Фотоэлектрический микроскоп

 

ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МИКРОСКОП, содержавши .источник излучения и оптически связанные проекционную систему, приэменный блок в виде скрепленных друг сдругом светоделительного кубика и двух прямоугольных призм, установленных на смежных гранях симметрично относительно светоделительной диагональной плоскости, щелевой модулятор и регистрирующий блок, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, он снабжен третьей прямоугольной призмой, установленной с одной из двух прямоугольных призм на грачи светоделительного кубика перпендикулярно оптической оси микроскопа, щелевой модулятор вьшолнен в виде двухщелевой диафрагмы , щели которой смещены в противоположные стороны от оптической оси на величину, равную длине щели, а величина смещения двух прямоуголь (Л lajx призм равна расстоянию между щелями щелевого модулятрра. ОО ;о 4 о ел

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН с .

° М

О В

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЭОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (2 }1 2801297/25-28 (221 24.07.79 (461 30.04.84. Бюл. У 16 (72) А. В. Романов, К. М, Шестаков, Л.И.Павлов, В.С. Садов и В.Е.Василев-, ский (711 Институт электроники АЯ БССР, (531 531. 7.15. 2 (088. 81 (56) l. Авторское свидетельство СССР

У 494602, кл. G 01 В 9/04, 1976.

2. Авторское свидетельство СССР В 567093, кл,. G Ol В 9/04, 1977 (прототип). (54 ) (57) ФОТОЗЛЕКГРИЧЕСКИЙ МИКРОСКОП, содержащий .источник излучения и оптически связанные проекционную систему; призменный блок в виде скрепленных друг с другом светоделительного ку„„SU„„1089405

3(59 С 01 В 9 04 бика и двух прямоугольных призм, установленных на смежных гранях симметрично относительно светоделитель- ной диагональной плоскости, щелевой модулятор и регистрирующий блок, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, он снабжен третьей прямоугольной призмой, установленной с одной из двух прямоугольных призм на грани светоделительного кубика перпендикулярно оптической оси микроскопа, щелевой модулятор выполнен в виде двухщелевой диафрагHbl> щели которой смещены в противо» положные стороны от оптической оси на величину, равную длине щели, а щ

С2 величина смещения двух прямоугольных призм равна расстоянию между щелями щелевого модулятора.

1089405 2

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для регистрации границы объекта при линейных и угловых измерениях.

Известен фотоэлектрический микроскоп, содержащий источник света, опти" ческую проекционную систему, щель, фотоприемник и блок регистрации (1).

Недостаток микро скопа-невысокая точность измерения, обу словленная нечувствительностью к знаку смещения системы наведения от положения, соответствующего точному наведению на штрих, так как независимо от знака этого смещения два изображения штриха одинаково расходятся и длительность соответствующих импульсов от совмещенных иэображений штриха в обоих случаях возрастает.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является фотоэлектрический микроскоп, содержащий источник излучения и оптически связанные проекционную систему, призменный блок в виде двух скрепленных друт с другом светоделительного кубика и двух прямоугольных призм, установленных на смежных гранях симметрично относительно светоделительной диагональной плоскости, щелевой модулятор и регистрирующий блок (2).

Недостатком известного микроскопа является невысокая точность, обусловл енная зависимостью результатов измепо- З5 рения от формы и размера штриха, поскольку для определения положения объекта необходимо получать отсчетные импульсы от обеих границ изображения объекта.

Цель изобретения — повышение точности измерения.

Указанная цель достигается тем, что фотоэлектрический микроскоп, содержащий источник излучения и опти45 чески связанные проекционную систему, призменный блок в виде скрепленных друг с другом светоделительного кубика и двух прямоугольных призм, установленных на смежных гранях симметрично относительно светоделительнои 50 диагональной плоскости, щелевой модулятор и регистрирующий блок, снабжен третьей прямоугольной призмой, установленной с одной из двух прямоугол гольных призм на грани светодели- 55 тельного кубика перпендикулярно оптической оси микроскопа, щелевой моду° лятор выполнен в виде двухщелевои диафрагмы, щели которой смещены в противоположные стороны от оптической оси на величину, равную длине щели, а величина смещения двух прямоугольных призм равна расстоянию между щелями щелевого модулятора.

На чертеже представлена схема фотоэлектрического микроскопа.

Фотоэлектрический микроскоп содержит источник 1 излучения, проекционную систему 2, призменный блок 3 в виде скрепленных друг с другом светоделительного кубика 4 и трех прямоугольных призм 5-7, призмы 5 и 6 установлены на смежных гранях симмет-. рично относительно светоделительной диагональной плоскости, призмы 6 и 7 установлены на грани светоделительного кубика 4 перпендикулярно оптической оси микроскопа со смещением, щелевой модулятор 8 выполнен в виде двухщелевой диафрагмы, щели которой смещены в противоположные стороны от оптической оси на величину, равную длине щели, а величина смещения призм 6 и 7 равна расстоянию между щелями щелевого модулятора 8, регистрирующий блок 9, а также объект 10, располагаемый на оптической оси микроскопа между источником 1 излучения и проекционной системой 2.

Устройство работает следующим образом.

Источник 1 излучения освещает объект 10, изображение границы которого проекционной системой 2 через призменный блок 3 проецируется в плоскость щелевого модулятора 8. Призмы 6 и 7 двойного изображения смещены относительно оптической оси микроскопа в противоположные стороны„ при этом в плоскости щелей модулятора 8 образуются два изображения границы объекта 10 причем одно из изображений имеет вид ступеньки. Свето1 вой поток через щели модулятора 8 попадает на регистрируюп1ий блок 9.

При перемещении границы объек" та 10 к оптической оси микроскопа два иэображения границы объекта 10 перемещаются в направлении одно к другому. В момент регистрации положения границы объекта 10 при совпадении границы объекта 10 с onòè÷åñкой осью микроскопа в плоскости щелей щелевого модулятора 8 образуются два штриховых знака, один — светлый на темном лоле, другой — темный

1089405

Составитель Н.Захаренко .

Редактор А. Курах Техред М. Надь Корректор А. Дзятко

Заказ 2918/37 Тираж 587 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1 13035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 на светлом поле, причем ширина их одинакова. При отклонении границы объекта 10 относительно оптической оси в ту или иную сторону ширина знаков меняется, причем одного увеличивается, а другого - уменьшается. При сканировании изображений границы щелевым модулятором 8 с амплитудой, большей суммы ширины щели и половины

;расстояния между щелями, в регистрирующий блок 9 поступают импульсы фототока. В случае, когда граница объекта 10 не доходит до оптической оси или переходит ее, длительности импульсов фототоков не равны и только s момент совпадения границы объекта 10 с оптической осью наступает раВенство длительностей импульсов. Равенство длительностей импульсов может быть зафиксировано любым из известных способов.

Таким образом, при помощи предла гаемой конструкции фотоэлектрическо10 го микроскопа получают .отсчетные импульсы от одной границы изображения объекта, благодаря чему на точность измерения не влияет форма и размер объекта, а также соотношение его с шириной щели модулятора.