Плазменный реактор для напыления

Авторы патента:

H05H1 - Плазменная техника (термоядерные реакторы G21B; ионно-лучевые трубки H01J 27/00; магнитогидродинамические генераторы H02K 44/08; получение рентгеновского излучения с формированием плазмы H05G 2/00); получение или ускорение электрически заряженных частиц или нейтронов (получение нейтронов от радиоактивных источников G21, например G21B,G21C, G21G); получение или ускорение пучков нейтральных молекул или атомов (атомные часы G04F 5/14; устройства со стимулированным излучением H01S; регулирование частоты путем сравнения с эталонной частотой, определяемой энергетическими уровнями молекул, атомов или субатомных частиц H03L 7/26)

C23C14 - Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие (разрядные трубки с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда H01J 37/00)

Плазменный реактор для напыления, содержащий камеру, по крайней мере два плазмотрона, установленные в стенке камеры, систему подачи напыляемого материала, отличающийся тем, что, с целью повышения качества напыления и экономичности процесса, камера выполнена сферической формы, а точка пересечения осей плазмотронов совпадает с центром камеры.

Электромагнитная система бетатрона с импульсным питанием // 895272

Управляемый газонаполненный разрядник // 893113

Способ измерения частоты продольных некогерентных колебаний сгустка заряженных частиц // 890958

Способ получения бестоковой плазмы // 890954

Плазменный генератор для обработки строительных материалов // 890567

Плазменная горелка для напыления порошковых материалов // 884546

Способ изготовления центральных вкладышей для электромагнита бетатрона // 882400

Высокочастотный факельный плазмотрон // 882393

Вч-факельный плазмотрон // 878173

Способ получения покрытий в вакууме // 908113

Способ создания металлических покрытий на полупроводниках и диэлектриках // 884482

Способ осаждения ферромагнитногопокрытия носителя записи // 846596

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 826761

Изобретение относится к вакуумной технике и может найти применение в нанесении высококачественных покрытий простого и сложного составов

Способ нанесения вакуумных покрытий на подложки с развитой поверхностью // 818201

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 805658

Изобретение относится к области вакуумного напыления и может быть использовано при создании технологического оборудования для производства изделий электронной техники, радиотехники, приборостроения, в частности установок вакуумного напыления с использованием дугового разряда

Установка для нанесения покрытий в вакууме // 788831

Устройство для нанесения покрытий взрывом фольги // 774276

Устройство катодного распыления сегнетоэлектриков в вакууме // 751166

Способ получения кристаллического материала // 738425

Способ получения защитно-декоративных покрытий // 2100476

Изобретение относится к технологии получения вакуумных покрытий и может быть использовано при нанесении защитных, износостойких и декоративных покрытий, в частности на керамические и стеклянные облицовочные плитки