Горизонтальный турбомолекулярный насос

 

(19) SU (11) И.30646 А1 (Я) 5 F94919 04

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННОЕ. ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) Ill i .,С 1%

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (2Ц 3646061/06 (22) 23.09.83 (46) 30.10.93 Ба@ Na 39-40

-P6j Горбульский RX; Митрофанов ГФ„. Одинцов

НА

P3) ЦКБ машиностроения

{И)ТОРИЗОНТАЛЪКЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЪ|Й НАСОС

1130040

Изобретение относится к вакуумной технике, Известен горизонтальный трубомолекулярный насос, состоящий из чередующихся статорных и роторных дисков и механиче- 5 ских опор, установленных по обоим концам вала ротора.

Недостатком этой конструкции является наличие в вакуумной полости паров мас ла, беэ которого механические опоры работать не могут, Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является горизонтальный турбомолвкулярный насос, содержащий корпус и 15 установленный в нем на двух осевых и двух радиальных электромагнитных опорах ротор.

Такая конструкция позволяет избежать наличия паров масла в вакуумной полости 20 насоса.

Однако недостатком известного насоса является его низкая эксплуатационная надежиость, обусловленная тем, что при изменении температуры во время работы насоса 25 в результате температурного расширения вала ротора насоса изменяется зазор в. его осевых электромагнитных опорах на величину, соизмеримую с величйной установочного зазора в осевой электромагнитной 30 опоре.

Целью изобретения является повышение эксплуатационной надежности насоса путем улучшения осевой стабилизации ро-. тора при различных температурных режи- 35 мах.работы насоса.

Указанная цель. достигается тем, что в горизонтальном турбомолекулярном насо-. се, Содержащем корпус и установленный в нем.на двух осевых и двух радиальных злек- 40 тромагнитных опорах ротор, обе осевые. опоры расположены с одной стороны консоли вала ротора с зазором одна относительно другой.

На чертеже изображен разрез описыва- емого насоса. Горизонтальный турбамолекулярный насос содержит корпус 1 установленный в нем на двух осевых 2 и 3 и двух радиальных 4 и 5 электромагнитных опорах ротор 6. 06е осевые опоры 2 и 3 расположены с одной стороны консоли вала ротора 6 с зазором д.одна относительно другой.

На роторе 6 размещен электродвигатель 7, Осевые опоры 2 и 3 содержат якоря

8 и 9. Кроме того, на роторе размещены роторные диски 10, а на внутренней поверхности корпуса 1 статорные диски 11.

Насос работает следующим образом.

При подаче питания на осевые и радиальные опоры осуществляется бесконтактная подвеска ротора 6. Полость корпуса 1 вакуумируется, а затем электропитание подается на электродвигатель 7. При вращении ротора 6 за счет взаимодействия роторных дисков 10 и статорных дисков и образуется газовый поток, создающий разрежение в откачиваемом обьеме. Температура ротора 6 турбомолекулярного насоса во время его работы колеблется от температуры окружающей среды-(20 С) до температуры

100 С; обусловленной выделением тепла в роторах электромагнитных опор и электродвигателя. Однако это не может йривести к изменению осевого зазора д в осевых опорах, так какобе они размещены на одной консоли вала ротора и расстояние между их якорями (16-15 мм);.выбранное из условия минимального взаимодействия потоков рассеяния осевых электромагнитных опор, таково, что температурные изменения его несоизмеримо меньше установочного зазора.

В опйсываемом насосе изменение зазора между осевыми опорами при температурных колебаниями-составляет 0,013 мм, что s

150 раэ меньше. изменения зазора в известных насосах.

Таким образом, размещение осевых опор с одной стороны консоли вала увели-. чивает надежность работы насоса. (56) Авторское свидетельство СССР.

N - 170609; кл. F 04 0 19/04, 1963. г1атент Великобритании М 1479669, кл, Г 1 С. 1968, 1130040

Составитель А.Кузнецов

Техред M,Mîðãåíòaë Корректор С, Лисина

Редактор

Заказ 3190

Тираж Подти йое

НПО "Поиск" Роспатента

113035, Москва, Ж-35; Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужтород, ул.Гагарина, 101

5 6

Ф о р и у л а и з о 6 р е т е н и я вышения эксплуатационной надежности

ГОРИЗОНТАЛЬНЫЙ ГУРБОМОЛБКУЛЯРНЬЩ НАСОС, содржащий корпус и Ржимах palm насоса, обе осевые опоры установленный в нем "а двух осевых и расположены с одной стороны консоли двухрадиальныхэле ромагнитныхопорЬХ л& ротора с эаэорбм одна относительно ротор, лича ий тем,, с целью „„эо однь относительно