Вертикальный турбомолекулярный насос

 

ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС по авт.св. № 737657, отличающийся тем, что, с целью повьппения надежности работы путем стабилизации динамической уравновешенности ротора, последний снабжен дополнительным подшипником с подвижным и неподвижным кольцами, последнее из которых установлено во втулке с возможностью осевого перемещения , а каждое шарнирное соединение снабжено демпфирующим вкладышем.

СОЮЗ С08ЕТСНИХ

ВВВРВВВВ

РЕСПУБЛИК зло 0

ГОСУДАРСТВЕНКЬЙ КОМИТЕТ СССР

llO ДЕЛАМ ИЭОБРЕТЕКИЙ И ОТНРЫТФЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСНОНУ СВИДВТВРЪСТВВ

l.

Р (61) 737657 . (21) 3600760/25-06 (22) 08.04.83 (46) 30.10.84. Бюл. У 40 (72) В.С.Кондрашев, Л.М.Деев-Анисимов и Е.АВПетров (53) 621.527.8 {088.8) (56) 1. Авторское свипетельство СССР

У 737657, кл. 04 2 19/04. 1976.,Я0„,! 121506 A (54) (57) ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС по авт.св. Р 737657, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы путем стабилизации динамической уравновешенности ротора, последний снабжен дополнительным подшипником с подвижным и неподвижным кольцами, последнее из которых установлено во втулке с возможностью осевого перемещения, а каждое шарнирное соединение снабжено демпфирующим вкладышем.

1 11215

Изобретение относится к вакуумной технике, По основному авт.св. !! 737657 известен вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус и расположенный в нем ротор с внутренней

1 полостью, установленный на подшипнике, имеющем подвижное и неподвижное кольца, причем на внутренней поверхности корпуса закреплен стакан, со стороны, противоположной подшипнику, на неподвижном кольце последнего— втулка, а вдоль оси внутренней полости ротора установлен при помощи упругих опор невращающийся стержень, концы .которого снабжены шаровыми опорами, образующими шарнирные соединения с втулкой неподвижного кольца и со стаканом (1).

Недостаток известного насоса проявляется в нарушениях стабильности динамической уравновешенности ротора при внешних упарных и вибрационных нагрузках, что приводит к Необходимости .прерывания технологического процесса.

Отказы и аварийные состояния турбомолекулярных насосов при воздействии внешних динамических нагрузок вызываются нарушением контактов и необходимого трения между поверхностями шаровых опор и втулок и появлением люфта в подшипнике ротора

Цель изобретения - повышение надежности работы путем стабилизации динамической уравновешенности ротора- З5

Указанная цель достигается тем, что в вертикальном турбомолекулярном насосе, содержащем корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на подшипни- 40 ке, имеющем подвижное и неподвижное кольца, причем на внутренней поверхности корпуса закреплен стакан, со стороны, противоположной подшипнику, на неподвижном кольце последнего — 45 втулка, а вдоль оси внутренней полости ротора установлен при помощи упругих опор невращающийся стержень, концы которого снабжены шарнирными опорами, образующими шарнирные соеди- о нения со втулкой неподвижного кольца и со стаканом, ротор снабжен дополнительным подшипником с подвижным и неподвижным кольцами, последнее из которых установлено на втулке с возможностью осевого перемещения, 06 2 а каждое шарнирное соединение снабжено демпфирующим вкладышем.

На чертеже изображен предлагаемый, насос, продольный разрез.

Вертикальный турбомолекулярный насос содержит корпус 1 и расположенный в нем ротор 2 с внутренней полостью, установленный на подшипнике, имеющем подвижное и неподвижное кольца 3 и 4. На внутренней поверхности корпуса 1 закреплен стакан 5, со стороны, противоположной подшипнику, на неподвижном кольце 4 последнего — втулка 6, а вдаль оси внутренней полости ротора 2 установлен при помощи упругих опор 7 невращающийся стержень 8, концы которого снабжены шаровыми опорами 9 и 10, образующими шарнирные соединения с втулкой 6 неподвижного кольца 4 и со стаканом 5. Ротор 2 снабжен IIQ полнительным подшипником с подвижным и неподвижным кольцами 11 и 12, последнее из которых установлено во втулке 6 с возможностью осевого перемещения, а каждое шарнирное соединение снабжено демпфирующим вкладьппем 13. Для выборки осевых люфтов в подшипниках и создания контактных усилий в шарнирном соединении втулки 6 с невращающимися стержнем 8 между шарнирным соединением и втулкой 6 устанавливается пружина 14.

Насос работает следующим образом.

При вращении ротора 2 стержень 8 позволяет занять ему устойчивое положение. Введение в подвеску ротора

2 дополнительного подшипника, неподвижное кольцо 12 которого опирается на шаровую опору 9, и снабжение шарнирных соединений демпфирующими вкладышами 13 позволяет сохранить плотность контактов как в подшипниках ротора 2, так и в шарнирном соединении невращающегося стержня 8 со втулкой 6.

Таким образом, предлагаемая конструкция насоса позволяет обеспечить постоянство контактных усилий и трения шарнирных соединений невращающегося стержня с втулкой и стака= ном и усилий аксиального нагружения неподвижных колец подшипников относительно вращающихся как в отсутствии внешних сил, так и при их действии.

1121506

Составитель О.Тишина

Техред Т,фанта Корректор А.Обручар

Редактор М.Келемеш филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 7953/29 Тираж 623 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5