Способ изготовления миниатюрных керамических деталей

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК сю 4

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21 ) 3769539/29-33 (22) 09.07.84 (46) 15.03.86. Бюл. У 1О (72) В.М.Шнек, К.Б.Джуринский, А.М.Решетников и И.И.Климачев (53) 666.653(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 1052501, кл. С 04 В 41/14, 1982.

Решетников А.M. и др. Металлизация миниатюрных кварцевых втулок для корпусов полупроводниковых приборов СВЧ. - Электронная техника, 1984, вып. 6, с. 62-64 ° (54)(57) 1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

МИНИАТ10РНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, преимущественно для корпусов полупроводниковых диодов, включающий сборку цилиндрических заготовок в оправке, заполнение ее связующим, „„SU„„1217858 A резку, удаление связующего, защиту боковой поверхности заготовки и металлизацию,, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения выхода годных и увеличения производительности, защиту боковых поверхностей осуществляют перед заполнением связующим путем пропитки заготовок в оправке термостойким лаком и его отверждения, металлизируют заготовки в оправке после удаления связующего и затем удаляют лак растворением.

2. Способ по п. 1, о т л и ч а — ° ю шийся тем, что в качестве термостойкого лака используют фоторезист, а его растворение интенсифицируют ультразвуковыми колебаниями.

Изобретение относится к радиоэлектронной технике и может найти применение при изготовлении корпусов высокочастотных полупроводниковых диодов, опорных изоляторов, навесных конденсаторов и т.д., кроме того, оно может быть использовано в приборостроении, электротехнической и других отраслях промышленности.

Цель изобретения — увеличение производительности и повышение выхода годных миниатюрных цилиндрических деталей с металлизированными торцевыми поверхностями.

На чертеже (a-з) представлена технологическая схема предлагаемого способа, Пример. Изготовляют миниатюрные кварцевые втулки размером ф0,8 0,4х0,2 мм с металлизированной (хром 0,05 мкм, никель 0,5 мкм, золото 2-3 мкм) торцевой поверхностью

В стеклянную трубку 1 Ф,„р=

=8-10 мм, =70-100 мм плотно набивают кварцевые капилляры 2 с („„р=0,8 мм и 1ь „„=0,4 мм (а).

Цилиндрические поверхности капилляров покрывают слоем термостойкого лака 3, например фоторезистом

ФП-383, для чего трубку с капиллярами опускают в сосуд с фоторезистом. Под действием капиллярных сил трубка заполняется. Избыток фоторезиста удаляют продувкой сжатым воздухом. Производят сушку и задублио вание фоторезиста при 80 и 120 С соответственно (б).

После сушки и задубливания пленки фоторезиста каналы капилляров и полости между ними заполняют связу217858 2 ющим веществом 4 (в), в качестве которого используют наклеечную мастику, состоящую из воска и канифоли. Затем трубку с капиллярами режут на диски 5 высотой 1-0,2 мм с припуском на шлифовку (г ). После двухсторонней шлифовки дисков по высоте до заданного размера 0,2-0,02 мм (д) мастику удаляют растворением в трихлорэтилене или бензине (е).

При этом пленка фоторезиста не растворяется и втулки не выпадают из охватывающего их кольца, так как пленка фоторезиста склеивает втулки между собой. После химической очистки втулки в дисках помещают в установку вакуумного напыления и производят их очистку в тлеющем разряде, а затем напыление методом испарения подслоя хрома толщиной 400500 А и никеля толщиной 0,3-0,5 мкм (ж ). После вакуумной металлизации втулки поступают на операцию демонтажа и удаления металлических покрытий с цилиндрических поверхностей.

Для этого диски с втулками заливают диметилформамидом и производят ультразвуковую обработку в течение 1520 мин (з ). При этом происходит интенсивное растворение фоторезиста и

"взрывное" удаление металлического покрытия, нанесенного на него при металлизации.

Соединения втулок, изготовленных предлагаемым способом, с металлами, например с медью,-полученные термокомпрессией — вакуумноплотные, имеют механическую прочность 4,55,0 кгс/мм при испытании на отрыв.

Предлагаемый способ позволит

40 увеличить выход годной продукции с 30 до 507.

)2i7858

Заказ I080/30

Тираж 640 Подписное

Филиал ППП "Патент", г.Ужгоооп чл.Проектная, 4