Устройство для доводки плоских деталей

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУ БЛИН

/ r, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3800722/25-08 (22) 11.10. 84 (46) 07 ° 04.86. Бюл, 13 (72) Е.В. Удальцов, К.Ф. Скворцов, В.И. Нестеров и В.Г. Кафтанатьев (53} 621.91(088.8} (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 872227, кл. В 24 В 37/04, 1979. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДОВОДКИ ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ, содержащее нритир, кассету и связанную с блоком управления электромагнитную систему нагружения, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьппения точности обработки, электромагниты системы нагружения установлены на периферии кассеты и предназначены для взаимодействия с притиром, устройство снаб„„SU„„1222513 A д1) 4 В 24 В 37/04 // В 23 15/00 жено установленным на кассете датчиком контроля ее перекоса относитель,но притира, выполненным в виде крестообразного магнитопровода с пятью перпендикулярными к плоскости креста стержнями, один из которых является центральным, а четыре — периГ>ерийными, равноудаленными от центрального, центральный стержень снабжен обмот.— кой возбуждения, а периферийные — обмотками считывания, подключенными к дополнительным входам блока управления, при этом ось .центрального стержня совпадает с осью кассеты, и торцы всех стержней и электромагнитов системы нагружения расположены в одной плоскости с рабочей поверх- ностью кассеты.

22513 г поверхностью кассеты 2, так как в этом случае будет получено максималь но возможная сила прижатия участков детали 7 к притиру 1. Крестообразный сердечник 4, расположенный в кассете 2, и притир 1, выполняющий роль якоря и изготовленный из магнитомягкого чугуна, представляют собой магнитную цепь с зазором, роль кото1О рого выполняет обрабатываемая деталь 7, закрепленная на кассете 2.

Таким образом, при поддержании постоянной магнитодвижущей силы F=I

Вой&.

«W6с 1 ГДЕ Ice 6. тОК В 06МОтКЕ ВОЗ буждения, à We число витков об мотки возбуждения, т.е. при поддержании I „ постоянным, в обмотках считывания наводятся ЗДС ®сцит. бо 6. 6о66.

20 ст а6

Устройство содержит притир 1, кассету 2 с расположенными на ней электромагнитами 3 системы нагружения и крестообразным сердечником 4 датчика перекоса.

Для исключения замыкания магнитного потока датчика перекоса через кассету 2 последняя изготавливается из немагнитного материала. Для точного контроля неплоскопараллельности обрабатываемой детали крестообразный (с пятью перпендикулярными к плоскости креста стержнями: центральным и четырьмя равноудаленными от него периферийными) сердечник датчика перекоса располагается на кассете 2 TRKHM образом, что ось центрального стержня, на котором находится обмотка 5 возбуждения, совпадает с осью кассеты 2. На периферийных стержнях сердечника 4 находятся обмотки б считывания. Торцы стержней лежат в одной плоскости с рабочей поверхностью кассеты, так как если они будут углублены в теле кассеты, то ввиду увеличения воздушного зазора будет ослаблен магнитный поток в магнитопроводе датчика перекоса; что снизит точность контроля формы обрабатываемой детали вследствие снижения входного сигнала на блоке управления. Кроме того, расположение торцов стержней в одной плоскости с рабочей поверхностью кассеты технологически проще выполнить. Напротив каждой обмотки б считывания на периферии кассеты 2 устанавливаются электромагниты 3 системы нагружения так, что оси их сердечников параллельны оси кассеты, равноудалены от нее и пересекаются с осями креста крестооб". разного сердечника 4, а торцы сердечников, обращенные к притиру 1, нахо.дятся в одной плоскости с рабочей где i = 1-.4 — номер обмотки считывания; д — частота питания, Гц;

К вЂ” магнитное сопротивлеCT ние в стали;

R — магнитное сопротивле за6. ние зазора между центральным стержнем и яко30 рем.

Так как разность толщин участков обрабатываемых деталей значительно меньше их толщины, то можно записать: R „ = К ба, и, следовательПоскольку магнитная проницаемость обрабатываемых деталей практически равна един це то Rñò 2R; и

1 аз следовательно, 40

++

gg, .1

25 где Ь,—

Изобретение относится к технологии изготовления интегральных микросхем и может быть использовано для обработки плоских деталей большого диаметра из немагнитных материалов, например полупроводниковых подложек.

Цель изобретения — повьппение точности обработки за счет управления перераспределением давления по поверхности деталей большого диаметра в процессе обработки.

На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, разрез; на фиг. 2— то же, вид сверху. абсолютная магнитная проницаемость, равная 4и10,ГН/м; площадь поперечного сечения зазора, м ; величина зазора (толщина детали) между якорем и стержнем с i-й обмоткой считывания.

<1т11 СЧИт . I cone W epee . ИoS

2 — К вЂ” величина, постоянная для данного устройства с учетом вышесказанного, следовательно, Е;=К3

Для исправления неплоскопараллельности необходимо, чтобы сила прижатия каждого участка кассеты была

1222513

Тираж 740 Подписное

ВНИИПИ Заказ,1 654/16

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 прямо пропорциональна величине толщины подложкив соответствующемучастке.

Это достигается пропусканием через обмотки электромагнитов токов, вырабатываемых блоком управления, обратно пропорциональных величинам ЭДС, наводимых в соответствующих обмотках считывания и подаваемых на вход блока управления (не показан).

Кроме этого, блок управления обеспечивает в процессе обработки многократное чередование контроля и исправления неплоскопараллельности детали. Во время контроля блок управления отключает электромагнитную систему нагружения для фиксирования реальной .формы детали и исключения влияния сильного магнитного поля электромагнитов на магнитное поле датчика перекоса. В это же время производится установка соответствующих токов для электромагнитов системы нагружения по результатам измерения ЭДС, наводимых в катушках считывания. Во время же исправления

5 неплоскопараллельности отключается датчик перекоса и производится обработка с нагружением, заданным предшествующим контролем. Кроме того, время контроля, время исправления

10 неплоскопараллельности в каждом цикле и количество циклов зависят от режимов, условий обработки и требуемой точности, предъявляемой к геометрической форме детали.

Электрическая связь между блоком управления и обмотками датчика перекоса и электромагнитами, расположенными на вращающейся в процессе обэп работки кассете, осуществляется чере3 токосъемник (не показан).