Оптико-телевизионная система обнаружения дефектов фотошаблонов

 

СОО3 СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

6 01 В 9/04 .!

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (2I) 3243118/40-23 (22) 19.01.81 (46) 15,11.83. Бюл. I 42 (72) В.В.Дулеев (71) Лейинградский институт авиационного приборостроения (53) 620.186.4(088.8) (56) 1 ° Авторское свидетельство СССР

V 481766, кл. G 01 В 9/04, 1975, 2. Авторское свидетельство СССР

11 8470I4, кл. G 01 В 9/04, 1979 (прототип). (54)(57) ОПТИКО-ТЕЛЕВИЗИОННАЯ СИСТЕМА

ОБНАРУЖЕНИЯ ДЕФЕКТОВ ФОТОШАБЛОНОВ, .содержащая координатный стол с механиэ" мами для перемещения контролируемого объекта фотошаблона, датчики линейных перемещений фотошаблона по двум коор динатам, осветители координатного стола, передающую телевизионную камеру, .оптически сопряженнуюс приемнымобъективом, оптически сопряженным с блоком совмещения изображений фотошаблонов, детектор дефектов и блок управления, вход которого соединен с первым выходом передающей телевизионной камеры, а выходы подключены ко входам соответствую„„SU„„1054676 А щих осветителей, о т л и ч а ю щ а я " с я тем, что, с целью повышения вероятности обнаружения дефектов фотошаблонов, блок совмещения иэображений фотошаблонов выполнен в виде-двух перископических систем, оптические оси которых параллельны и на выходе совмещены с оптической осью приемного объектива, при этом каждая перископическая система размещена в отдельном корпусе, расположенном на общем основании, кинематически связанном с блоком вращения перископических систем вокруг оси приемного объектива, а корпуса перископических систем механически связаны с блоком изменения расстояния между Я осями перископических систем, а также введен блок анализа совмещения изображений фотошаблонов, вход которого соединен со вторым выходом передающей телевизионной камеры, первый вы- р. ход подключен к-входу блока измене" ния .расстояния между осями периско-. гических систем, а второй выход сое 1и- нен со входом блока вращения перископических систем-вокруг оси приемного объектива.

10546

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для обнаружения дефектов фотошаблонов.

Известно контрольно-измерительное устройство обнаружения дефектов поверхности, содержащее блок формирования лазерного луча, блоки развертки лазернсго луча, а также два фотоприемника, расположенные под измери- 1О тельной позицией координатного стола (1), Недостатком устройства является невысокая точность измерений.

Наиболее близкой к изобретению является система для обнаружения де- 15 фектов фотошаблонов, содержащая координатный стол с механизмами для ориентации контролируемого фото.шаблона, датчик линейных перемеще-! v нии фотошаблона по двум координатам, 20 осветители измерительной позиции координатного стола, проекционный объектив, распрложенный над измерительной позицией координатного стола, передающую камеру, детектор дефектов, 25 блок суммирования оптических изображений модулей контролируемого фотошаблона и,блок противофазного включения осветителей $2) .

Данная система характеризуется gp недостаточной вероятностью обАружения дефектов фотошаблонов.

Цель изобретения - повышение вероятности обнаружения дефектов фотошаблонов, Цель достигается тем, что в оптикотелевизиоыной системе. обнаружения дефектов фотошаблонов, содержащей координатный стол с механизмами для перемещения контролируемого фотошаблона, 4О датчики линейных перемещений фото шаблона по двум координатам, осветители координатного стола, передающую . телевизионную камеру, оптически сопряженную с приемным объективом, опти- 45 чески сопряженным с блоком совмещения изображений фотошаблонов, детектор дефектов и блок управления, вход которого соединен с первым выходом rieредающей телевизионной камеры, а выходы подключены ко входам соответст" вующих осветителей, блок совмещения изображений фотошаблонов выполнен в виде двух перископических систем, - .оптические оси которых параллельны и на выходе совмещены с оптической осью приемного объектива, при этом каждая перископическая система размещена в ртдельном корпусе, расположенном на .

76 2 общем основании, кинематически связанным с блоком вращения перископических систем вокруг оси приемного объектива, а корпуса перископических систем механически .связаны с блоком изменения расстояния между осями пери скопи ческих систем, а также введен блок анализа совмещения изображений фотошаблонов, вход которого соединен со вторым выходом передающей телевизионной камеры, первый выход подключен к входу блока изменения расстояния между осями перископических систем, а второй выход соединен со входом блока вращения перископических систем вокруг оси приемного объектива.

На чертеже представлена схема предлагаемой системы °

Схема содержит осветители 1 координатного стола, контролируемый фотошаблон 2, блок 3 совмещения изображений фотошаблонов, приемный объектив 4, передающую телевизионную камеру .5, координатный стол 6 с механизмами для перемещения контролируе« мопо фотошаблона, датчики 7 линейных перемещений фотошаблона по двум координатам, блок 8 анализа совмещения изображений фотошаблонов, детектор 9 дефектов, блок 10 управления, первую и вторую перископические системы 11 и 12, являющиеся элементами блока 3совмещения изображений фотошабленов и размещенные в корпусе 13, установленном на основании 14, связанном с блоком 15 вращения перископических систем. Корпус 13 каждой перископическсй системы 11 и 12 связан с блоком 16 изменения расстояния между осями перископических систем.

Система работает следующим с}6разом.

Перед началом работы контролируемый фотошаблон 2 устанавливают на координатном столе 6 и освещают осветителями 1, работающими в заданном режиме. На первом этапе блок S анализа совмещения оптических иэображений выдает на блок 15 вращения перископических систем сигнал углового рассогласования базовой линии системы.

За базовую линию принимается линия, соединяющая центры входных зрачков блока 3 совмещения изображений фотошаблонов, Работа блока 15 вращения перископических систем прекращается, когда сигнал ошибки равен нулю, что соответствует параллельности базовых

10546 з линий фотошаблона и системы. На экраны детектора 9 дефектов этот процесс отображается как процесс совме" щения изображений сравниваемых участков фотошаблонов по оси У, На втором

- этапе блок 8 анализа совмещения оптических изображений выдает на блок 16 изменения расстояния между осями перископических систем сигнал ошибки, пропорциональный линейному рассогла", 1О сованию базовых линий. Работа блока .

16 изменения расстояния между осями перископических систем прекращается, когда сигнал ошибки равен нулю, что соответствует геометрическому равенст 15 ву базовых линий: фотошаблона1 и сис.темы. На экране детектора 9 дефектов

76 4 это отображается как процесс совмещения .изображений сравниваемых участ" ков фотошаблона по оси Х при сохранении ранее достигнутого совмещения по оси У.

Таким образом, выполнение блока совмещения иэображений фотошаблонов в виде перископических систем обеспечивает стабилизацию углового положения наблюдаемого через перископ объекта при качании перископа, т.е. обеспечива1ется возможность регулировки оптической базы системы без нарушения фокуси,ровки и взаимного углового положе ния совмещаемых участков контроли" руемого фотошаблона.

1054676

КЯыяпф

K Юь!хОР

ВНИИПИ Заказ 9086/46 Тираж 602 Подлисное филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул, Проектная, 4