Устройство для переноса образцов в вакууме

 

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано в устройствах манипуляторов, работающих В вакууме. Цель изобретения состоит в расширении технологических возможностей за счет увеличения хода штока, повышения точности его перемещения и обеспечения жесткости фиксации при его максимальном вылете. Устройство содержит корпус 1, к которому герметично присоединены ваккумиые рабочие камеры 4,5, разделенные сверхвысоковакуумным клапано.м 6. В корпусе и камерах установлены ролики 2, 3 направляю цих узлов, по которым перемещается обойма 10. В обойме с возможностью вращения размещен шток 8, на одном конце которого расположен держатель образцов 9, а другой установлен в поворотной опоре 7 , имеющей возможность перемещения вместе со штоком в корпусе 1. Магнит 12, установленный с возможностью вращения и перемещения относительно корпуса, и магнитопровод I образуют магнитный привод штока. Все движения магнита 12 передаются штоку 8. 1 ил. i О) / ю 8 V ,J2 7 ОО to 4 сх ю

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ÄÄSUÄÄ 1324842

Д11 4 В 25 1 11/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ""::

Н А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3988632/31-08 (22) 04.11,85 (46) 23.07.87, Бюл, !! 27 (71) Специальное конструкторско-технологическое бюро специальной электроники и аналитического приборостроения СО АН СССР (72) В.В,Блинов и Г.Г.Тимошенко (53) 621-229.72 (088.8) (56) Пипка А,И, и др. Конструирование и расчет вакуумных систем, — M,:

Энергия, 1970, с ° 81, схема 1,4 ° (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕНОСА ОБРАЗЦОВ В ВАКУУМЕ (57) Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано в устройствах манипуляторов, работающих в вакууме, Цель изобретения состоит в расширении технологических воэможностей за счет увеличения хода штока, повышения точности

его перемещения и обеспечения жесткости фиксации при его максимальном вылете, Устройство содержит корпус 1, к которому герметично присоединены ваккумные рабочие камеры 4,5, разделенные сверхвысоковакуумным клапаном

6. В корпусе и камерах установлены ролики 2, 3 направляющих узлов, по которым перемещается обойма 10, В обойме с возможностью вращения размещен шток 8, на одном конце которого расположен держатель образцов 9, а другой установлен в поворотной опоре 7, имеющей возможность перемещения вместе со штокам в корпусе 1, Магнит 12, установленный с возможностью вращения и перемещения относительно корпуса, и магнитопровод 11 образуют магнитный привод штока. Все движения магнита !2 передаются штоку

8. ил.

13?4842

Изобретение относитc!! к мап>инаСоставитель С.Грибов

Редактор И.Горная Техред И.Попович Корректор Л„Зимокосав

Заказ 3003/13 Тираж 952 По !писное

БЦИИПИ Гасударственного комитета СССР па делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раушская наб,, д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул, Проектная, 4 строению в част!!Ост!! к устраиствам манипуляторов, работающих в вакууме.

Цель изобретения — расширение технологических HosMo>KHocTFH за счет увеличения хода штока, повышения точности его перемещения и обеспечения жесткости фиксации при его максимальном вылете, 11оставленная цель достигается тем, что устройство снабжено дополнительными направляющими, а шток установлен с воэможностью вращения в обойме, при этом шаг между направляющими, которые установлены на элементах вакуумного объема по ходу штока, меньше длины обоймы, Иа чертеже показ"= íî предлагаемое устройство, продольный разрез, Устройство для переноса образцов в вакууме содержит корпус 1, ролики

2 и 3 направляющих узлов, вакуумные рабочие камеры 4 и 5, сверхвысоковакуумный клапан 6, поворотную опору

7, шток 8, держатель 9 образцов, обойму 10 магнитопровад ll и постоянный магнит 12 °

Ролики 2 и 3 установлены в корпусе 1 и вакуумных камерах, Шток 8 передним концом через обойму 10 опирается на ролики 2 и 3, а задний ега конец установлен в поворотной опоре

7, имеющей B03маж!!а..ть перемещения в" есте са штоком в !;.орпусе 1„

Магнит 12 совместна с магнитопро— водам 11 образует магнитный привод.

При любам перемещении или вращении магнита 12 синхронна ему перемещается либо вращается шток 8, Устройство работает следующим образом, .

Крайнее заднее папожение штока (на чертеже) — исходное полажение, При переме!цении магнита 12 вперед обойма 10 прокатывается па роликам

2 и 3 и переходит на ролики следующей направляющей и т,д, Величина перемещения штока равна длине корпуса

1, В связи с тем, что длина обоймы

10 больше шага между направляющими, обойма 10 не выходит из контакта с роликами 2 и 3 при любом положении

10 и постоянно находится на двух разнесенных опорах, при этом опорная база почти не изменяется и остается такой же, как и !! исходном положении, Держатель 9 образцов совместна со што15 ком 8 совершает движения синхронно с магнитным приводом, 1

Формула изобретения

Устройство для переноса образцов в вакууме, содержащее корпус, выполненный в виде трубы, герметично соединенной с вакуумной камерой, шток, установленны!й в направляющей, расположенной внутри корпуса, магнитный привод вращения и линейного переме щения штока, выполненный в виде постоян-, ного магнита, расположенного на корпусе, ЗО с возможностью линейного перемещения и вращения, и магнитапровода, закрепленного на штоке, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей, ана снабжено дополнительными направляющими, установленными в корпусе и в вакуумной камере, и обоймой, рас- положенной в этих направляющих с возможностью линейного перемещения, 40 а шток установлен в обойме с возможностью вращения, причем расстояние между дополнительными направляющими меньше длины обоймы,