Газопоглотитель геттерного насоса для откачки водорода
ОГ ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
„„918510
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву — . (22) Заявлено 31.07.80 (21) 2969828/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М.К .
F 04 В 37/02
Государственный комлтет
СССР
Опубликовано 07.04.82. Бюллетень №13
Дата опубликования описания 17.04.82 (53) УДК 621.528..3 (088.8 ) по делам нзобретений и открытий
С. Е. ГоРдеев, .Н. А. демидов и Е. М. Ежов„,. о ...„ I о (72) Авторы изобретения р
Г Хе
\ . 1 д 1
1 (71) Заявитель (54) ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЬ ГЕТТЕРНОГО НАСОСА
ДЛЯ ОТКАЧКИ ВОДОРОДА
Формула изобретения
Изобретение относится к вакуумной технике.
Известно применение прессованного . порошка активного металла в качестве газопоглотителя геттерного насоса для откачки водорода. Газопоглотитель, выполненный в виде таблеток из прессованного порошка активного металла, обладает большой удельной поверхностью и поглощает водород из откачиваемого объекта при комнатной температуре (1) .
Однако при поглощении газопоглотителем водорода происходит образование гидридов металла, из которого изготовлен газопоглотитель, имеющих меньшую плотность и, соответственно, больший объем. Это приводит к разрушению поверхностного слоя газопоглотителя, выражающемся в том, что гранулы спеченного порошка теряют связь между собой и запыляют откачиваемый объем.
Цель изобретения — увеличение ресурса работы газопоглотителя.
Эта цель достигается применением прессованной стружки активного металла в качестве . газопоглотителя геттерного насоса для откачки водорода.
Газопоглотитель, выполненный в виде таблеток из прессованной стружки, имеет волокнистую структуру, в связи с чем увеличение объема поверхностного слоя газопоглотителя не приводит к его разрушению и запылению объема.
Срок службы газопоглотителя из прессованной стружки активного металла боль ше, чем у известных газопоглотителей, и составляет более 25000 ч.
Предложенный газопоглотитель может
1О найти применение в установках, где требуется откачка больших потоков водорода.
Применение прессованной стружки активного металла в качестве газопоглотителя геттерного насоса для откачки водорода.
Источники информации, 20 принятые во внимание при экспертизе
1. Лысогоров О. С. Пористые газопоглотители. — Научно-технический сборник
«Электронная техника», сер. 1, Электроника
СВЧ, вып. 3, М., «Электроника», 1970.
