Устройство для контроля качества телескопических оптических систем

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (51) 4 (01 В 11/24

ОПИОАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ !

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

40 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3983774/24-28 (22) 03.12.85 (46) 28.02.87 Бюл. )Ф 8 (72) И.Я. Бубис, Ю.В. Канатов, С.В. Любарский, K.Ê. Соболева и В.Б. Хорошкеев (53) 531.715.1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР ,:У 480904, кл. 6 01 В 11/24, 1972.

Креопалова Г.В., Пуряев Д.Т. Исследование и контроль оптических систем. — М.: Машиностроение, 1978, с. 140-141. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ТЕЛЕСКОПИЧЕСКИХ ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения— возможность контроля крупногабаритных систем. Устройство содержит последовательно расположенные монохроматический источник 1 света, интерференционный блок 2 в виде интерферометра типа Физо .и плоское контрольное зеркало 3, плоское зеркало

4, жестко связанное с зеркалом 3 и установленное под прямым углом к не" му, регистрирующий узел — автоколлиматор 5. Контрольное зеркало 3, расположенное в параллельном пучке лучей, выходящем из контролируемой телескопической системы, включающей зеркала 7 и 8, выполнено с воэможностью перемещения перпендикулярно этому пучку. Для определения абер1293486 раций контролируемой системы опреде- нии, строят кривую угловых аберраляется величина разворота контроль- ций контролируемого волнового фронного зеркала 3 при переходе из одно та, однозначно связанных с другими го положения в другое. Определяя геометрическими или волновыми абер - -разворот зеркала 3 в каждом положе- рациями системы. 1 ил. Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь-. зовано, в частности, для контроля качества телескопических оптических систем. !

Цель изобретения — возможность контроля крупногабаритных систем.

На чертеже изображена принципиальная схема устройства для контроля качества телескопических оптических систем.

Устройство содержит последовательно расположенные монохромати-. ческий источник "1 света, интерферен. ционный блок 2 в"виде интерферометра типа Физо, плоское контрольное зеркало 3, плоское зеркало 4, жестко связанное с зеркалом 3 и установленное под прямым углом к нему, регистрирующий узел — автоколлиматор 5 и направляющие 6 для перемещения зеркала 3.

Контролируемая телескопическая: оптическая система представляет собой два зеркала †вогнутое 7 и выпуклое 8 (хотя в общем случае она. может состоять и из большего числа оптических элементов). Перед контролируемой телескопической системой установлен монохроматический источник 1 света и интерференционный блок 2 — интерферометр типа Физо.

Выходящий из интерференционного блока 2 параллельный пучок лучей расширяется контролируемой системой и часть этого пучка падает на контрольное зеркало 3, диаметр которого может быть существенно меньше диаметра зеркала 7 контролируемой системы.

Отраженный от зеркала 3 пучок лучей возвращается контролируемой системой и интерферирует с пучком, отраженным от эталоннои поверхности пластины интерферометра типа Физо. Соответсч вующей настройкой схемы добиваются появления в поле зрения интерферен5 ционной картины. В данном случае, в поле зрения интерферометра будет видна интерференционная картина волнового фронта, проходящего через, верхнюю краевую часть контролируемой системы. Затем контрольное зеркало 3 по направляющим 6 перемещают перпендикулярно параллельному пучку лучей, выходящему из контролируемой системы, так, чтобы сечение кон15 тролируемого пучка измерялось не менее чем в 16-18 точках и в каждом сечении настраивают интерференционную картину на минимальное число интерференционных полос. 1 правляющие 6 расположены перпендикуюнщно параллельному пучку лучей, выходящему из контролируемой системы, и обеспечивают перемещение зеркала 3 по всему сечению этого пучка. С зеркалом 3 жестко связано плоское зеркало 4, которое является отражателем автоколлиматора 5, оптическая ось которого совпадает с направлением

30 перемещения зеркал 3 и 4. При этом при переходе зеркала 3 в очередное положение с помощью автоколлиматора 5 определяют величину разворота зеркала 3, вызванного ошибками волнового фронта контролируемой сис35 темы, т.е. ее угловые аберрации.

Следовательно, определяя разворот зеркала 3 в каждом положении, строят кривую угловых аберраций контролируемого волнового фронта, однозначно связанных с другими геометрическими или: волновыми аберрациям> системы. Таким образом с помощью зеркала 3 небольшого диаметра может контролироваться волновой фронт неог45 раниченного размера.

1293486

Формула изобретения

Составитель Л. Лобзова

Редактор М. Товтин Техред Л.Сердюкова Корректор И. Эрдейи

Заказ 370/41 Тираж 678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Гаушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое .предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Устройство для контроля качества телескопических оптических систем, содержащее последовательно расположен- 5 ные монохроматический источник света, интерференционный блок и плоское контрольное зеркало, установленное в параллельном пучке лучей, выходящем из контролируемой системы, регистрирующий узел, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью возможности контроля крупногабаритных систем, оно снабжено плоским зерна лом,.жестко связанным с контрольным зеркалом и установленным под прямым углом к нему, контрольное зеркало выполнено с возможностью перемещения перпендикулярно параллельному пучку лучей, а регистрирующий узел выполнен в виде автоколлиматора, установленного так, что его оптическая ось совпадает с направлением перемеще.ния контрольного зеркала.