Способ изготовления фольговых тензорезисторов
ц 928426
Союз Соввтсинк
Соцналнстнчвскна
Ресниублнк
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (5I ) Дополнительное к авт. свид-ву (5l }NL. Кл. (22) ЗаЯвленО 26.12.79 (21) 2885975/18-21 о с присоединением заявки М
Н 01 С 17/00
1оаударстеенныН квинтет
СССР (23) Приоритет (53} УДК 621.316. .8 (088.8) пп делан изебретеннк и открытий
Опубликовано 15.05.&2., Бюллетень М 18
Дата опубликования описания 15.05.82
С. А. Николаева, Ф. А. Гордеева, Ю. М. Базжин, В. А. Ольша, О. Е. Конева, В. Я. Агароник и В. М. Розонова (72) Авторы изобретения
1 Научно-исследовательский и конструкторский институт испытательных
1 машин, приборов и средств измерения масс (7I) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОЛЬГОВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в производстве фольговых тензорезисторов.
Известен способ изготовления фольговых тенэорезисторов, включающий отжиг фольги иэ железохромоалюминиевого сплава и фотолитографическое изготовление на ней топологии тензореэистора (1) .
Недостатки известного способа изготовления фольговых тенэорезисторов состоят в сложности технологии и низкой термостабильности тензорезнсторов в диапазоне, .не охватывающем низких температур.
Наиболее близким к изобретению-техническим решением является способ изготовления фольговых тензорезисторов, включающий отжиг фольги из сплава платины, палладия и иридия и фотолитографическое изготовление на ней топологии тензорезистора (2).
Недостаток этого способа изготовления тензореэисторов заключается в низкой термостабильности тенэорезисторов.
Цель изобретения — повышение термостабильности тензореэисторов в диапазоне температур от — 200 до +700 С.
Цель достигается тем, что согласно способу изготовления фольговых тензорезисторов, 3 включающему отжиг фольги и фотолитографическое изготовление на ней топологии тен- ° зореэистора, используют фольгу из ннкельмолнбденового сплава, легированного 1,8—
;2,2 вес.% алюминия и .2,5 — 2,9 вес.% хрома, а отжиг проводят в вакууме при 440 — 480 С в течение 2 — 3 ч.
Способ изготовления фольговых тензорезисторов осуществляется следующим образом.
Три партии фольги из ннкельмолибденового сплава, легированной 1,8 — 2,2 вес.% алюминия и 2.5-2,9 вес.% хрома, обезжиривают в бензине и отжигают в вакуумной печи первую партию при 480 С в течение 2 ч, вторую партию при 460 С s течение 2,5 ч и третью партию при 440 С в течение 3 ч.
Подготовленную фольгу затем подвергают процессом фотолитографии, формируя на
3 ней рисунок тензорезисторов, н наклеивают на стальные пластины.
Изобретение позволяет упростить технологию изготовления фольговых тензорезисторов, повысить термостабильность тензореэисторов.в диапазоне температур от -200 до
+700 С и повысить надежность и воспроизводимость характеристик фольговых тенэореэис торов.
Способ изготовления фольговых тензорезисторов, включающий отжиг фольги и фотолиСоставитель ?0. Герасичкин
Техред Ж. Кастелевич Корректор В. Бутяга
Редактор О, Персиянцева
Заказ 3250/65
Тираж 758 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета CCCP по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб,, д. 4/5
Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4
Формула изобретения
928426 4 тографическое изготовление на ней топологии тенэореэистора, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения термостабильности тенэореэисторов в диапазоне температур от -200 до +700 С, используют фольгу иэ никельмолибденового сплава, легированного 1,8 — 2,2 вес% алюминия и 2,5—
2,9 вес.% хрома, а отжиг проводят в вакууме при 440-480 С в течение 2-3 ч.
1О Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР Н 185528, кл. Н 01 С 17/00, 1960.
2. Патент Великобритании И 1047412, кл. Н 01 С 17/00, ?966 (прототип).
