Двупольный проектор

 

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано при визуальном контроле фотошаблонов и интегральных схем в процессе сборки. Цель изобретения - упрощение конструкции проектора при выхоЗной ipatfOK ffflOffT- 1(ианна о ffoHef,/Ta OffT- одновременном увеличении его поля зрения. На оптической оси проектора на определенном расстоянии от просмотрового экрана 18 установлен.непрозрачный экран 17, срезающий часть световых лучей, формирующих изображение участков 20 и 21 объекта на экране 18. Изображение этих участков с реперными знаками совмещения проецируется объективами 5 и 6,линзами 9 и 10, зеркалами 11, 12 и 15, 16, окулярами 13 и 14 и рассматривается через лупу 19. Непрозрачньй экран 17 образует на поверхности просмотрового экрана тень, являющуюся границей раздела наблюдаемых на нем полей. 3 ил. JS № i (Л to со о to 09 С

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (бу g G 03 В 21/10

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИОМИТЕТ СССР

flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTHA (21) 3942379/24-10 (22) 16,08.85 (46) 15.02.87. Бюл. Р 6 (72) В ° Н.Иванов и И.Б.Васильева (53) 535.881(088.8) (56) Федотов Г.И. и др. Лабораторные оптические приборы. М.: Машиностроение, 1979, с.104.

Авторское свидетельство СССР

Ф 386371, кл. G 03 B 21/10, 1971. (54) ДВУПОЛЬНЫЙ ПРОЕКТОР (57) Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано при визуальном контроле фотошаблонов и интегральных схем в процессе сборки. Цель изобретения— упрощение конструкции проектора при

„„SU„„1290238 А 1 одновременном увеличении его поля зрения. На оптической оси проектора на определенном расстоянии от просмотрового экрана 18 установлен непрозрачный экран 17, срезающий часть световых лучей, формирующих изображение участков 20 и 21 объекта на экране 18. Изображение этих участков с реперными знаками совмещения проецируется объективами 5 и 6, линзами 9 и 10, зеркалами 11, 12 и 15, 16, окулярами 13 и 14 и рассматривается через лупу 19. Непрозрачный экран 17 образует на поверхности просмотрового экрана тень, являющуюся границей раздела наблюдаемых на нем полей. 3 ил.

2у

S 2

1290238 (2) 17 ус I frrrorr.frerr екторл плрллгг нл рлсстоя—

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к устройствам, позволяющим осуществить одновременное наблюдение за двумя объектами или двумя участками одного объекта, и может быть использовано при визуальном контроле фотошаблонов и интегральных схем в процессе сборки.

Целью изобретения является упрощение конструкции при одновременном

10 увеличении поля зрения прибора.

На фиг,1 представлена принципиальная оптическая схема проектора; на фиг.2 — вид поля зрения в плос15 кости просветного экрана проектора; на фиг ° 3 — вид сечения по диаметру световых пучков формирующих каналов плоскостью, перпендикулярной просветному экрану проектора, 20

Двупольный проектор содержит осветительные устройства с источниками света 1 и 2, конденсаторами 3 и 4, проекционные объективы 5 и 6, сопряженные через отражательную систему выполненнную в ниде размещенных за каждым проекционным объективом 5 и 6 под углом к их оптическим осям полупрозрачных зеркал 7 и 8, с тубусными линзами 9 и 10 формирующих оптических каналов, выполненных в ниде располо- 30 женных за линзами 9 и 10, первых зеркал 11 и 12, проекционнных окуляров

13 и 14, вторых зеркал 15 и 16, эл которыми установлен непрозрачный экран 17 и просмотровый экран 18 с 35 лупой 19.

Непроэрлчный экран на оптической оси про лельно основному экрл где 2у — диаметр поля зрения отдельного канала..

Непрозрачный экран 17 установлен в положении, обеспечивающем резкую теневую границу раздела наблюдательных полей и экранирование налагающихся на просмотровом экране 18 участков изобэажений отдельных формирующих каналов проектора, при этом ширина Z экрана 17 определяется из соотношения у /2(/2 — 1) S(2 — 1)

-Ъ (3)

/ 2 + 1 (IF 2+ 1 ) Двупольный проектор работает следующим образом.

Два участка 20 и 21 наблюдаемого объекта освещаются источниками света

1 и 2 с помощью конденсаторов 3 и 4, полупрозрачных зеркал 7, 8 и объектов 5 и 6.

Изображение этих участков объекта с реперными знаками совмещения проецHpóåòся объективами 5 и 6 (тубус

"бесконечность"),, тубусными линзами

9 и 10, зеркалами 11 и 12, проекционными окулярами 13, 14 и зеркалами

15 и 16 в плоскость экрана 18. Непрозрачный экран 17 с параллельными острыми краями срезает часть лучей светл, формирующих изобрлжеrrHP двух участков 20 и 21 объекта на экране 18 проектора, образуя на поверхности экрана 18 тень, которая является границей раздела наблюдаемых полей.

Иэображение участков 20 и 2 1 объекта

r.à экране 18 проекторл рассматривается через .frórFó 19. нии, определяемом иэ соотношения

1,(2—

Х (Г2+ 1 и срезает часть лучей света (фиг.2 и 3), формирующих изображение двух участков 20 и 21 объекта на экране 18 проектора, и образует нл поверхности просмотрового экрана 18 тень, которая является границей раздела наблюдаемых50 на экране полей. Для установки непро. зрачного экрана 17 формирующие каналы разнесены (фиг.2) и расстояние между оптическими осями каналов в плоскости установки просмотрового экрана 18 удовлетворяет условию максимального использования поля зрения каждого формирующего канала

Формула изобретения

Двупольный проектор, содержащий две осветительные системы, два проекционных объектива, каждый из которых через размещенную за ним отражательную систему сопряжен с соответствующей тубусной линзой и проекционным окуляром формирующих оптических клнллов, а также узел разделения полей и просмотровый экран, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции при одновременном увеличении поля зрения, узел .разделения полей выполнен в виде непрозрачного экрана прямоугольной формы, установленного на оптической оси, проектора перед просмотровым

Составитель С.Шигалович

Редактор Н.Горват Техред М.Ходанич Корректор А.Зимокосов

Тираж 442 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 7898/43

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4 экраном на расстоянии Х от него, определяемом из соотношения

Ь (К2 — 1)

Х = (2 + 1

1290238 4 где L — расстояние между просмотровым экраном и плоскостью расположения выходных зрачков формирующих каналов.