Способ получения четыреххлористого кремния

Авторы патента:

Бочкарев Э.П.

Елютин А.В.

Иванов Л.С.

Кох А.А.

C01B33/107 - галогензамещенные силаны

Способ получения четыреххлористого кремния путем обработки полихлорида кремния хлорсодержащим реагентом при нагревании с последующей конденсацией целевого продукта при охлаждении, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода четыреххлористого кремния, охраны окружающей среды и удешевления процесса, полихлорид кремния используют в виде отходов производства кремния, которые подвергают испарению при температуре 370 - 1000^oC с одновременной обработкой их газообразным хлором при отношении последнего к отходам 0,3 - 1,5 : 1.

Способ разделения смеси четыреххлористого кремния и триметилхлорсилана // 275054

Способ одновременного получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния // 120510

Способ получения поликристаллического кремния по замкнутому технологическому циклу // 2122971

Изобретение относится к области химической технологии получения поликристаллического кремния

Способ получения высокочистого трихлорсилана и устройство для его осуществления // 2142909

Изобретение относится к получению кремнийсодержащих материалов и может быть использовано в производстве хлорсиланов, применяемых в технологии микроэлектроники и высокочистого кремния

Способ получения трихлорсилана // 2147292

Изобретение относится к металлургии кремния, а именно к получению трихлорсилана - SiHCl3, используемого в производстве полупроводникового кремния, из тетрахлорида кремния - SiCl4

Способ получения силанов // 2152902

Способ получения тетрафторида кремния // 2182558

Изобретение относится к неорганической химии, к получению фторидов неметаллов, точнее - к способам получения тетрафторида кремния

Способ получения хлорсиланов // 2214363

Изобретение относится к химии кремнийорганических соединений, а именно к способам получения высокочистого трихлорсилана, и может быть использовано в производстве полупроводникового кремния

Способ получения трихлорсилана // 2214364

Изобретение относится к способам получения хлоридов кремния, применяемых в производстве полупроводникового кремния, в химической промышленности

Способ получения тетрахлорсилана // 2228294

Изобретение относится к способам получения соединений кремния, используемых в полупроводниковой технике и в кремнийорганической химии

Способ производства трихлорсилана // 2254291

Изобретение относится к металлургической промышленности, в частности к способу производства трихлорсилана, и может быть использовано в производстве полупроводникового кремния

Способ получения трихлорсилана // 2274602

Изобретение относится к способам получения трихлорсилана из тетрахлорида кремния и может быть использовано для утилизации тетрахлорида кремния, образующегося в процессе получения поликристаллического кремния водородным восстановлением трихлорсилана