Молекулярный вакуумный насос

 

СООЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЮЪБЛИН

А1

„„SU „„1 282635 (51) 5 F 04 11 19 04

1 .««,i °, «1 ° °,«»«»

4 : «м ;»,;:.: !.«»

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ASTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ !

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

I (46) 07. 10. 90, Бюл. 11 37 (21) 3903718/25-06 (22) 08.04.85 (72) В.Б.Шолохов, К.E.Äåìèõîâ, В.И.Вихрев, В.П.Сергеев и С.Н.Шаршин (53) 621.527.8(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 338684, кл. F 04 0 19/04, 1970. (54) (57) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и установленный по его оси цилиндрический ротор с винтовыми каналами и радиальными. проточками, расположенными с переменным шагом, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, проточки имеют переменную глубину, убывающую от входа к выходу насоса, а корпус снабжен ста-. торными дисками, размещенными с зазорами в проточках ротора и имеющими радиальные каналы с наклонными стенками, расположенными к боковой поверхности дисков. под углом, противоположным углу наклона винтовых каналов ротора.

12821)35

Составитель В. Кряковкин

Техред Н.Глущенко Корректор Г Решетник

С. Кулакова

Редактор

Тираж 500

Заказ 4360

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

rro делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Производственно-попиграфи ческое прелприятие, r. Ужгород, ул. Пр< ентная, 4

Изобретение относит я к области вакуумной техники, а именно к конструкциямм молекулярных вакуумных насосов, Целью изобретения является улучше- 5 ние откачных характеристик насоса.

На фиг. 1 представлен,предлагаемый насос, продольный разрез; на фиг ° 2 — ротор, общий вид.

Молекулярный вакуумный насос содержит корпус.! и установленный по его оси цилиндрический ротор 2 с винтовыми каналами 3 и радиальными про-, точками 4, расположенными с переменным шагом и имеющими переменную глу- .15 бину, убывающую от входа к выходу насоса. Корпус i снабжен статорными дисками 5, размещенными с зазорами в проточках 4 ротора 2 и имеющими радиальные каналы с наклонными стенками, расположенными к,боковой поверхности дисков 5 под углом, противопо- ложным углу наклона винтовых каналов

3 ротора 2.

Предлагаемый насос работает следу-. ющим образом.

При вращении ротора 2 газ по вин- товым каналам 3 переносится от входа к выходу насоса, Наличие между от;. дельными ступенями насоса, ограниченными проточками 4, статорных дисков 5 обеспечивает существенное снижение обратных перетечек газа от выхода к входу насоса по зазору между корпусом

1 и ротором 2. Снижение перетечек при- . водйт к увеличению быстроты действия насоса и степени сжатия каждой ступени, т.е. упучшает откачные характеристики насоса в целом.