Адсорбционный высоковакуумный насос

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ. СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски и

Соцмалистнческик

Реслублмк (61) Дополнительйое к авт. свид-ву— (22) Заявлено 06.12.79 (21) 2848202/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (51) М. Кл.з

F 04 В 37/02

Гееударстееиимй кемитет

СССР (23) Приоритет —

Опубликовано 30.09.81. Бюллетень №36

Дата опубликования описания 30.09.81

Ilo делам изобретеиий и етирмтий (53) УДК 621.528..3 (088.8) т -—

В. И. Иванов, В. И. Куприянов, Г. В.;"Варм, С, Д. Копенкин и В. Н. Семенсв (72) Авторы изобретения с

Ленинградский технологический институт холодильной промышленности" (7I ) Заявитель (54) АДСОРБЦИОННЫЙ ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен адсорбционный высоковакуумный насос, содержащий корпус и расположенную в нем криопанель с крупнопористым и мелкопористым адсорбентами (1) .

В известном насосе достигаемый вакуум зависит от начального давления в откачиваемом объекте. С увеличением начального давления в откачиваемом объекте уменьшается разрежение, которое может создать насос. Это связано с закупоркой входных отверстий микропор адсорбента и заполнением его пор среднего размера, т. е. насыщением при высоких начальных давлениях откачки.

Цель изобретения — повышение предельного вакуума.

Указанная цель достигается тем, что криопанель герметично закреплена на корпусе с образованием форвакуумной и высоковакуумной полостей, и крупнопористый адсорбент расположен в форвакуумной полос- 20 ти,а мелкодисперсный — в высоковакуумной.

На чертеже изображен предлагаемый насос.

Адсорбционный высоковакуумный насос содержит корпус 1 и расположенную в нем криопанель 2 с крупнопористым и мелкопористым адсорбентами 3 и 4. Криопанель 2 герметично закреплена на корпусе 1 с образованием форвакуумной и высоковакуумной полостей 5 и б,и крупнопористый адсорбент 3 расположен в форвакуумной полости 5, а мелкопористый — в высоковакуумной полости 6.

Насос работает следующим образом.

После охлаждения криопанели 2 откачивают объект крупнопористым адсорбентом 3 от атмосферного давления до 10 — :

10 . Па. При этом вместе с воздухом в форвакуумную полость 5 переходят из объекта трудноадсорбируемые примеси воздуха: гелий, водород- и неон. Затем откачивают объект до высокого вакуума мелкопористым адсорбентом 4.

Таким образом, описываемый насос позволяет откачивать объекты без предварительной откачки от атмосферного давления до 10 4 — 10 5 Па.

Формула изобретения

Адсорбционный высоковакуумный насос, содержащий корпус и расположенную в нем

868116

Составитель О. Тишина

Редактор П. Макаревич Техред А. Бойкас Корректор Г. Назарова

Заказ 8273/39 Тираж 715 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 криопанель с крупнопористым и мелкопористым адсорбентом, отличающийся тем, что с целью повышения предельного вакуума, криопанель герметично закреплена на корпусе с образованием форвакуумной и высоковакуумной полостей, и крупнопористый адсорбент расположен в форвакуумной полости, а мелкопористый в высоковакуумной.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1 Арефьев А В и др Сорбционный сверхвысоковакуумный насос с азотным охлаждением ССНА- 05. Приборы и техника эксперимента. М., «Наука» 1968, № 3, с. 149 — 153.