Проекционный объектив с увеличением-1/30 @

 

Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования . Целью изобретения является повышение качества изображения и долговечности при работе с лазерным излучением . Положительная плосковыпуклая линза (Л) 1 размещена на расстоянии, равном трем фокусным расстояниям объектива (3f) перед компонентом, состоящим из отрицательной выпукло-вогнутой Л 2 и положительной двояковыпуклой л 3, отстоящих друг от друга на расстоянии 0,033f. Следующий компонент выполнен в виде положительной двояковыпуклой 4 Л и отрицательной двояковогнутой Л 5 на расстоянии 0,006 f друг от друга. Третий компонент содержит положительную двояковыпуклую 6 Л и отрицательную двояковогнутую Л 7, расположенные на расстоянии 0,023f. Положительная двояковыпуклая Л 8 выполнена с соотношением радиусов 1:2,028. Совмещая окно диафрагмы , расположенной в плоскости предметов, с дефектом на фотошаблоне, производят его исправление выжиганием лучом лазера. Установка Л 1 с возможностью перемещения перпендикулярно оптической оси в двух взаимно перпендикулярных направлениях обеспечивает наведение лазерного луча на заданный участок плоскости изображения. Увеличение объектива -1/30 , фокусное расстояние 18,52 мм, линейное поле зрения 15 мм. 1 3. п. ф-лы., 1 ил. (С ел Плоскость предметов Y V г J У ЬО 4 00 tsD Плоскость цзо-

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5!) 4 G G2 В 13/14, 13/24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, !;

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

П7ОСЮСЮЬ

npedweruE

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3818430/24-10 (22) 29.11.84 (46) 30.07.86. Бюл. № 28 (72) Э, С. Гуревич, Л. Д. Пигулевская, П. В. Майраков и В. Е. Матюшков (53) 771.351.7 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 991346, кл. G 02 В 13/14, 1981.

Авторское свидетельство СССР № 1170404, кл. G 02 В 13/14, 1983. (54) ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С

УВЕЛИЧЕНИЕМ вЂ” 1/30" (57) Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования. Целью изобретения является повышение качества изображения и долговечности при работе с лазерным излучением. Положительная плосковыпуклая линза (Л) 1 размещена на расстоянии, равном трем фокусным расстояниям объектива (3f) перед компонентом, состоящим из отрица„„SU„„1247812 А1 тельной выпукло-вогнутой Л 2 и положительной двояковыпуклой Л 3, отстоящих друг от друга на расстоянии 0,033f. Следующий компонент выполнен в виде положительной двояковыпуклой 4 Л и отрицательной двояковогнутой Л 5 на расстоянии 0006 f друг от друга. Третий компонент содержит положительную двояковыпуклую 6 Л и отрицательную двояковогнутую Л 7, расположенные на расстоянии 0,023f. Положительная двояковыпуклая Л 8 выполнена с соотношением радиусов 1:2,028. Совмещая окно диафрагмы, расположенной в плоскости предметов, с дефектом на фотошаблоне, производят его исправление выжиганием лучом лазера. Установка Л 1 с возможностью перемещения перпендикулярно оптической оси в двух взаимно перпендикулярных направлениях обеспечивает наведение лазерного луча на заданный участок плоскости изображения.

Увеличение объектива — 1/30, фокусное рас стояние 18.52 мм, линейное поле зрения

15 мм. 1 з. п. ф-,чы., 1 ил.

1247812

Формула изобретения

Составитель В. Архипов

1ехред И. Верес Корректор В. Бутяга

Тираж 501 Подписное

ВИИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и от крытий

113035, Москва, Ж вЂ” -35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор H. Швыдкая

Заказ 4121/46

Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования.

Целью изобретения является повышение качества изображения и повышение долговечности при работе с лазерным излучением, а также расширение функциональных возможностей путем обеспечения наведения лазерного луча на заданный участок плоскости изображения.

На чертеже изображена принципиальная оптическая схема проекционного объектива.

Положительная плосковыпуклая линза 1, выполненная из кварца, расположена с возможностью перемещения в плоскости, ортогональной оптической оси в двух взаимно перпендикулярных направлениях перед первым компонентом на расстоянии, равном трем фокусным расстояниям объектива (31) .

Объектив состоит из четырех компонеHтов.

Первый компонент — положительный, состоящий из отрицательной выпукло-вогнутой

2 и положительной двояковыпуклой 3 линз, выполненных из кварца и флюорита и расположенных относительно друг друга на р3сстоянии, равном 0,033f.

Второй компонент — отрицательный, состоящий из положительной двояковыпуклой 4 и отрицательной двояковогнутой 5 линз, выполненных из флюорита и кварца и расположенных относительно друг друга на расстоянии, равном 0,006f.

Третий компонент — положительный, состоящий из положительной двояковыпуклой

6 и отрицательной двояковогнутой 7 линз, выполненных из флюорита и KB3pll3 и рас1юложенных относительно друг друга на расстоянии, равном 0,0231.

Четвертый компонент — двояковыпуклая положительная линза 8, выполненная из флюорита с соотношением радиусов 1:2.028.

Совмещение изображения окна диафрагмы, которая расположена в плоскости предметов, с дефектом на фотошаблоне, расположенном в плоскости изображения, производят следующим образом. Грубое совмещение изображения окна диафрагмы с дефектом на фотошаблоне происходит перемещением фотошаблона по осям Х и Y. после перемещения компонент 1 об.ьектива в плоскости, ортогональной оси объектива в двух взаимно перпендикулярных направлениях

Х и У, производят тонкое совмещение окна диафрагмы с дефектом на фотошаблоне и исправление дефекта выжиганием лучом лазера на фотошаблоне.

Объектив имеет увеличение — 1/30", числовую апертуру в пространстве изображений 0,3, линейное поле зрения 15 мм, фокусное расстояние 18,52 мм. Качество изоб10 ражения характеризуется следующими величинами: в пределах всего поля зрения размер кружка рассеяния в меридиональном сечении не превышает Лу = 0,001 мм, в сагиттальном сечении на краю поля зрения

06 = 0,0013 мм, астигматическая разность не более 0,0015 мм. Объектив рассчитан для работы в ультрафиолетовой (>. = 337,1 нм) и видимой (i, = 546 нм) областях спектра.

Для этих длин волн хроматическая разность сферических аббераций не превышает

20 0 004 мм.

1. Проекционный объектив с увеличением — 1/30; содержащий четыре компонента, 25 из которых первый — положительный состоит из отрицательной выпукло-вогнутой и двояковыпуклой линз, второй — отрицательный — из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, третий — положительный — из двояковыпуклой и отрицательной линз и четвертый — — двояковыпуклая линза, отличающийся тем, что, с целью повышения качества изображения и повышения долговечности при работе с лазерным излучением, в нем перед первым компонентом на расстоянии

31 установлена плосковыпуклая линза, отрицательная линза третьего компонента выполнена двояковогнутой, а расстоянием между линзами в первом, втором и третьем компонентах выбраны равными соответственно 0,033f, 0,006(и 0,023f, где f — фокусное расстояние объектива.

2. Объектив по п. 1, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем обеспечения наведения лазерного луча на заданный участок плоскости изображения, плосковыпуклая линза

45 выполнена с возможностью перемещения перпендикулярно оптической оси в двух взаимно перпендикулярных направлениях.