Устройство для очистки изделий

 

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ ИЗДЕЛИЙ, содержащее камеру, размещенные в ней технологические ванны, о выстроенные в линию, систему отсоса и автооператор с блоком приводов Srpr, вертикального и горизонтального перемещений изделий из одной ванны в другую, отличающееся тем, что, с целью повьшения надежности работы, автооператор содержит средство для точного позиционирования, имеющее несколько по числу ванн пар расположенных одна в другой задающих полумуфт, установленных с наружной стороны камеры соответственно каждой ванне, и две установленные одна в другой исполнительные полумуфты , размещенные на блоке приводов автооператора, при этом камера в зоне установки задающих полумуфт имеет экраны из немагнитного материала. 00

СООЗ СО6ЕТСНИХ

NUN

РЕСПУБЛИН (19) (11) эЮ В 08 В 3 04

Э.(21) 3335041/28-12 (22) 31.08.81 (46) 15.06.84. Бюл. 11 22 (72) Ю.М. Бевэ, А.Ю. Данилов, Н,П. Панов и В.С. Свеклов (53) 621.7.024(088.8) (56) 1. Березин М.И. Технология и оборудование для очистки деталей и узлов изделий электронной техники.

М., "ЦНИИ Электроника", 1978, с. 33-34. (54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ

ИЗДЕЛИЙ, содержащее камеру, размещенные в ней технологические ванны, о выстроенные в линию, систему отсоса и автооператор с блоком приводов вертикального и горизонтального перемещений изделий из одной ванны в другую, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повыпения надежности работы, автооператор содержит средство для точного позиционирования, имеющее несколько по числу ванн пар расположенных одна в другой задающих полумуфт, установленных с наружной стороны камеры соответственно каждой ванне, и две установленные одна в другой исполнительные полумуфты, размещенные на блоке приводов автооператора, при этом камера в soне установки задающих полумуфт имеет экраны из немагнитного материала. g

1097391

2. Устройство по п. 1, о т л ичающее с я тем, что, с целью повышения производительности, оно содержит промежуточный столик, размещенный в камере между ваннами, а

Изобретение относится к очистке и может быть использовано в микроэлектронной технике для очистки подложек микросхем.

Известно устройство для очистки изделий, содержащее камеру„ размещенные в ней технологические ванны,, выстроенные в линию, систему î"coca и автооператор с блоком приводов вертикального и горизонтального пе10 ремещений изделий из одной ванны в другую (1 1.

Однако в данном устройстве отсутствуют средства для точного позиционирования авто:ператора, а также промежуточная позиция для вырав.нивания технологического процесса.

Цель изобретения — повышение надежности работы.

Поставленная цель достигaei cii тем, что в устройстве для очистки изделий, содержащем камеру, разме-=. щенные в ней технологические .ванны, выстроенные в лин ю, систему отсоса 25 и автооператор с блоком приводов вертикального и горизонтального перемещений из одной ванны в другую, автооператор содержит средство для точного позиционирования, имеющее 30 несколько по числу ванн пар расположенных одна в другой задающих полумуфт, установленных с наружной стороны камеры соответственно каждой ванне, и две установленные одна в другой исполнительные полумуфты, раз. мещенные на блоке приводов автоопеР»ора, при этом камера в зоне установки задающих полумуфт имеет экраны из немагнитного материала. 40

Кроме того, устройство содержит промежуточный столик, размещенный в камере между ваннами, а средство для точного позиционирования снабжено дополнительной парой задающих средство для точного позиционирования снабжено дополнительной парой задающих электромагнитных полумуфт,установленных с наружной стороны камены соответственно зоне размещения столика. с электромагнитных полумуфт, установ.ленных с наружной стороны камеры соотзетствгнно золе размещения сто—

Jii1ка.

И» фиг. 1 представлено устройство, об ц:: .. -, внд,. на фиг, 2 — сечение А-Л на фиг. 1.

Устройство содержит камеру 1, размещенные в ней технологические в=-:ííû 2, выстроенные в линию, систему 3 отсоса и автооператор 4 с блоком 5 вертикального и горизонтальногс перемещений изделий из одной ванпь: в другую. Над ваннами 2 расположен винт б, снабженный приводом

7 для линейного перемещения автооператора по направляющи.- 8 B горизонтальном направлении. Лвтооператор 4 содержит средство для точного позиционирования, имеющее несколько по числу ванн пар расположенных одна в другой задающих полумуфт 9 и

10, установленных с наружной стороны камеры 1 и выполненных в виде катушек возбуждения. Задающие полумуфты 9 и 10 установлены соответственно каждой ванне 2. Автооператор 4 содержит также две установленные одна в другой исполнительные нолумуфты l1 и 12, раз;-..ещенные на блоке 5 вертикального и горизонтального перемещений изделий. Камера 1 в зоне установки задающих полумуфт 9 и 10 имеет экраны 13, выполненные из немагнитного материала. Между технологическими ваннами 2 расположен промежуточный столик 14, предназначенный для обдува или встряхивания кассет с подложками 15, а также для .синхронизации технологического процесса. С наружной стороны камеры 1 напротив столика 14 установлена до- полнительная пара задающих полумуфт

16 и 17, выполненных в виде катушек

1097391

Применение предлагаемого устрой20 ства позволяет повысить надежность работы благодаря средству для точного позиционирования, а также производительность при применении промежуточного столика.

Составитель А. Юдахин

Редактор 1О. Ковач Техред M.Íàäü Корректор И. Эрдейи

Тираж 567 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 4103/9

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 возбуждения. Механизм 18 загрузки и механизм 19 выгрузки расположены соответственно в начале и конце линии и снабжены воздушными ножами (не. показаны) для обеспечения герметичности устройства.

Устройство работает следующим образом.

Механизм 18 загрузки подает кассеты с подложками 15 в зону действия 10 автооператора 4, который перемещается по программе с помощью винта 6, снабженного приводом 7, к одной из технологических ванн 2. Одновременно происходит подача напряжения на 15 катушки возбуждения задающих полумуфт 9,10,16 и 17, которые создают переменное вращающееся магнитное поле, воздействующее через экран 13 на исполнительные полумуфты 11 и 12 приводов движений на блоке 5. Под действием магнитного поля полумуфты приводов движения вращаются. В блоке 5 приводов вращательное движение преобразуется в поступательное вертикальное перемещение автооператора, посредством которого происходит захват и подьем-опускание кассет с подложками. Далее следует перенос кассеты с подложками 15 по программе либо в следующую технологическую ванну, либо на промежуточный столик

14, где происходит встряхивание или обдув кассет с подложками 15 для снятия технологического раствора.

Автооператор переносит отмытые подложки в кассетах в механизм 19 выгрузки, где происходит их сушка.

Весь технологический процесс проводят в обеспеченной зоне, создаваемой системой 3 отсоса.