Способ изготовления пленочных прецизионных резисторов

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

OW

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К ABTOPCHGMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТЖ (21 ) 3468510/18-21 (22) 09.07.82 (46) 07.02.84. Бюл. Р 5 (72) В.Н. Банников, В.Ф.Ильин, В.С.Ларин, T.Á.Àðæàíoâà, Б.В.Обносов и В.Л .Залесский (53) 621,316.8(088.8) (56) 1. Патент Англии Р 1447579, кл. Н 01 С 17/00, 1974.

2. Исследование возможности улучшения параметров резисторов

: с помощью ионной бомбардировки и термообработки в различных средах.

Отчет ГИФТИ В 225, 1982 (прототип ..

„.Я0.„1072114 А

l(54)(57) СБОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕ:НОЧНЫХ ПРЕЦИЗИОННЫХ РЕЗИСТОРОВ, включающий нанесение резистивной пленки. на керамическое. основание и термообработку ее HK нагревом в потоке инертного газа, о т л и. ч а ю шийся тем, что, с целью обеспечения стабильности электричес.кого сопротивления и температурного коэффициента сопротивления и повышения производительности роцесса изготовления резисторов, термообработку резистивной пленки осуществля ют в интервале температур 370-670 С при расходе инертного газа 20

150 л/ч с изотермической выдержкой в течение 15-30 мин.

1072114

Цель изобретения — обеспечение стабильности электрического сопротивления и температурного коэффициента сопротивления и повышение производительности.

5 Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления пленочных прецизионных резисторов, включающему нанесение резистивной пленки на керамическое основание и термообработку ее ИК нагревом в по- токе инертного газа, термообработку проводят в интервале температур

370-670 С при расходе инертного газа 20-150 л/ч с изотермической выдержкой в течение 15-30 мин.

Пример. Для изготовления резисторов типа С2-29В мощностью

0,5 Вт на керамические основания наносят резистивную .пленку и подвергают ее термообработке на установке

"Изотерм" в среде аргона. После тер- мообработки полученные заготовки резисторов армируют и проводят измерения электрического сопротивления и температурного коэффициента сопро-. тивления °

Данные о режиме термообработки и параметрах резисторов приведены в таблице.

Режимы термообработки

Способ изготовления резисторов оC Расход аргона, л/ч

Время, мин

195,6 Ом -50,1

350 . 8

600 8

Прототип

34,1 К. 60

+35,6

117,4 Ом -47,1

122,1 Ом -46,2

139,5 Ом -40,4

Предлагаемый

370 20

30

115,2 Ом -46,9

119,1 Ом -46,1

129,3 Ом -41,1

114,1 Ом -46,6 117,8 Ом -46,3

121,5 Ом -42,2

20

370 100

Предлагаемый

370 150

30

4 1 К

6,3 К

7,8 К

-18,7

-17,9

-15,2

450 20

30

Изобретение относится к электронной технике и может быть использова; но в технологии изготовления постоянных пленочных прецизионных резисторов.

Известен способ изготовления постоянных пленочных прецизионных резисторов, включающий нанесение резистивной пленки на керамическое основание и термообработку ее при

900-1100 С в течение 30-60 мин Г11 .

Недостатки известного способа— низкая производительность и невоспроизводимость электрического сопротивления (H) и температурного козффициента сопротиВления (ТКС).

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ изготовления постоянных пленочных прецизионных резисторов, включающий нанесение резистивной пленки на керамическое основание и термообработку ее ИК нагревом в потоке инертного газа в течение

30-90 мин (23 °

Недостатки известного сйособа заключаются в низкой производительности и невоспроизводимости электрического сопротивления и температурного коэффициента сопротивления.

Электрические параметры Брак, а

1072114

Режимы термообработки Электрические параметры Брак, ° Ъ

Способ изготовления резисторов

Время,,Т С Расход R . ми н аргона, л/ч ткс -у.

10 1/гр

450 100

20

15

-16,0

450 150

17, 20

-15,6

) 28 1 К

+24,1

+25,9.15

32,3 К

670 20

20

39,7 К +28,3

26,7 К +23,8

29,8 К - +24,3

670 100

20

36,6 К +27,8

26,1 К +21,2

28,9 К +24,5

36

670 . 150

34,3 К 128,3

30 фициента сопротивления и повысить . производительность процесса. .

Составитель Ю.Герасичкин

ТехРеД В.ДалекоРей КоРРектоРВ.Вутяга

Редактор С.Юско

Заказ 135/44 Тираж 683 Подписное

BHHHHH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r .Óæãoðîä, ул.Проектная, 4

Изобретение позволяет обеспечить воспроиэводимость электрического сопротивления и температурного коэф4,0 К

6,2 К

7,4 К

3,9 К

5,1 К

7 2 К

-17,7

-17,1

-16,3

-16,8