание теплового потока на конденсирующие элементы недопустимо, так как при этом существенно увеличивается расход хладагента, используемого для охлаждения конденсирующих элементов, и. ухудшается экономичность насоса. Кроме того, тепловой поток на поверхность конденсирующих элементов нызывает перегрев наружного слоя криоосадка, что повышает предельное давление, достигаемое насосом, а в отдельных случаях может принести к срыву режима работы насоса. Шевронный экран снижает тепловой поток, попадающий на конденсирующие элементы до 0,7Ъ от потока, падающего на входную поверхность шеврона. Однако вероятность пропета молекулы через оптически непрозрачный шеврон не превышает

0,23, и коэффициент захвата криопанели с экраном не может быть больше

0,23.

779626

Формула изобретения

Составитель О.Тишина

Редактор И.Ковальчук Техред A.À÷

Заказ 7990/47 Тираж 725

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 4-35, Раушская наб., д. 4/5

Ъ .С . й:, Филиал ППП "Патент", r. Vкгород, ул. Проектная., 4

Корректор В.Синицкая

Подписное

Цель изобретения — увеличение быстроты откачки.

Цель достигается тем, что с внеш"ней тороны угла при вершине шевронов вйполнены приливы, и каналы для хладаг нта размещены внутри них, а конденсирующие элементы установлены за приливами в теневой для теплового из-"лучения зоне, ограниченной поверхностями прилива и шевронов.

На чертеже изображена, криогенная панель насоса.

Высоковакуумный криогенный насос

-содержит конденсирующие элементы 1, " расположенные между плоским 2 и шевронным 3 теплозащитными экранами, снабженными каналами 4 для хладагента. С внешней стороны угла при вершине шевронов 5 выполнены приливы 6„ и каналы 4 для хладагента размещены

"" внутри них, а конденсирующие элеменTbI 1 установлены за приливами 6 и теневой для теплового излучения зоне, ограниченной поверхйостямй йрилйва

6 и шевронов 5.

Предлагаемый насос работает следующим образом.

Откачиваемый газ поступает к входной поверхности шевронного экрана 3 и проходит внутрь откачной ячейки крионасоса, образованной экранами 2 и 3, в которой размещены конденсирующие элементы 1.

В предложенном насосе повышается вероятность пролета молекул сквозь шевронный зкра-> 3 до 0,4. Ту же величину будет иметь коэффициент захвата криогечной панели при коэффициенте конденсации откачиваемого газа на поверхности конденсирующих элементов 1, равном 1,0. Конденсирующие элементы 1 полностью защищены шевронным экраном 3 от попадания прямого потока теплового излучения на их поверхность.

Для того, чтобы уменьшить переотра женный тепловой поток, поверхности экранов 2 и 3 внутри ячейки, доступные для прямого теплового излучения почернены. Газ; поступающий в откачйую ячейку криопанели после нескольких соударений с поверхностями экранов 2 и 3 прйнимает их температуру и, попадая на конденсирующие .элементы 1 насоса, поглощается ими, образуя твердый слой криоосадка.

Высоковакуумный криогенный насос, содержащий конденсирующие элементы, 2О расположенные между плоским и шевронным теплозащитными экранами, снабженными каналами для хладагента, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью увеличения быстроты откачки, с внешней Сторойы угла при вершине шевронов выполнены приливы, и каналы для хладагента размещены внутри них, а кояденсйрующие элементы установлены за приливами в теневой для теплового излучения зоне, ограниченной поверхностями прилива и шевронов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Пипко A.И. Конструирование и

35 расчет вакуумных систем И., "Энергия", 1970, с. 202.

2. Патент Англии Р 1128123, кл. F 1 И, 1966.