Криоадсорбционный насос

 

Союз Советскин

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6) ) Дополнительное к авт. свнд-ву > 449172 (5l)N. Кл .

F 04 В 37/02 (22)Заявлено15,09.80 (21) 2982713/25-06 с присоеднненнеат заявки М

Гоеудареъкнный комитет

CCCP по делам изобретений н открытий (23) Приоритет

Опубликовано 15.05.82. Бюллетень,рй 18 (53) УДК 621. .528.3 (088 .8) Дата опубликования описания 19.05.82 (72) Авторы изобретения

Л. 3. Закиров, В. В. Леонов, В. М. Мухин и H. Н. Тарасов (7!) Заявитель (54) КРИОАДСОРББИОННЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике.

По основному авт. св. N 449172 известен криоацсорбдионный насос, соцер жаший емкость для криогенной жидкости и жестко укрепленную на ней камеру цля адсорбента со стенками, выполненными из пористого оптически непрозрачного материала с высоким коэффициентом теплопровоцности (11.

Нецостатком известного насоса является ограниченная сорбционная емкость камеры для ацсорбента. Произвольное увеличение объема этой камеры не обеспечивает полного равномерного охлаждения адсорбента, привоцит к возникновению заметных градиентов концентрации откачиваемого газа и температуры, т.е. снижает эффективность откачки насоса.

Другой недостаток известного насоса выявляется при создании криоацсорбционного насоса большой произвоцительности (от

100000 л/с и более), когда необходимо использовать большое количество отцельных камер цля ацсорбента с пористыми стенками, что привоцит к увеличению габаритов и металлоемкости устройства.

Бель изобретения — увеличение сорбционной емкости путем улучшения условий

S охлаждения адсорбента.

Указанная цель достигается тем, что. в камере размещены сетки, разделявшие ее на секции, выполненные из высокотеплопроводного материала и прикрепленные тй с тепловым контактом к стенкам .камеры.

На чертеже изображен насос,процольный разрез.

Криоацсорбционный насос содержит ем кость 1 для криогенной жидкости и meet ко укрепленную на ней камеру 2 для еасорбента со стенками, выполненными as пористого оптически непрозрачного материала с высоким коэффициентом теилоа проводности. В камере 2 размещены се\

«и 3, разцелякадие ее на секции, выполненные из высокотеплопровоцного материала и прикрепленные с тепттовым конта»том к стенкам камеры 2.

3 928068 4

При захолаживании емкости 1 захола- Ф о р м.у л а и з о б р е т е н и я живаются стенки камеры 2 с адсорбентом,. Криоадсорбционный насос па за счет хорошего контакта с сетками 3 авт. св. № 449172, отличающийся адсорбент охлаждается до температуры тем, что, с целью увеличения сорбционхладагента. Вследствие чего увеличива- g ной емкости путем улучшения условий охется сорбционная емкость насоса. лаждения адсорбента, в камере размещеВ случае использования гранулирован- ны сетки, разделяющие ее на секции, выного адсорбента кратное расстояние меж- ° полненные из высокотеплопроводного маду сетками 3 позволяет разместить боль- . териала и прикрепленные с тепловым коншое количество адсорбента. 10 тактом к стенкам камеры.

Такое выполнение насоса позволяет Источники информации, увеличить сорбционную емкость и, следо- принятые во внимание при экспертизе вательно, улучшить условия откачки при 1. Авторское свидетельство СССР сокращении габаритов. № 449172, кл. F 04 B 37/02, 1972.

Составитель О. Тишина

Редактор С, Запесочный Техред М.Тепер Корректор Г. Решетник

Заказ 3204/47 Тираж 671 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж:-35, Раушская наб„д. 4/5

Филиал ППП Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Криоадсорбционный насос Криоадсорбционный насос 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх