Молекулярный вакуумный насос

 

1. МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий статор, имеющий со стороны нагнетания участок со спиральными пазами переменной глубины, и размещенный по оси статора барабанный ротор, отличающийс я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, статор и ротор имеют со стороны всасывания эквидистантные конические участки, сужающиеся по ходу газа и состоящие каждый из двух сопряженных между собой конических поверхностей, первая из которых со стороны всасывания имеет конусность меньшую, чем вторая, причем на коническом участке ротора выполнены спиральные пазы, а участок со спиральными пазами статора имеет дополнительную коническую поверхность , сужающуюся по ходу газа. . 2.Насос ПОП.1, отличающийся тем, что конические участки ротора и статора имеют длину, составляющую 0,2-0,25 от длины ротора . I 3.Насос по п. 1 , о т л и ч а ю -. щ и и с я тем, что дополнительная W коническая поверхность имеет конусс ность 10-30.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

PECflYSJlHH (51) 5 Г 04 D 19/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ(СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕ П=.НИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

IlPH ГКНТ СССР (21) 3671 171/25-06 (22) 31.10.83 (46) 15. 05. 90. Бюл. II- 18 (72) В.Б. Шолохов, К.Е. Демихов .и В.П. Сергеев (53) 621,527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 325413, кл. Г 04 D 19/04, 1972, Патент Франции Ф 2224009, кл. Г 04 D 19/04, опубл. 1974. (54)(57) 1. ИОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУИНЫЙ

НАСОС, содержащий статор, имеющий со стороны. нагнетания участок со спиральными пазами переменной глубины, н размещенный по оси статора барабанный ротор, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, статор и ротор имеют со стороны всасывания экИзобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов, Известен молекулярный вакуумный насос, содержащий статор и ротор со спиральными пазами.

Недостатками известного насоса являются невысокие степень сжатия и быстрота действия вследствие значительных перетечек откачиваемого газа со стороны нагнетания на сторону всасывания через зазоры между статором и ротором.

Известен также молекулярный вакуумный насос, содержащий статор, имеющий со стороны нагнетания участок со спиральными пазами переменной

ÄÄSUÄÄ1 3 55027 А 1

2 видистантные конические участки, сужающиеся по ходу газа и состоящие каждый из двух сопряженных между собой конических поверхностей, первая из которых со стороны всасывания имеет конусность меньшую, чем вторая, причем на коническом участке ротора выполнены спиральные пазы, а участок со спиральными пазами статора имеет дополнительную коническую поверхность, сужающуюся по ходу газа.

2. Насос по п.1, о т л и ч а юшийся тем, что конические участки ротора и статора имеют длину, составляк цую 0,2-0,25 от длины ротора.

3. Насос по п.1, о т л и ч а юшийся тем, что дополнительная .. коническая поверхность имеет конусность 10-30, глубины, и размещенный по оси статора барабанный ротор.

Данный насос. является наиболее близким техническим решением по своей сущности и достигаемому результату к описываемому, однако также имеет невысокие откачные характеристики, обусловленные обратными перетеч ками откачиваемого газа через зазоры между статором и ротором.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик насоса.

Указанная цель достигается тем, что в молекулярном вакуумном насосе, содержащем статор, имеющий со стороны нагнетания участок со спиральными пазами переменной глубины, 1155027 и размещенный по оси статора барабанный ротор, ротор и статор со стороны всасывания эквидистантные конические участки, сужающиеся по ходу газа и состоящие каждый из двух сопряженных между собой конических поверхностей, первая из которых со стороны всасывания имеет конусность меньшую, чем вторая, причем на ко1 ническом участке ротора выполнены спиральные пазы, а участок со спиральными пазами статора имеет дополнительную коническую поверхность, су" жающуюся по ходу газа. При этом конические участки ро гора и статора имеют длину, составляющую 0,2-0,25 от длины ротора, а дополнительная коническая поверхность имеет конусность 10 — 30о.

На фиг.1 изображен насос общий вид; на фиг.2 и 3 — участки ротора и статора (соответственно) со стороны всасывания насоса, !

1олекулярный вакуумный насос содержит статор 1, имеющий со стороны нагнетания участок со спиральными пазами 2 переменной глубины, и размещенный по оси статора 1 барабанный ротор «3, причем статор 1 и ротор 3

30 имеют со стороны всасывания эквидистантные конические участки, сужающие ся по ходу газа и состоящие каждый иэ сопряженных между .собой конических поверхностей 4 и 5, 6 и 7. Поверхности 6 и 7 имеют конусность меньшую, чем поверхности 5 н 7. На коническом участке ротора 3 выполнены спиральные пазы 8, а участок со спиральными пазами 2 статора 1

1 имеет дополнительную коническую по-верхность 9, сужающуюся по ходу газа. При этом конические участки ротора 3 и статора 1 имеют длину 1, составляющую 0,2-0,25 от длины Ь ротора 3, .а дополнительная коническая поверхность 9 имеет конусность

10-30

Насос работает следующим образом.

После создания в полости насоса предварительного разрежения ротор 3 приводится во вращение, Молекулы откачиваемого газа со стороны всасывания попадают в спиральные пазы 8 ротора 3 и увлекаются в сторону дополнительной конической поверхности

9. Там одна часть молекул попадает непосредственно в спиральные пазы 2 статора 1, а другая часть после столкновения с поверхностью ротора

3 попадает в те же пазы 2, на выходе из которых молекулы откачиваются внешним форвакуумным насосом.

Описанная конструкция молекулярного вакуумного насоса позволяет улучшить откачные характеристики— быстроту действия и степень сжатия без увеличения его габаритов, т.к. наличие конических участков ротора и статора на стороне всасывания насоса значительно снижает перетечки откачиваемого газа со стороны нагнетания на сторону всасывания вследствие невозможности прямого пролета молекул газа в направлении, обратном направлению откачки, без соударения со стенками пазов ротора, которое ведет к получению молекулами импульса в направлении откачки.

1155027

Фиг.2

f0-30

Фиг.д

Корректор Т, Малец

Техред М,Ходанич Редактор М, Ленина

Заказ 1534 Тираж 495 Подписное

ВИИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101