Система питания магнитной линзы электронного микроскопа

 

Изобретение относится к электронно-оптическому приборостроению. Цель изобретения - упрощение системы питания при уменьшении уровня пульсации магнитного потока линзы достигается благодаря тому, что в каждый из п каналов 4 питания введена первая фазосдвигающая цепь 5, преобразующая и сдвигающая входное напряжение преобразователя 3 на угол q, 360 /ni,n, где га - число фаз преобразования переменного напряжения первичного источника. Кроме того, в систему питания введена вторая фазосдвигающая цепь 7, которая служит для сдвига модулирующих низкочастотных пульсаций напряжения вкаждом канапе 4 питания. В результате совместных действий двух фазосдвигающих цепей 5 и 7 пульсации магнитного потока сохраняются на заданном уровне. При этом в системе питания не требуется подключения специальных фильтрующих элементов. 3 ил. с ifi (Л фиг.1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) (51) 4 Н 01 J 37 26

ICF""13

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

БМБДМ i „, ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ. ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3846957/24-21 (22) 17 ° 01,85 (46) 07 ° 07.86. Бюл. ¹ 25 (72) Л. А. Вятич (53) 621.385.833(088,8) (56) Поливанов В. В. и др. Питающие устройства электронного микроскопа .

УЭМБ-100. - Известия АН СССР. Сер. физич ° 1959, т. 23, № 4, с. 450-453.

Авторское свидетельство СССР

¹ 684648, кл. Н 01 Х 37/26, 1978. (54) СИСТЕМА ПИТАНИЯ МАГНИТНОЙ ЛИНЗЫ

ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА (57) Изобретение относится к электронно-оптическому приборостроению.

Цель изобретения - упрощение системы питания при уменьшении уровня пуль сации магнитного потока линзы достигается благодаря тому, что в каждый из и каналов 4 питания введена пер» вая фазосдвигающая цепь 5, преобразующая и сдвигающая входное напряже» ние преобразователя 3 на угол q<

= 360 /m,ï, где m, — число фаз преоб" разования переменного напряжения пер" вичного источника. Кроме того, в систему питания введена вторая фазо» сдвигающая цепь 7, которая служит для сдвига модулирующих низкочастотных пульсаций напряжения в кажцом канале 4 питания. В результате совместных действий двух фазосдвигающих цепей 5 и 7 пульсации магнитного потока сохраняются на заданном уровне.

При этом в системе питания не требуется подключения специальных фильтрующих элементов. 3 ил.

1243047 со Б (!

Изобретение относигся к электронно-оптическому приборостроению и может быть использовано н системах пи тания магнитных линз электронных микроскопове .Р

Целью изобретения является упрощение системы питания при уменьшении уровня пульсаций магнитного потока линзы за счет исключения специальных фильтров и стабилизирующих устройств. 1О

На фиг. 1 предстанлена схема системь1 питания; на фиг..2 - эпюры напряжения в схеме; на фиг. 3 - эпюры пульсаций магнитного потока линзы„

Система питания (фиг. 1) магнит- 15 ной линзы 1 с обмоткой возбуждения, состоящей из секций 2„ содержит преобразователь 3 частоты и и каналов 4 питания, каждый из которых включает первую фазосдвигающую цепь 5, источ- 20 ник 6 питания, н .который входят стабилизатор напряжения и стабилизатор тока с регулирующими элементами, и вторую фазосдвигающую цепь 7.

Первая фазосдвигающая цепь 5 входом подключена к выходу преобразователя 3 .частоты, а выходом к источнику б питания, выход которого соединен с входом второй фазосдвигающей цепи 7, подключенной выходом к . ЗО соответствующей секции 2 обмотки ноз буждения магнитной линзы .1.

На фиг. 2 обозначено: 8 - напряжение на входе первой фазосднигающей цепи 5; 9 напряжение на выходе ис™

- точника б; 10 - то же напряжение при увеличенном масштабе времени.На фиг.3 . обозначено: 11 пульсации магнитного потока при действии первой фазосдвигающей цепи для случая п = m = 2; щ

12 - пульсации магнитного потока в первой секции обмотки; 13 пульсации магнитного потока во.второй секции;

14 - пульсации суммарного магнитного потока. 45

Система питания магнитной линзы электронного микроскопа работает сле,дующим образом.

Напряжение первичного источника 50 подается на вход преобразователя 3 частоты. При этом регулирующие элементы, входящие в состав стабилизатора тока источника б питания, работая при постоянном входном напряжении, 55 оказываются в облегченном режиме и, следовательно, могут быть меньшей мощности. а

Выходное напряжение преобразователя 3, стабилизированное по частоте и величине, поступает на вход первой фазосцвигающей цепи 5 (эпюра 8).

Первая фазосдвигающая цепь 5 каждого и-го канала 4 питания преобразовыва- . ет и сдвигает входное напряжение на

360 1 угол с =, где m — число

n m

f (фаз преобразования переменного напряжения первичного источника.

С:выхода первой фазосднигающей . цепи 5 напряжение поступает на вход источника 6 питания. Затем напряжение с выхода источника питания подается, на вход второй фазосдвигающей цепи 7, которая служит для сдвига модулирующих низкочастотных пульсаций напряжения- н.каждом канале 4 питания. Вы ходное напряжение преобразователя 3 при, m < — — m = 2 имеет вид, представ леиньш эпюрой 9 (фиг. 2). Угол сдвига, обеспечиваемый второй фазосдвигающей цепью 7, определяется анало гичным соотношением

Может оказаться полезным обеспечивать фазовый сдвиг gq, учитывая параметры нагрузки. В случае секционированной магнитной линзы нагрузкой в канале питания является секция обмотки. возбуждения линзы, обладающая омическим сопротивлением и, как правило, большим индуктивным сопротивлением.

При малых углах сдвига (» 90 ) где Ц < фазовый сдвиг между напряжениями во вторых фазосдвигающих цепях (п-1) и и-го каналов питания;

x — активное сопротивление сек. и ции обмотки возбуждения;

ML — индуктивное сопротивление секции обмотки возбуждения .линзы.

В результате совместных действий двух фазосднигающих цепей 5 и 7 в каждом из каналов питания, суммарный магнитный поток линзы приобретает нид, представленный эпюрой 14 (фиг, 3).

Пульсации магнитного потока (фиг. 3) сохраняются на заданном урон0

Ю не, но при этом в систему питания не требуется подключение специальных фильтрующих. элементов, т.е. схемапитания значительно упрощается.

Реализация фазосдвигающих цепей, обеспечивающих заданный фазовый сдвиг

Ц, и (P может быть достигнута традиционными .способами, например с использованием RC и ЬС элементов.

Формула изобретения

Система питания магнитной линзы электронного микроскопа, содержащая первичный источник напряжения и и каналов питания секций обмотки возбуждения линзы с соответствующими источниками питания, о т л и ч аю щ а я с я тем, что, с целью ее упрощения при уменьшении уровня пульсаций магнитного потока линзы, она

243047 4 снабжена преобразователем частоты и введенными в каждый из каналов питания двумя фазосдвигающими цепями, причем выход преобразователя частоты

5 соединен с входами первых фазосдвигающих цепей, которые соединены после довательна с источниками питания и вторыми фазосдвигающими цепями, а фазовые сдвиги между напряжениями в О первых Ц, и во вторых ср фазосдвига ющих цепях (n-1) и и-го каналов оп ределяются иэ соотношений

360 .360 шп i qz ш

15 где m — число фаз преобразования

1 переменного напряжения пер» вичного источника;

m — число фаз преобразования пе" г ременного напряжения на час тоте модуляции.

124:3047

Составитель В, Гаврюшин

Редактор А. Ворович Техред JI.Îëeéíèê Корректор А. Зимокосов

Закаэ 3713/53

Тираж б43 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий

ll3035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4