Светочувствительная композиция для изготовления диэлектрических слоев толстопленочных микросхем

 

1.СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬИАЛ КОМПОЗИЦИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОЕВ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫХ МИКРОСХЕМ на керамических подложках из окиси алюминия с использованием метода сеткографии , включающая свииецсодержащее стекло размером частиц 0,5-2,5 мкм и позитивпый фоторезист, состоящий из светочусствитсльного компонента, пленкообразующего компонента - пойолачной фенолформальдегиднон смолы мол.м. 700 и органического растворителя, отличающаяся тем, что, с цепью повышения разрешающей способности и улучшещш реологических характеристик при нанесении на подложку, композиция содержит в качестве светочувствительного компонента 1,2-иафтохино11диазид-

СОЮЗ СОВЕТСНИХ социАлистичесних

РЕС.ПУБЛИИ

1

"::Ъ бФ о фаз....

@,У ф фе гоадлрстюенный комитет ссср

ПО ДЕЛЛМ ИЗОБРЕтеНий И Са-п ЫтИй (21) 3349471/23-04 (22) 22 10.81 (46) 07.11.84. Бюл. Р 41 (72) И. П. Степанова, В. A. ØèõàEEîâ и Н. A. Тихонова (53) 771.5 (088.8) (56) 1. Патент США N 3914128, кл. 96 — 115, 1975ч

2. Патент США N" 3573908, кл. 96 — 34, 1971 (прототип). (54) (57)1.СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЛЯ КОМПОЗИЦИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОЕВ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫХ МИКРОСХЕМ на керамических подложках из окиси алюминия с использованием метода сеткографии, включающая свинецсодержащее стекло размером частиц 0,5 — 2,5 мкм и позитивный фоторезист; состоящий из . светочувствительного компонента, пленкообразующего компонента— новолачной фенолформальдегидной смолы мол.м. 700 и органического растворителя, отличающаяся тем, что; с целью повьпиения разрешающей способности и улучи ения реологических характеристик при нанесепии на подложку, композиция содержит в качестве светочувствительного компонента

1,2-нафтохинондиазид- (2) -5-сульфозфир бромированной новолачной фенолформальдегидной

„„SU„„1123012 смолы, в качестве органического растворителядиоксан н дополнительно бутадиен-питрильный каучук структурной формулы

t— - СН вЂ” СН = СН вЂ” СН вЂ” 1 — (— СН вЂ”.СН -1 J, N ф

Сй средней мол.м. 200000 — 300000, содержащий

19,5 — 41 мас.% нитрила акриловой кислоты, 59 — 80,5 мас.% бутадиена и ароматический углеводород, выбранный из ряда толуол, оксилол, м-ксилол при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Свинсцсодержащее стекло 40,4 — 60,0

1,2-Нафтохинондиазид- (2) -5-сульфоэфир бромированной новолачной фенолформальдегидной смолы 4,5-8,6

Ноооначная фенонфорнаяь. Я депщная смола мол; м. 700 7,5 — 14,4

Диоксан 14,2 — 27,8: 4ее.

Бутадиен-нитрильный каучук 1,0-2,5

Лроматический углеводород из

М указанного ряда 7,8 — 12,2 акай

2. Композиция по п. 1, о т л и ч а ю - ай .щ а я с я тем, что она дополнительно со- Щ держит 0,1 — 5,0 мас.ч. d,-терпинеола или смеси, фр

<-терпинеола с и-бутанолом при массовом ф . соотношении 1:О,l — 1:1.

7,5 — 14,4

14,2-27,8

1,0-2,5

62.0

5.0

1 1123

Изобретение относится к микроэлектронике,> а именно к светочувствительным композициям для изготовления диэлектрических слоев толстопленочных микросхем на керамических FIOjl» ложках с использованием метода сеткографии.

Известна cBcTo÷óâñòâèòåëüíàÿ композиция для изготовления диэлектрических слоев толс-. топленочных микросхем, включающая свинецсодержащее стекло, гюлимерное связующее на основе полиакрилатов, полимеризационноспособные мономеры акрилатного ряда, .фотоинициатор — метилоилй эфир бензоина, ингпбиторнитрозодимерное- соединение, окисное соединение крома и растворитель (1).

Недостатком такой композиции является

15 сравнительно низкая разрешающая способность °

С помощью такай композиции удается получить размер каналов в слое диэлектрика шириной не менее 75 мкм.

Наиболее близкой к предложенной является свегочувствительная композиция для получения рельефного изображения в слое глазури, включающая свиненсодержашее стекло размером частиц 0,43 — 4,0 мкм, светочувствительный 1,2-нафтохинондиазид, новолачную феиолформальдегидную смолу и органический раствори гель (2), Недостатком известной композиции является невысокая разрешающая способность (более

125 мкм). Кроме того, известная композиция имеет плохие .реологические свойства, что не

ЗО позволяет использовать еЕ для нанесения методом трафаретной печати.

Цель изобретения —. повышение разрешающей б способности светочувствительной композиции для изготовления диэлектрических слоев голстопленочных микросхем и улучщеиие, ее рсологнческих характеристик.

Поставленная цель достигается тем, что светочувствительная композиций для изготовления диэлектрических слоев толстопленочных 40 микросхем, включающая свинецсодержащее стекло размером частиц 0,5 — 2,5 мкм и позитивный фоторезист, состоящий иэ светочувствительного компонента, плеикообразующего компонента — новолачной фенолформальдегид- 45 ной смолы мол. м. 700 и органического растворителя, содержит в качестве светочувствителыюго компонента 1,2-нафтохинондиазид- (2) -5-сульфоэфирбромированной новолачной фенолформальдсгидной смолы, в качестве ор- 50 ганнческого. растворителя — дйоксан и допол. нитсльно бутадиен-нитрильный каучук структурной формулы (СН2 CH СН СН ) (СН СН )и (I) СИ 55 средней мол, м. 200000 — 300000, содержащий

19,5 — 41 мас5 нитрила акриловой кислоты, 59 — 80,5 мас.% бутадиена и ароматический

012 2 углеводород, выбранный из ряда толуол, о-ксилол, м-ксилол при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Свинецсодержащее стекло 40,4- 60,0

1,2- Нафтохинондиазид. (2) - 5-сульфоэфир.бромированной новолачной смолы 4,5-8,6

Новолачная фенолформальдегидная смола мол. м. 700

Дио ксан

Бутадиен-нитрильный каучук

Ароматический углеводород из указанного ряда 7,8 — 12,2

Кроме тога, композиция также может содержать 0,1 — 5,0 мас,ч. <-терпинеола или смеси

М. -терпинеала с н-бутанолом соотношении .1:0,1 — 1: 1.

Введение в композишпо этих компонентов позволяет повысить разрешающую способность до 50 мкм. В составе композиции используют бутадиен-нитрильный каучук марки СК)1 — 40 средней мол. м. 200000 — 300000 обшей формулы (— СНь — СН = СН вЂ” СН2 — ) — (—,СН вЂ” СН вЂ” )

2 m: 2

CN содержащий 19,5 -41 мас.% нитрила акриловой кислоты, 59 — 80,5 мас.% бутадиена.

В качестве позитивного фо.горезиста композиция содержит отечественный фоторезист

ФП-383, имеющий следующий состав, мас.%:

1,2- нафтохинондиазид- (2) - 5-сульфоэфир бромированная новолачпая феиолформальдегидная смола 8,63; новолачная фенолформальдегидная смола мол, м. 700 14,37; диоксан 77,0.

В примерах и формуле изобретения содержание фоторезиста приведено по сухому остатку, поскольку концентрация фоторезиста в растворе не является постоянной.

В качестве ароматического углеводорода в композиции используют толуол, о-ксилол или м-ксилол.

В качестве свинепсодержащего стекла в композиции могут быть использованы стекла марок

С-279, С вЂ” 660а и CQ-273. Выбор стекла в композиции определяется температурой вжигания и требуемыми электротехническими параметрами сформированных диэлектрических пленок. Существенного влияния на разре1пающую способность состав стекла не оказывает. Применяемые стекла имеют следующий состав, мас,%:

СП.-273

РЬО 45,5

SiOy 29,5

ZnO 18;5

TfO2 4,0 2

С вЂ” 660а

Pb0

В Оь

1123012 4

26,3

30,7

0.,6

5,2

1,3

24,2

5,8

3,1 2„8

8,6

10,3

19,7

1,6

12,2 з

М90 2,5 терке с капролоновыми валками в течение

SiO 30,5 30 мин. Получают светочувствительную компо- . зицию вязкостью, обеспечивающей хорошие реоС вЂ” 279 логические характеристики для нанесения метоPb0 дом трафаретной печати, следующего состава, 8 0 мас%

А г 0 а 3 Свинецсодержащее стекло 40,4

В О

М90 т ь. Светочувствительный компо.нент

ВаО

СаО.

Новалачная фецолформальдегидная смола мол..м. 700 14,4

Лиоксан 27;8

2rO Бутадиен- нитрильяьiй каучук . 1,0

Размер частиц используемого в композиции Толуол .. 7,8 свинецсодержащего стекла составляег 0;5 — " 1>. Полученную светочувствительную .компози2,5 мкм..Разделить. частицы иа отдельные фрак- цию наносят на керамические подложки через ции He возможно; .: .. капроновую сетку на установке нанесения

Интегральную кривую распределения дисперс- ПЦ вЂ” 40 — 48 и.сушат на воздухе"при 80"С в тенасти применяемого стекла определяют методом чение- 20.мин. Операции нанесения и сушки седиментации на пщ еточной центрифуге ".Ана- 2< повторяют дважды и получают высушенное лизетте — 21 .. - . покрытие, имеющее толщину:слоя 35- мкм.

Композицию наносят на керамические лод- Высушенный слой светочувствительной композиложки из вакуумно-плотной керамики ВК 94 — 1 ции экспонируют в течение 1,5 мин .ртутной на основе окиси алюминия через капроновую лампой мощностью 375 Вт через фотошаблон с .сетку размером ячейки.58х58 мкм. 25 тоиологическим рисунком, для определения

Для нанесения .методом сеткографии,ком- разрешающей способности, содержащим линии позиция должна обладать:заданными реологичес- шириной 25 — 200 мкм и:расстоянием между кими свойствами (свойствами текучести) — оп- ними 25 — 300 мкм. Восле экспонирования слой ределенпой зависимостью между деформацией, ее проявляют 0;5%-иьцч раствором тринатрийфосскоростью и приложенным механическим напря- фата, промывают дистйллираванной водой,.су30 . о жением.. Паста не должна протекать через ячей- щат при 1 50 С в течение 60 мии и:вжигают в ки сетки трафарета, растекаться 3а.пределы конвейерной печи при 750:.С; Толщина возженоттиска иа йодп6жке., образовывать нитей ("тя- ного слоя составляет 2l ìêì. В результате жей") при отделении трафарета. Предлагаемая, такой обработки в диэлектрическом слое композиция.удовлатврряет всей этим требовали образуются каналы. Шир1тна каналов, нэмереням, Применение.предлагаемой композйции на . 35 ная с помощью микроскопа УИМ-21, составлякерамических йодяожках с использованием мето- ет 60 мкм. да сеткографии позволяет получить разрешение Пример 2. Светочувствительную компо 50-65 мкм. зицию готовят аналогично-примеру 1. Берут

П р и м e.p 1. В.фарфоровой чадже смеши- 4;14 г 11,6%-ного раствора в. о.- ксилояе бутадивают 2,64 r 11,4%-ного раствора в толуоле..бута- 40 ен-нитрильного каучука СКН вЂ” 40, аналогичного диен-ннтрильного.каучука Марки СКЙ-40-сред- .примеру:l,смещивяи1т с 10,86 г, 45,3%-ного ней мол. и. 300000 структурной формулы (I), раствора (в ересчете на сухой:остаток) .в диоксодержащего 41% йитрииа акриловой кислоты сане ноэитивиого фотореэиста ФП вЂ” 383, состояи 59% бутадиена, 15,24 r 4S,3%-ного раствара: . щего. из 1,84 r 1,2-нафтохинон-диазид- (2)-5(в пересчете: на сухой остаток) в диоксаив ао- 45 - сульфозфира бромированной иоволачиой фенол. зитивиого фоторезиста ФП вЂ” 383 и добавляют: . формальдегидной смолы, 3,08 r новолачной фе12,Ц г свинецсодержащего. стекла марки СЦ- нолформальдегидиой сионы и 5;94 г диоксана, 273, содержащего%: Pb0 4S,5; SiGz 29,5;. после чего добавляют .15,0 г. свинсцсодержащего

Zn0 18,5; Ti0< 4.,0 и AE. 2,5 размером; стекла CQ — 273 размером частиц 0,5-2;5 мкм. частиц 0;5 — 2,5 мкм.

Фоторезист ФП вЂ” 383 содержит. 2;59 г 1,2-наф- Состав композиции .следующий, мас.%: тохинондиазид(2) -5-сульфоэфира .бронирован. Свипецсодержащее стекло 50,0 ной новолачной феиолфцрмальдегидной смолы, Светочувствительний компонент 6,2

4,31 новолачной фенолформаяьдегидной смолы Новолачная фенолформальдегидмол.м. 700 и 8,34..г дноксаиа. 55 ная смола мол. м. 700

Смесь тщательно перетирают с целью гомоге- Диоксан низации и усреднения состава сначала в фарфо- Бутадиен-шприльный каучук ровой чашке в течение 5 мин, а.затем на пасто: о-Ксилол мас.%:

53,0

Состав композиции следующий, Свипецсодержащее стекло

Светочувствительный компо. нент

Новолачпая фенолформальдегидная смола мол; м. 700

Дно ксан

Бутадиен-нитрпльный каучук

Толуол

6,2

10,3

23,5

0,5

6,5

Толщина высушенного слоя 35 мкм, толщина возженного слоя 21 мкм. Разрешающую способность композиции определяют аналогично

: 5S примеру 1. Она составляет 80 мкм и соответствует разрешающей способности известной композиции.

5 11230

Толшина высушенного слоя составляет, 35 мкм, толщина возженного слоя 21,2 мкм.

Разрешающую способность композиции определяют аналогично примеру 1, но при времени

I экспонирования 2 мин. Она составляет. 65 мкм.

П р» м е р 3. Берут 4,14 г 18,1% ного раствора в о-.ксилоле бутаднен-шггрильного каучука, аналогичного примеру 1, но со средней мол. м. ?00000, смешивают с 7,86 r 45,3%-ного раствора (в пересчете HR сухой остаток) в диок. сане позитивного фоторезиста ФП-383, состоящего иэ 1,35 r 1,2-нафтохшюндиазид-(2)-5-сульфоэфира бромированной новолачной фенонформальдегидпой смолы, 2,25 г новолачпой.фейолформальдегпдной смолы и 4,26 г диоксана, .

Добавляют 18,0 г свинецсодержащего стекла

СЦ вЂ” 273 размером частиц О, 5-2,5 мкм.

CocTGU полученной светочувствительной композиции GJIc ÷o!ölè4, Mac.%;

Свипсцсодержащее стекло 60,0

Светочувствительный компонент . 4,5

l 1оволачная феполформальдепщная смола мол; M. 700 7,5

Дио ксан 14,2

1 утадиеп-нитрильпый каучук 2,5 о- Ксилол 11,3

Толццша иысушешюго слоя 35,3 мкм, толщина возженного слоя ?1,0 мкм. Разрешающая способность композиции составляет 65 мкм при времени экспонирования 2,5 мин.

Пример 4. Светочувствительную комио зпцпю готовят аналогично примеру 1 из 2,1 г

7,.1%-ного раствора и толуоле бутадиен-нитрильного каучука, аналогичного примеру 3,:.

12,0 r 41,2%-ного раствора (в пересчете на су. хой остаток) в диоксане позитивного фоторезиста ФП вЂ” 383, состоящего иэ 1,85 r 1,2-нафтохиио иди аэпд- (2) -5- сульфоэ фира бро миров анной новолачной фенолформальдегидной смолы, 3,09 r поволачной фенолформальдегидной смолы и 7,06 г диоксана, 15,9 r свпнецсодержащс49

ro стекла СЦ-273 размером частиц 0,5—

2,5 мкм.

Пример 5. Светочувствительную композицию готовят аналогично примеру 1 из 5,1 r

18,8%-ного раствора в толуоле бутадиен- птрильного каучука, аналоп1чпого примеру 1, 9,9 г

50,0%-ного раствора (в пересчете на сухой остаток) в диоксане позитивного фоторезиста

ФП вЂ” 383, состоящего из 1,86 r 1,2-нафтохинондиазид- (2) -5-сульфоэфира бромированпой новолачиой феполформальдегидиой. cMolll>l, 3;10 r новолачпой фенолформальдегидной смолы, 4,94 r диоксана и 15,0 г свинецсодер>кашего стекла СЦ вЂ” 273 размером частиц 0,5 — 2,5 мкм.

Состав композиции следующий, мас.%:

Сцинецсодержащее стекло 50,0

Св еточувствительный компонент 6,2

Новолачная фенолформаль- дегидиая смола: мол,м. 700 10,3

Дно ксан 16,5

Бутадиеп-нитрилытый каучук 3,2

Толуол 13,8

Полученная светочувствительная .композиция имеет плохие реологичсские характеристики: при нанесении на подложку методом трафаретной печати забивает сетку трафарета, кроме того, нанесенный слой.имеет неровную кратерообразную поверхность.

Пример 6. Светочувствительную композицию готовят аналогично примеру 1 из

2,64 r 11,4%-ного раствора в толуоле бутадпеннитрильного каучука, аналогичного примеру

1, 10,86 г .45,3-.ного раствора (в пересчете на сухой остаток) .в диоксане позитивного фоторезиста ФП вЂ” 383, состоящего из 1,84 г 1,2-нафтохинондиазид- (2)-5-сульфоэфира бромированпой новолачиой фенолформальдегидиой смолы, 3,08 r новолачной фенолформальдегидной смолы, 5,94 г диоксана и

15,0 r свинецсодержащего стекла СЦ вЂ” 273 раэме. ром частиц 0,5 — 2,5 мкм. Дополнительно в композицию вводят 1,5 r Ы -терпипеола.

Композиция имеет следующий состав, мас.% .

Свинецсодержащее стекло 50,0

Светочувствительный компонент 6,2

Новолачная феполформальдегидная смола мол.м. 700 10,3

Диок сан 19,7

Бутадиен-нитрильный каучук 1,0

Толуоя 7,8

0 -Терпинеол 5,0

Толщина высушенного слоя составляет

35.»км, толпп1на возженного слоя 21 мкм.

Разрешающая способность композиции определяют аналогично примеру l. Она составляет

50 мкм.

Пример 7. Светочувствительную композицию готовят аналогично прймеру 6, но исI 1 23012

50;0

6,2

10,3

19,7 пользуют смесь из 0,75 г « -терпинеола и

0,75 г н-бутанола,.

Состав полученной композиции следующий,. мас.%:

Свинецсодержащее стекло 500 5

Светочувстви ельный компонент, 6,2

Новолачная. фенолформальдегидная смола мол.м. 700 10,3 .Диоксаи 19,7

Бутадиен.-нитрильный каучук 1,0

То,луол . . 7,8 еС.-Терпинеол . 2,5 н- Бутачол 2,5

Толщина высушенного и возженного слоев 1 5 аналогична примеру 6. Разрешающую способность композиции определяют аналогично примеру 1. Она составляет 50 мкм, П р- и м е р 8. Светочувствительную диэлектрическую композицию готовят аналогично при- 20 меру 1 из 4,11 г. 10,9%-ного раствора в 1,3.-диметилбензоле (м-.ксилоле) бутадиен.-нитрильного каучука мол.м. 200000 с концевыми метакрилатными группами, содержжцего 19,5% нитрила акриловой кислоты, 80,5%:бутадиена и 10,86 г 25

45,3% ного раствора (в пересчете на сухой остаток) . в диоксане позитивного. фоторезиста ФП вЂ” 383, состоящего из 1;84 r 1,2-нафтохинондиазид.- (2)-5-сульфоэфнра бромированной. ново. лачной феиолформальдегидной.смолы, 3;08 r 30 новолачиой фенолформальдегидной смолы, аналогичной примеру 1, 5,94 г диоксана и

15,0.г свинецсодержащего стекла СЦ вЂ” 273 размером частиц 0,5,-.-2,5:мкм..Дополнительно в композицию вводят:- 0;03 г Ы -терпинеола.

Композиция, имеет "следующий состав, мзс.%:, Свинедсодержащее стекло

Светочувствительный компонент

Новолачная" фенолфармальдегидная. смола мол.м. 700

Диоксан

Бутадиен-нитридьный каучук 1,5 м-Ксилол 12,2

oL-Терпинеол. О,1

Толщина высушенного и возженного слоев аналогична примеру 6. Разрешающую способHocIb композиции определяют аналогично приме. ру 1. Она составляет 55 мкм.

П р н м е р 9. Светочувствительную: ком- позицию готовят аналогично примеру 1. 2;82 r.

10,6%-наго раствора в толуоле бутадиен-нит-. рипьного каучука, аналогичного примеру 8, смешивают с 10,86 r 45,3%-ного раствора (в пересчете на сухой остаток) в диоксане позитивного фоторезиста ФП;-383, состоящего иэ 1,84 г 1,2-нафтохиноидиазид- (2)-5-сульфоI эфира. бромированиой новолачной фенолформаль.дегидиой смолы, 3,08 r иоволачиой фсиолформальдегидной смолы, 5,94 г диоксаиа и 15,0 r свинецсодержащего стекла CH-273 размером частиц 0,5 — 2,5 мкм. Дополнительно в композицию вводят 1,32 г смеси Ы-терпинеола и нбутанола в весовом соотношении 1:0;1.

Композиция имеет следующий состав, мас.%:

Свинецсодержащее стекло 50,0

Светочувствительный компонент 6,2

Новолачная фенолформальдегидная смола.мол.м. 700 10,3

Диоксан 19,7

Бутадиен.-нитрияьный .каучук 1,0

Толуол 8,4 оС -Терпинеол 4,0 н-.Бу танол 0,4

Толщина в.ысушенного н возженного слоев аналогична примеру 6.

Разрешающуто способность композиции определяют аналогично примеру 1, Она составляет

50 мкм.

П р и м е.р I О. Приготовление светочувст- . вительной композиции, не содержащей раствор бутадиен-нитрильного каучука в ароматическом углеводороде. В фарфоровой чашке смешивают 1:2,0 г свннецсодержащего стекла

СЦ вЂ” 273 размером частиц 0,5 — 2;5 мкм с 18,0 r

19,50%-.ного раствора (в пересчете на сухой остаток) в дноксане позитивного фоторезиста

ФП вЂ” 383, состоящего из 1,32 r1,,2-нафтохинондиазнд- (2) -5-сульфоэфира бромированной новолачной фенолформальдегидной смолы, 2;19 г новолачной фенолформальдегидной смолы и 14,49 г диоксаиа, и имеющего вязкость

60 сП, Смесь тщательно перетирают с целью гомогенизацни и усреднения состава в этой же фарфоровой чашке, так как на валковой пастотерке данную смесь невозможно перетереть, она "сбегает"с валков.

Композиция имеет. следующий состав, мас%:

Свииецсодержащее стекло 40,0

Светочувствительный компонент 4,40

Новолачная фенол формальдегидная смола мол. м. 700 7,30

Диоксан 48, 30

Приготовленную композицию невозможно нанести ровным слоем на подложку методом сеткографии, так как она."стекает" с ракеля и растекается. по.подложке, Указанную композицию наносят па центрифуге и обработку cJIQB проводят аналогично примеру 1. Разрешающую способность. композиции определяют аналогиФ но примеру 1. Она составляет 100 мкм.

Предлагаемая светочувствительная композиция для изготовления диэлектрических слоев тол"топлсночных микросхем имеет более высокую по сравнению с известной разрешающую способность, обеспечивающую получение каналов

1123012

Составитель Л. Богданова

Техред Т. Фанта Корректор С. Шекмар

Редактор А Мотыль

Тираж 463 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва,Ж-35, Раущская наб., д. 4/5

Заказ 8137/39

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 в слое диэлектрика шириной 59-65 мкм. Это позволяет значительно увеличить плотность расположения элементов в толстопленочных микро-: схемах, тем самым повысить степень интеграции микросхем до третьего уровня.

Предлагаемая композиция обладает хорошими реологическими характеристиками, что позволяет наносить ее методом трафаретной печати с использованием традиционного оборудования для изготовления толстопленочных микросхем.