Способ оптической регистрации рельефа

 

Союз Советских

Социалистических

Республик (и 979 1 62 (61) Дополнительное к ввт. свид-ву(22) Заявлено OQ3979 (>>) 2820417/25-28 с присоединением заявки ¹(23) ПриоритетОпубликовано 301082. Бюллетень М 40

G 01 В 11/30

Государственный комитет

СССr но делам изобретений и открытий (33) УДК 531.717 (088.8) Дата опубликования описания 301082 ю !

A,Ë.Ëóáíû-Герцык, A.A.Áàéêîâ и Н.Б.Эскин

„13

Всесоюзный научно»исследовательский и проек конструкторский институт атомного энергетич машиностроения

А

I (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОПТИЧЕСКОЙ РЕГИСТРАЦИИ РЕЛЬЕФА

Изобретение относится к теплоэнергетике и может быть использовано при исследовании режима работы парогенерирующих труб и другого теплообменного оборудования.

Известен способ наблюдения микропрофиля поверхности в заданнсм сечении,. заключающийся в тсм, что облучают исследуемую поверхность излучением источника света, строят изображение источника света, отраженного от исследуемой поверхности и от зеркаль ной поверхности, совмещают два иэображения и определяют рецэп еф поверхности по интерференционной кар тине от двух изображений(1).

Недостатками известного способа являются регистрация интерференционной картины, а не самого рельефа поверхности, наличие большого количества операций и низкая точность регистрации иэображения исследуемого слоя.

Наиболее близкий к изобретению является способ оптической регистрации рельефа, заключающийся в том,,что фотографируют рельеф на позитивнуюю фо топ ла с тинку, просвечивают ее и регистрируют изображение рельефа (2)

Недостатком известного способа является низкая точность регистрации иэображения исследуемого слоя иэ-за наложения на изображение исследуемого слоя нерезких иэображений прилегающих слоев.

Цель изобретения. — повьпаение точ ности регистрации.

Укаэанная цель достигается sa счет того, что согласно способу опти$0 ческой регистрации рельефа, заключающемуся в тсм, что фотографируют рельеф на позитивную фотопластинку, просвечивают ее и регистрируют изображение рельефа, устанавливают на место позитивной фотопластинки негативную фотопластинку, приводят ее в колебательное движение по заданному закону, фотографируют рельеф на негативную фотопластинку, совмещают негативную фотопластинку с позитивной и просвечивают совмещенные фотопластинки.

На чертеже представлена оптическая схема устройства, реализующего оптический способ регистрации.

Устройство содержит источник 1 света, объектив 2, плоскости 3 фотографирования и рельеф 4 поверхности исследуемого слоя.

Способ реализуется следующим образом.

970102 где D —. размер кружка;

М вЂ” увеличение объектива;

Л вЂ” длина волны света у

8 †.апертурный угол со стопр роны исследуемого слоя.

Затем негативную фотопластинку совмещают с позитивной и просвечивают совмещенные фотопластинки.

Причем размытые, нерезкие изображения элементов рельефа будут отфильтровываться эа счет того, что негативная фотопластинка приводится в колебательное движение, в проходящих лучах будут видны реэкосфокуссированные элементы иэображения рельефа исследуемого слоя.

30

Направляют излучение от источника 1 света на рельеф 2 поверхности исследуемого слоя, объективом 3 фокусируют рассеянное излучение в плоскость

4 фотографирования, фотографируют на позитивную фотопластинку (не пока- 5 зана)изображение,рельефа. Затем на место позитивной фотопластинки устанавливают негативную фотопластинку (не показана), приводимую в колебательное движение по заданному 10 закону. Закон, согласно которому осуществляют колебание, выбирают таким обраэсм, чтобы изображение точки в исследуемом слое превратилось на негативной фотопластинке 15 в кружок, плотность йочернения которого изменялась бы по закону Гаусса от центра к краям кружка, à его .размер был бы равен

Таким образом, повышение точности регистрации при исследовании рельефа поверхности достигается эа счет того, что производится дополнительное фотографирование сначала на неподвижную, а затем на подвижную фотопластинку, приводимую в колебательное движение, а последующим наблюдением в проходящем свете через совмещенные фотопластинки.

Формула изобретения

Способ оптической регистрации рельефа заключающийся в том, что фотографируют рельеф на позитивную фотопластинку, просвечивают ее и регистрируют иэображение рельефа, отличающийся тем, что, с целью повышения точности регистрации, устанавливают на место позитивной фотопластинки негативную фотопластинку, приводят ее в,:.колебательное движение по заданному закону, фотографируют рельеф на негативную фотопластинку, совмещают негативную фотопластинку с позитивной и просвечивают совмещенные фотопластинки.

Источники информации принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 72947, кл. G 01 В 11/30, 1946.

2. Овсянников Н.А. Специальная фотография. И., "Недра", 1966, с.108 (прототип).

970102

Составитель М. Захаренко

Техред М. Надь Корректор у. Пономаренко, Редактор С. Тараненко

Заказ

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

8367/46 Тираж 614 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Способ оптической регистрации рельефа Способ оптической регистрации рельефа Способ оптической регистрации рельефа 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к медицинской промышленности, в частности, к способу получения реактива для определения активированного парциального тромбопластинового времени (АПТВ) из отходов производства соевого лецитина

Изобретение относится к технике измерения и может быть использовано для контроля выпуска продукции с регламентированными параметрами шероховатости и волнистости в металлургической, машиностроительной, электронной, оптической, полиграфической промышленности, в самолетостроении, в технологиях нанесения покрытий

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Изобретение относится к области оптических измерений, прежде всего шероховатости поверхностей

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к измерительной технике с помощью оптоэлектронных приборов, и может быть использовано при производстве и эксплуатации деталей и устройств, имеющих наружную резьбу

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к измерительной технике с помощью оптоэлектронных приборов, и может быть использовано при производстве и эксплуатации деталей и устройств, имеющих внутреннюю резьбу

Изобретение относится к способу детектирования положения линии сгиба или аналогичной неровности на движущемся упаковочном полотне на подобном материале

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при определении шероховатости сверхгладких поверхностей, например плоских зеркал, полированных подложек и т.п

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для контроля шероховатости поверхности изделия
Наверх