Устройство для измерения герметических параметров зеркальных оптических элементов

 

Изобретение относитгся к измерительной технике , в частноаи к устройствам для измерения геометрических параметров зеркальных оптичеодах элементов. Цель изобретения - повышевде производительности измерения; несфе зических поверхнсстей за счет создания условий для одновременного наблюдения полос интерферогрангиы и заранее рассчитанных полос идеальной интерферограммы и быстрого сравнения структуры этих двух шстем полос. Через голограмму, полученную на регистраторе 7 излучения, при посредстве оптической системы 12 формир тот изофажение иктерференциояиой KapiHi-tbt, воаникакнцей при сдвиге контролируемого зеркального оптического элемента из исходного попожеж1Г и локализованной на поверхности рассеизателя 6. Одновременно ма поверхность рассеиваТеля 6 с помощью источника 9 излучен11я м проецирующей опггичесжой системы 11 подают изображение транспаранта 10, которое опти юской системой 12 совмещается с изображени- - ем интерферограммы. ilo различию структуры указанных изображений судят от отклонении формы контролируе 5ого зеркального оптическс -о элемента от заданной расчатнои формы 1ш. ь- Sw/ GQ tsrj L.... НпЛ Inn ч л ы 4 ы QQ ы к

1 т» (k ) союз советских

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННОЕ IIATEHTHGK ведомство сссР <Госплтент сссРт. (21) 4043704/28 (22) 27.02.85 (46) 15,1093 Бюл. Ив 37-38 (?2) Годиков А.п„гурари МЛ„Прытков СИ (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ГЕРМЕТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЗЕРКАПЬИЫХ OflТИЧЕСКИХЭДЕМЕНТОВ (57} Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов. Цель йзобретения — повышение производительности измерения несферических поверхностей за счет создания условий для одновременного наблюдения полос интерферограммы и заранее рассчитанных полос идеальной интерферог раммы и быстрого сравнения структуры этих двух (в) SU (и) 134И83 А2 (s1) 5 систем полос Через голограмму, полученную на регистраторе 7 излучения, лри посредстве оптической системы 12 формируют изображение интерференционной картины, возникающей лри сдвиге контролируемого зеркального оптического элемента из исходного положения и локализованной на поверхности рассеивателя 6. Одновременно на поверхность рассеивателя б с помощью источника 9 излучения и проецирующей оптической системы 11 подают изображение транспаранта 10, которое оптической сигтемой 12 совмещается с изображени-ем интерферограммы. По различию структуры указанных изображений судят от отклонении формы контролируемого зеркального оптического элемента от заданной расчетной формы 1 ил.

1342 I I>3

Л0 (Ь61 Автсрское свидетельство СССР

М 593070, кл, 6 01 В 11/24, 9/021, 1976, следовательно по ходу этого излучения так, Гго транспарант размещен В предметной

Г!лоскости chcTei",hf и ОГ1тическои системои

1!аьл10денил, распо/!Оже)1ной В сиГнальном к ::.Нале за per»cтратором излучения так, что

88 и!Зедметная плоскость совмещена с пло"

cкОсть!О изобра>кений проецирующей Опти/аскa!1 c»cl емы и с плоскостью ч 5

Уст!>Оист12О д-fp измерения I eo)итр11),"8ских параметров зеркальны:, огггичес;:.»х э/1еме!!тов !О авт, св, !2 5930701,:-.) т/f и ч а fo" щ 8 е с я тем, что, с целью по IIILIBHN." пр12- „0 из ВОД1ггe/lbf fl3cTI измерения и всч)812»1!Вс к11х

floвеp "Hocтей, Г)но с! Г361>K8HG ист1 1ниffок1 излучения, транспарантом и проеци;2ук>1цей

012ти)!скакo! Системок), устано"Злен)!11(!Б Г!О"

f. ) B C С Е И В 3 Т С Л Я .

Изобретение Относится к изм8рительной технике, B частности к устройствам ДЛГ; измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов, и лвллвтсл усове!>шенствованием иэобре Гс н»Я Г!О авт. св. М 593070, Цель изобретения — повышение производительности иэмеренил несферических поверхностей эа счет создания условий длл

Одновременного наблюдения пО/1ос интерферограммы и заранее pecc÷èTBHHûõ пОлО=. идеальной интерферограммы и бистро,"О с!23внения структур!>! BTvlx двух систем полоС.

)13 чертеже представлена П12инципиальнал с> 8МВ Описыва8140ГО уст!Зойства.

Устройство имеет последовательно располо>кеннь18 источник 1 КОГерентноГО излучения, светоделитель 2, свлэаннf.!й оптически с системоЙ 3 формирования опорного пучка !)злученил и с системой формирован»11 Г!р8дметнОГО пучка излучения, вкл!Оца!О1ций блок 4 освещения! и си!.Нал),ный KBHB/l, состоящий из отражателя 5, рассеивателл 6 регистратора 7 излучения.

Отражатель 5 установлен на подвижной к"-ретке механизма 8 сдвига. Устройство cop8р>киT так>K8 источнf/IK 9 viBËI/÷eнил. транспарант 10 и проецирующую оптическу)О cf.гстему 1 !, в предметной Г!лоскос" и

KoTopoii расположен трансг)ара!1т 10, 3 плоcKocTb 1>ассеивателл 6 является и/1оскостbfo иэображений Оптической системы 11 и одновременно — предметной плоскостью Ог)тической1 системы 1 / наблюДенил, установленной в сигнальном канале за регистрагopoM 7 излученил. Транспара)1Т 1!О содер>кит заранее рассчитанную в нуж!!Ом масштабе систему полос идеалl.,Hof НТерферограммы кОнтролируемого элемента, Описываемо8 устрОЙство работает с !8дующим образом, Е с) р м 1/ л а и э О б О 8 т 8 f.f и с

Сначала получают на регистраторе 7 излучения голограмму рассеивателя 6 с установленным на место отражателя 5

IloHTpo/IMpy8мы 4 зеркальным Оптическим элементом. На этапе восстановления голограммы при наблюдении голографической интерферограммы регистратор 7 излучения

Облуча!От опорным пучком излучения, а исследуемый зеркальный Оптический Элемент— потоком, прошедшим через блок 4 освещения. Через голограмму, полученную на регис-,р3Tope 7 иэлученил, при посредстве оптической системы 12 формируют иэобра."к ние интерференционной картины, возника!О цей при сдвиге контролируемого зеркального опт»-!еского элемента иэ исходного положения, проиэводимОМ механизмом 6 сдвига, и локализованной на поверхности рассеивателл 6. Одновременно IB поверхнс>сть рассеивателл 6 с помощью источни),-а 9 излучения и проецирующей ог!тической системы 11 под3>от изображение транспаранта 10, которое оптической системой 12 совмещается с изос ра>кением инте рферограммы. По различию структуры ука-.-анных иэображений, которое обнару>кивается, например по муаровым полосам, судят об отклонении формы контролируемого зеркального оптического элемента от заданной расчетной формы.

Контрастное различие цветов источника 1 когерентного излучения и источника 9 излуенил увеличивает чувствительность обнару>кeния этих различий, Использование техники муаровых полос сокращает массив обрабатываемых данных и время, необходимое длл 1!атемати !Вской обработки интерферОГрамм.