Способ контроля герметичности полых изделий

 

Изобретение позволяет сократить время контроля герметичности, повысить чувствительность путем повышения концентрации индикаторного газа в индикаторной камере и является усовершенствованием изобретения по авт.св. № 1033883,,Изделие помещают в вакуумную камеру, затем сообщают его с индикаторной камерой (ИК) и наполняют их до заданного давления рабочим газом. До того же давления наполняют индикаторным газом полость выравнивающей камеры (ВК). Вьщерживают изделие в вакуумной камере в течение определенного времени и разобщают его с ИК, уменьшают объемы ИК и ВК в одинаковое число раз, сообщают ИК с ВК на заданное время. Затем разобщают их и соединяют ИК с масс-спектрометрическим течеискателем. По разности между уровнем индикаторного газа и его диффузионным фо ном судят о величине негерметичности изделия.3 ил.

СОЮЗ COQETCHHX

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)4 G 01 М 3/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕ

H ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (61) 1033883 (21) 3817802/25-28 (22) 27.10.84 (46) 07.04.86. Бюл. 1Ф 13 (72) М.С.Эдельман (53) 620.165.29(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N 1033883, кл. G 01 М 3/02, 1982. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ

ПОЛЫХ ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение позволяет сократить время контроля герметичности, повысить чувствительность путем повышения концентрации индикаторного газа в индикаторной камере и является усовершенствованием изобретения по авт.св. В 1033883.,Изделие помещают в

„.Я0„„1223072 А вакуумную камеру, затем сообщают его с индикаторной камерой (ИК) и наполняют их до заданного давления рабочим газом. До того же давления наполняют индикаторным газом полость выравнивающей камеры (ВК). Выдерживают изделие в вакуумной камере в течение определенного времени и раз" общают era с ИК, уменьшают объемы

ИК и ВК в одинаковое число раз, сообщают ИК с ВК на заданное время.

Затем разобщают их и соединяют ИК с масс-спектрометрическим течеискателем. По разности между уровнем индикаторного газа и его диффузионным фо ном судят о величине негерметичнос" е

TH изделиями 3 ил е

122307

Изобретение относится к контроль- 1 но-измерительной технике, а именно к контролю герметичности полых изделий, не допускающих контакта с индикаторным газом, и является усовершен ствованием изобретения по авт.св.

Н - 1033883.

Цель изобретения — повышение производительности и чувствительности контроля. 10

На фиг. 1 изображена схема устройства для реализации способа; на фиг, 2 — индикаторная и выравнивающая камеры, выполненные в виде сильфонов; на фиг, 3 — камеры, выполнен- 15 ные в виде цилиндров с поршнями.

Устройство для реализации способа контроля герметичности полых изделий содержит вакуумную камеру.1, соединенную через запорный орган 2 с от- 2п качивающим устройством 3 и предназначенную для размещения изделия 4.

Индикаторная камера 5 соединена с системой подачи рабочего газа, содержащей баллон 6 с рабочим газом, 25 запорный орган 7 и регулятор 8 дав1ления, с масс-спектрометрическим те1чеискателем 9 через запорный орган

10 и с атмосферой через запорный орган 11. Полость изделия 4 сообщается с индикаторной камерой 5 через за.порный орган 12. Выравнивающая каме:ра 13 имеет эластичный разделитель

14, образующий.две полости, одна из ! . которых (полость 15) сообщается с полостью иэделия 4 через запорный орган 16, а другая (полость 17) соединена с системой подачи индикаторного газа, содержащей баллон 18, регулятор 19 давления и запорный орган

20, через запорный орган 21 — с ать 40 мосферой и через запорный орган 22 с индикаторной камерой 5.

Индикаторная камера 5 и выравнивающая камера 13 могут быть выполнены в виде сильфонов 23 или в виде цилиндра 24 с перемещающимися в них поршнями 25.

Способ осуществляется следующим образом.

Изделие 4 помещают в вакуумную камеру 1, которую затем откачивают.

Открывают запорные органы 7 и 11 и сообщают индикаторную камеру 5 с сиотемой подачи рабочего газа и с атмосферой и производят продувку камеры

5 рабочим газом.

Затем закрывают запорный орган 11,. открывают эапорный орган 12 и сооб2 2 щают полость изделия 4 и индикаторную камеру 5 с системой подачи рабочего газа, заполняют их рабочим газом до давления Р» и закрывают запорный орган 7. После этого, открыв запор" ные органы 20 и 21, производят продувку полости 17 выравнивающей камеры 13 индикаторным газом и, закрыв запорный орган 21, наполняют ее индикаторным газом до давления Р . Закрывают эапорный орган 20. Открывают запорный орган 16 и прецизионно выравнивают давление в полостях 15 и

17, изделии 4 и индикаторной камере

5 посредством эластичного газонепроницаемого разделителя 14. Закрывают запорные органы 12 и 16, открывают запорный орган 22 и создают диффузионное перетекание индикаторного газа в индикаторную камеру. Через время, .определяемое исходя из чувствительности масс-спектрометрического течеискателя 9, регистрируют с помощью последнего диффузионный фон (4f) индикаторного газа в индикаторной камере 5.

После повторной продувки индикатор ной камеры рабочим газом вновь созда-: ют давление рабочего газа Р1 в полос ти изделия 4, индикаторной камере 5 и равное ему давление индикаторного газа в полости !7 выравнивающей камеры 13, после чего производят выдержку в вакуумной камере 1 изделия 4, сообщенного с индикаторной камерой 5, при давлении в вакуумной камере Ре в течение времени t< . определяемого .требованиями по герметичности иэделия 4. По истечении времени выдержки закрывают орган 12.

Затем уменьшают объемы выравнивающей и индикаторной камер в К раз, тем самым увеличивая давление в них в К раз. После этого открывают запорный орган 22 и перепускают индикаторный газ из полости 17 выравнивающей камеры 13 в индикаторную ка- меру 5 в течение времени ty опреде ляемого по формуле

Ч,ц, Pa2 " ю Р,!

К 2В(Р+Р ) q Р+Р -2Р полученной из решения дифференциального уравнения

dP> В» (Р+Р» )

»

- — — К dt

P+P»-2 P p Чн Ра Р з 12230 описывающего процесс вязкого перетекания газа из полости 17 выравнивающей камеры 13 в индикаторную камеру

5 при начальных условиях Р = P u

О, 5 где V„ - объем индикаторной камеры до уменьшения, P — давление в индикаторной камере и изделии после выдержки изделия в вакуумной каме-10 ре и до уменьшения объема

1 индикаторной камеры,  — величина течи, определяемая проходным сечением тру» бопроводов между выравниваю 15 щей и индикаторной камерами, Р(— атмосферное давление, Qgp — коэффициент вязкости инди( каторного газа, 20

Ч,рр — коэффициент вязкости ра1 бочего газа, К ° P — текущее давление в выравнивающей и индикаторной камерах. 25

После этого закрывают запорный орган 22, открывают запорный орган 10 и измеряют с помощью масс-спектрометрического течеискателя 9 парциальное давление индикаторного газа в индикаторной камере 4 и по разности измеренных уровней а(=4@-gg,; судят о величине негерметичности изделия.

Применение предлагаемого йзобретения позволяет при уменьшении объемов выравнивающей и индикаторной камер в К раз уменьшить время выдержки сообщенными указанных камер в К2 раз, тем самым уменьшить общее вреся проведения контроля герметичности1 следовательно, повысить производительность, а увеличение концентрации при этом индикаторного газа в индикаторной камере позволяет зафиксировать более тонкие течи, т.е. повысить

1 чувствительность.

Формула изобретения.

Способ контроля герметичности полых изделий по авт.св.Ф 1033883, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и чувствительности, перед сообщением индикаторной и выравнивающей камер их объемы, уменьшают в одинако-. вое число раэ.

1223072 чмЬ

Составитель Л. Вихляев

Редактор С. Патрушева Техред Г.Гербер Корректор С. Шекмар

Заказ 1703/44 Тираж 778 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филнап ППП "Патент", r.Óæãîðoä, ул. Проектная, 4