Способ получения высокого вакуума

 

(72) Авторы изобретения

Н.К.Тюрин, 8,Н.Матвеев и В.И.Гайдуков Г,.- ......,..

1 (71) Заявнтель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОГО ВАКУУМА

Изобретение относится к вакуумной технике.

По основному авт.св. и 629358 из вестен способ получения высокого вакуума путем промывки откачиваемого объекта газом с последующей конденсацией, причем в качестве промывочного газа используют водород, после промывки подают в объем газообразный кислород, и полученную смесь воспламеняют с образованием паров воды(1).

Недостатком известного способа являются невысокая надежность, вследствие резкого повышения давления в >s объекте в процессе воспламенения, а также большое время вакуумирования.

Цель изобретения - повышение надежности и сокращения времени вакууми рования.

Указанная цель достигается тем, что согласно способу образовавшееся в процессе воспламенения смеси избыточное давление паров воды уменьшают путем сброса их в атмосферу.

На фиг. 1 схематично изображена установка, реализующая описываемый способ; на фиг. 2 - узел Х на фиг.1.

Установка содержит откачиваемый объем 1 с клапанами 2 и 3. Откачивае", мый объем 1 соединен с баллонами 4 и 5 клапанами 6 и 7 и дозирующим устройством 8. Внутри объема 1 расположен смеситель 9, соединенный с баллоном 5, свеча 1О, соединенная с источником 11 высокого напряжения, и криопанель 12 с клапаном 13. В стенке откачиваемого объема 1 выполне" ны окна 14, в которых установлены обратные клапаны 15, имеющие окна 16 для сообщения объема с атмосферой, пружину 17 и уплотнения 18 и 19.

Откачиваемый объем 1 через клапан 2 промывают газообразным азатом, который вытесняет воздух чеформула изобретения

3 9377 реэ открытый клапан 3. Затем через клапан 6 иэ баллона 4 подают газооб- разный водород, который вытесняет азот из объема 1. Через клапан 7 и дозирующее устройство 8 из балло.на 5 в откачиввемый объем 1 подают газообразный кислород через смеситель

9, причем газообразный кислород подают иэ расчета получения избытка кислорода под стехнометрией смеси. 0oc" )p ле герметизации кислородно-.водородной смеси в объеме 1 ее поджигают . с помощью свечи 10, питаемой от ис" точника 11 высокого напряжения. В результате сжигания кислородно-водород- ной смеси в объеме 1 резко возрастат давление, которое, воздействуя на братный клапан 15, открывает их. При .этом избыток паров воды и не вступившего в реакцию кислорода сбрасывается в атмосферу через окна 16 клапана 15.

При смешивании давления в откачиваемом объеме 1 до минимально до,пустимого, которое определяется настройкой пружины из расчета исклю чения попадания атмосферы в объем 1, обратные клапаны 15 закрываются.

При попадании хладагента, напри-мер жидкого водорода, в рабочую

64 ф полость криопанели 12, последняя охлаждается и давление в объеме смешивается до 1 ° 10" 1ор.

Получение высокого вакуума по предлагаемому способу позволяет ускорить процесс вакуумирования, отказаться от дорогостоящего оборудования для откачки труднокомпенсируемого водорода, являющегося основным газом s остаточной атмосфере высоковакуумных установок, а также. повысить надежность в процессе работы.

Способ получения высокого вакуума по авт.св. У 629358, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и сокращения .времени вакуумирования, образовавшееся в процессе воспламенения смеси избыточное давление паров воды уменьшают путем сброса их в атмосферу.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР 629358, кл. F 04 В 3.7/08, 1977.