Молекулярный вакуумный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. Ротор 3 и статор 1 со стороны всасывания имеют эквидистантные цилиндрические участки 8 и 9. Казвдый из сквозных прямолинейных каналов 10, вьшолненных в роторе 3, расположен нормально к линии . симметрии спирального паза ротора и под углом к его торцовой поверхности, равным углу наклона пазов. Наличие каналов 10 увеличивает поверхность всасывания ротора и позволяет облегчить ротор, что дает возможность повысить его число оборотов. Участки 8 и 9 снижают обратный поток молекул со стороны нагнетания на сторону всасьшания. 3 ил, 10 д 8 с & (Л САЭ сл IwA 1C со со «ч:

СООЗ СОНЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

А2

09) Ш) ГОСУДАРСТОЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ Й ОТКРЫТИЙ (46) 15.11.90. Бюп. Н 42 (61) 1155027 (21) 3980036/25-06 (22) 11.09 ° 85 (72) В.П. Сергеев, В.Б. Шолохов, В.И. Вихрев и С.Н, Шаршин (53) 621.527.8(088.8) (54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. Ротор 3 и статор 1 со стороны всасывания имеют эквидистантные цилиндри(51)5 Р 04 D 19 04 ческие участки 8 и 9, Каждый из сквозных прямолинейных каналов 10 выполненных в роторе 3, расположен нормально к линии .. симметрии спирального паза ротора и под углом к его торцовой поверхности,. равным углу наклона пазов. Наличие каналов

10 увеличивает поверхность всасывания ротора и позволяет облегчить ротор, что дает возможность повысить его число оборотов. Участки 8 и 9 снижают обратный поток молекул со стороны нагнетания на сторону всасывания. 3 ил.

1351299

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов, и является усовершенствованием изобретения по авт.св. И 1155027.

Целью изобретения является улуч- шение откачных характеристик насоса.

На фиг. t представлен насос,,npo"" дольный,разрез;на фиг. 2 " зона г".асывания насоса,в увеличенном мас" штабе:на фиг. 3 — вид А на фиг. 2, !

:."олекулярный вакуумный насос содержит статор 1, имеющий со стороны нагнетания участок со спиральными пазами 2 переменной глубины, и размещенный по оси статора 1 барабанный ротор 3. Статор 1 и ротор 3 имеют со стороны вс сывания зквидистант" ные конические участки 4 и 5, су- 2п жающиеся по ходу газа и состояшие каждый из двух ссчряженных между собой конических поверхностей, первая яз которых имеет конусность,мень" шую,чем втоэая, причем на коническом 25 участке ротора выполнены спиральные пазы 6, а участок со спиральными пазами 2 статора 1 имеет дополнительную коническую поверхность 7, сужающуюся по ходу газа. ЗО

Г отор 3 и статор 1 снабжены эк зидистантными цилиндрическими участкамн 8 и 9. Зквндистантные участки ротора 3 и статора 1 имеют длину,сос- . тавляющую 0,20-0,25 от длины ротора, а дополнительная коническая поверхность 7 имеет конусность 10-30 ..В роторе 3 выполнены сквозные прямолинейные каналы .10, каждый из которых расположен нормально к линии симметрии спирального паза 6 ротора 3 и под углом к его торцовой поверхности, равным углу наклона спиральны:. пазов 6.

Насос работает следующим образом.

После создания в полости насоса предварительноro разрешения ротор

3 приводится во вращение. Молекулы откачиваемого газа со стороны всасывания попадают в спиральные пазы

6 и каналы 10, а часть их взаимодействует с цилиндрическим участком 8 статора 1 и коническими поверхностями статора на участках 4 и 5. После соударений молекулы попадают в зону дополнительной конической поверхности 7 статора 1 и по спиральным пазам 2 отводятся на сторону нагие" тания насоса.

Наличие сквозных каналов 10 увеличивает поверхность всасывания ротора 3 и позволяет облегчить ротор. что дает возможность повысить его число оборотов. Цилиндрические эквидистантные участки 8 и 9 ротора и статора снижают обратный поток молекул со стороны нагнетания на сторону всасывания, В результате откачные характеристики насоса (быс- трота действия и степень сжатия) повышаются..

Формула и з о б р е т е н и Ъ

Молекулярный вакуумный насос,по авт.св. N 1155027,. о т л и ч а ю— шийся тем,что, с целью . улучшения откачных характеристик, ротор и статор со стороны всасывания снаб-. жены эквидистантными . цилиндрическими участками, а в роторе вйполнены сквозные прямолинейные каналы каждый из которых расположен нормально к линии симметрии спирального паза ротора .и под углом к его торцовой поверхности, равным углу наклона спиральных пазов ротора.

Е 351299,l

Составитель В.Кряковкин

Редактор Г.Наджарян Техред М.Ходанич Корректор Л.Пилипенко, Заказ 4347 Тираж 499 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делая изобретений и открытий

О а Ж-3 Ра скан í 6. . 4/5

113 35, Москв, 5, уш а, д

»

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4