Способ контроля герметичностиизделий

 

Союз Советски к

Социапистическнк

Республик

О П И С А Н И Е нц 838484

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 07,05, 79 (21) 2764073/25-.28 с присоединением заявки М— (51)M. Кл.

6 01 М 3/40

Госудерстеенный ноиетет

СССР

h0 делам нзооретаннй н открытей (23) Приоритет— (53) УДК 620. 165. . 29 (088 ° 8) Опубликовано 1 5, 06. 81. Бюллетень Рй 22

Дата опубликования описания 17 . 06 . 8 1 (72) Авторы изобретения

Н. Т. Квасов и Н. Л. Прохоренко (7I) Заявитель (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к технике испытания изделий на герметичность.

Известен способ контроля герметичности, заключающийся в том, что изделие погружают в обезгаженную жидкость, / создают в полости изделия избыточное давление газа и о негерметичности судят по наличию пузырьков газа в жидкости. (1 1.

Недостатком этога способа является ограниченность области применения, 10 поскольку он не позволяет выявлять изделия с малыми течами, так как в этом случае наблюдение пузырьков гага в жидкости становится затрудни15 тел ьным.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ контроля герметичности изделий, заключающийся в том, что изделие помещают в камеру, опрессонывают его контрольной средой под давлением, а затем оценивают негерметичносч ь по наличию контрольной среды в изделии путем обнаружения масс-спектрометрическим течеискателем контрольной среды, выходящей из изделия в откачанный объем (2), Однако известный способ не обладает достаточной точностью испытаний, так как при наличии в иэделии крупных течей .значительная часть контрольной среды, попавшей в него в процессе опрессовки, успевает покинуть изделие за время его установки в замкнутый объем и предварительной откачки последнего.

Цель изобретения — повышение точности контроля.

Цель достигается тем, что объем изделия после опрессовки облучают сверхвысокочастотной (СВЧ) электромагнитной энергией, длина волны которой выбрана из условия максимального поглощения этой энергии контрольной средой, а о наличии контрольной среды в изделии судят по величи8384

15

"0 е — 30

3 не затухания СВЧ энергии, вносимого изделием.

Кроме того, в качестве контрольной среды используют вещество с резонансным сечением поглощения СВЧ энергии, например пары воды.

Н чертеже. представлена схема для реализации способа контроля герметичности изделий (транзисторов).

Схема содержит излучатель 1 СВЧ электромагнитной энергии с волноводной линией 2, приемник 3 СВЧ энергии с волноводной линией 4. Волно- водные линии 2 и 4 предназначены для подсоединения к контролируемому изделию — транзистору 5. Схема также содержит последовательно соединенные с приемником 3 схему 6 сравнения и индикатор 7.

Способ осуществляется следующим образом.

Транзистор 5 помещают в камеру (на чертеже не показана7 и опрессовывают контрольной средой под давлением 5—

10 атм, в течение 5-10 ч. В качестве контрольной среды используют пары воды, поскольку экспериментально установлено, что при прохождении СВЧ электромагнитного излучения с длиной волны равной 1,35 см в парах воды им ет место резонансное поглощение СВЧ энергии, После опрессовки транзистор

5 соединяют с излучателем и приемником 3 через соответствующие волноводные линии 2 и 4.Внутренний объем транзистора 5 облучают СВЧ электромагнитной энергией с указанной дли— ной волны 1,35 см, которая принима— ется приемником 3. При наличии в тран зисторе 5 паров воды имеет место дополнительное, по сравнению с герметич ж м прибором, затухание СВЧ энергии, 84 4 которое оценивается схемой 6 сравнения и регистрируется индикатором 7.

Использование предлагаемого изобретения позволяет с высокой достоверностью контролировать герметичность изделий, имеющих дефекты (течи) в широком диапазоне величин (малые, промежуточные и грубые течи), а также создает воэможность для автоматизации процесса испытаний.

Формула изобретения

1. Способ контроля герметичности изделий, заключающийся в том, что иэделие помещают в камеру, опрессовывают его контрольной средой под давлением, а затем оценивают негерметич— ность по наличию контрольной среды в изделии, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, объем изделия после опрессовки облучают сверхвысокочастотной (СВЧ) электромагнитной энергией,длина волны которой выбрана из условия максимального поглощения этой энергии контрольной средой, а о наличии контрольной среды в изделии судят по величине затухания СВЧ энергии, вноси-. мого изделием.

2. Способ по и. l, о т л и ч а юшийся тем, что в качестве контрольной среды используют вещество с резонансным сечением поглощения СВЧ энергии, например пары воды.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 513268, кл. G 01 М 3/06, 1965. 2. Ланис В. А., Левина Л.Е. Техника вакуумных испытаний. М., Госэнергоиздат, 1963, с. 242 (прототип).

ВНИИПИ Заказ 4414/63

Тираж 907 Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,4