Способ изготовления поликристаллических пьезоэлементов

 

(72) Авторы изобретения

Н. В. Кицюк, А. Д. Новиков, Э. М, Соснин и Ю. 3. Шлипченко

-:! (71) Заявитель (54) СПОСОЬ ИЗГОТОВЛГНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ

ПЬЕЗОЭЛЕМ1."НТОВ

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при изготовлении пьезокерамических пьезоэлементов.

Известен способ изготовления пьезоэлеменI тов, при котором пьезоэлементы нагревают до температуры на 20 — 70 С выше температуры Кюри, а затем с максимально возможной скоростью охлаждают до комнатной температуры и подвергают поляризации (1).

Недостатком этого способа является низкая надежность крупногабаритных пьезоэлементов из-за микротрещин, появляющихся при сильных перепадах температур.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является способ изготовления поликристаллических пьезоэлементов, при котором прессуют пьезокерамический материал. с последующими высокотемпературным обжигом пьезоэлементов, металлизацией и поляризацией (2).

Недостатком известного способа является низкая пьезоэлектрическая активность пьезоэлементов.

11ель изобретения — повышение пьезоэлектрической активности пьезоэлементов.

Эта цель достигается тем, что согласно способу изготовления поликристаллических пьезоэлементов, прессование пьезокерамического материала производят в электрическом поле, напряженность которого не превышает напряженности электрического поля поляризациии.

Способ осуществляется следующим образом.

Формируют заданный твердый раствор и прессуют заготовки в электрическом поле, после чего производят высокотемпературный обжиг, металлизацию и поляризацию пьезоэлементов.

Пример. Пьезокерамический материал ПТБС вЂ” 3, синтезируют в стехиометрическом соотношении из окислов циркония, титана, бария, свинца по реакции в твердой фазе при

1100 С с последующими технологическими операциями, включающими дробление спека до величины зерна 3 — 5 мкм, пластификацию массы 57 -ным раствором поливинилового спирта.

Прессование заготовок пьезоэлементов в элек875586

Составитель Н. Банков

Техред А.Бабинец

Редактор О. Черниченко

Корректор Л. Ьокщан

Заказ 9378/84

Тираж 991 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал П!!П "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная. 4 трическом иоле проводят в специально сконструированной прессформе, к электродам которой подается электрическое поле от универсальной пробивной установки УП вЂ” 1M, напряженность Š— 1 кВ/мм. Высокотемпературный обжиг проводится при 1400 С в течение 17 ч, с выдержкой при максимальной температуре

4 ч. После обжита производят метаплизацию, т.е. трехкратное нанесение и вжигание серебряных электродов при 800 С.

Поляризация пьезоэлементов в постоянном электрическом поле производится с напряженностью 1,5 кВ/мм в течение 8 ч при 100 С с последующим охлаждением до комнатной температуры.

Пьезоэлектрическая активность элементов, изготовленных по предлагаемому способу на

8% выше, чем по известному.

Формула изобретения

Способ изготовления поликристаллических пьезоэлементов при когором прессуют пьезокерамический материал с последующим высокотемпературным обжигом пьезоэлементов, металлизацией и поляризацией, 0 r л ичающийся тем,что,сцельюновышения пьезоэлектрической активности, прессование пьезоэлектрического материала производят в электрическом поле, напряженность которого не превышает напряженность электрического поля поляризации, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство (.((.Р N" !78864, кл. Н 03 НЗ/02,,1964, 2, Глозман И. А. Пьезокерамика. М., ". )нсргия", 1967, с. 33 — 74 (прототип).

Способ изготовления поликристаллических пьезоэлементов Способ изготовления поликристаллических пьезоэлементов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления тонких кристаллических элементов (КЭ) высокочастотных пьезоэлектрических приборов, например, кварцевых резонаторов и монолитных фильтров

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для осуществления контроля состояний цепей электроаппаратуры
Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано на предварительных этапах обработки кварцевых пластин при изготовлении высокочастотных кварцевых резонаторов и монолитных фильтров
Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано на предварительных этапах обработки кварцевых пластин при изготовлении высокочастотных кварцевых резонаторов и монолитных фильтров
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в производстве монолитных пьезоэлектрических фильтров и резонаторов

Изобретение относится к области акустоэлектроники и может быть использовано при изготовлении узкополосных и сверхузкополосных фильтров на поверхностных акустических волнах (ПАВ)

Изобретение относится к акустоэлектронике и может быть использовано при разработке и изготовлении узкополосных фильтров на поверхностных акустических волнах (ПАВ) с низким температурным коэффициентом частоты (ТКЧ)

Изобретение относится к области акустоэлектроники и может найти применение при изготовлении устройств на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к акустоэлектронике и может найти практическое применение при изготовлении приборов на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано для изготовления кристаллических элементов с выпуклым профилем, близким к линзообразному, для резонаторов и монолитных фильтров
Наверх