Интерферометр для контроля цилиндрических поверхностей
Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - обеспечение контроля протяженных цилиндрических поверхностей с размером цилиндрической образующей до 400 мм. Пучок лучей от монохроматического источника 1 света проходит через поляроид 2, регулирующий интенсивность пучка света. Цилиндрической телескопической системой 3 сечение пучка света преобразуется в продолговатое. (Л со СП со о: о: со
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (so ф С 01 В 9/02 11/24
ОЛИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСИОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУцАРСТНЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3843478/24-28 (22) 11.01.85 (46) 15.12.87, Бюл. У 46 (72) И.Я.Бубис, А.И.Кузнецов и В.Б.Хорошкеев (53) 531.715.1 (088,8) (56) Лукин А,В., Мустафин К.С., Рафиков P.À. Контроль профиля асферических поверхностей с помощью одномерных искусственных голограмм.
0MI, 1973, Р 6, с. 67.
Авторское свидетельство СССР
И 355489, кл. С 01 В 9/02, 1970.
„,Я0„„135966 А1 (54) HHTEP@EP0METP ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ (57) Изобретение относится к измери тельной технике. Цель изобретения— .обеспечение контроля протяженных цилиндрических поверхностей с размером цилиндрической образующей до 400 мм.
Пучок лучей от монохроматического источника 1 света проходит через поляроид 2, регулирующий интенсивность пучка света. Цилиндрической телескопической системой 3 сечение пучка света преобразуется в продолговатое.
Далее пучок лучей преломляется зеркалом 4 и цилиндрической линзой 5 собирается в плоскости щелевой диафрагмы 6. Цилиндрический объектив 7 формирует параллельный пучок и светоделителем 8 преломляется к второму цилиндрическому объективу 9, формирующему предметную светящуюся линию.
За цилиндрическим объективом 9 расположена концентрическая цилиндрическая линза 10 выпуклой поверхностью к светоделителю 8. Вогнутая сторона концентрической цилиндрической линзы
10 является эталонной поверхностью интерферометра. Ось эталонной цилинд9663 рической поверхности интерферометра совмещается с предметной светящейся линией. Далее цилиндрический волновой фронт падает на проверяемую деталь 12. Пучки, отраженные от проверяемой детали 12 и от эталонной поверхности, при совмещении интерферируют. Интерференционная картина наблюдается или фиксируется с помощью регистратора 11 интерференционной картины. Для выравнивания интерферирующих пучков по интенсивности. на эталонную поверхность наносится покрытие с необходимым коэффициентом отражения. 2 ил.
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля цилиндрических поверхностей.
Цель изобретения — обеспечение контроля протяженных цилиндрических поверхностей с размером цилиндрической образующей до 400 мм.
На фиг. 1 изображена принципиальная схема интерферометра для контроля цилиндрических поверхностей; на фиг. 2 — вид А на фиг.
Интерферометр содержит последовательно установленные монохроматический источник 1 света, поляроид 2,цилиндрическую телескопическую систему 3., зеркало 4, цилиндрическую линзу 5, щелевую диафрагму 6, цилиндрический объектив 7, светоделитель 8, второй цилиндрический объектив 9 и концентрическую цилиндрическую линзу
10, регистратор 11 интерференционной картины. 25
Интерферометр работает следующим образом.
Пучок лучей от монохроматического источника 1 света проходит через поляроид 2, регулирующий интенсивность пучка света. С помощью цилиндрической телескопической системы 3 сечение пучка света преобразуется в продолговатое. Далее нучок лучей преломляется зеркалом 4 и с помощью цилиндри2 ческой линзы 5 собирается в плоскости щелевой диафрагмы 6. Цилиндрический объектив 7 формирует параллельный пучок, который светоделителем 8 преломляется к второму цилиндрическому объективу 9, формирующему предметную светящуюся линию. За вторым цилиндрическим объективом 9 располоv жена концентрическая цилиндрическая линза 10 выпуклой поверхностью к светоделителю 8. Вогнутая сторона концентрической цилиндрической .линзы 10 является эталонной поверхностью интерферометра. Ось эталонной цилиндрической поверхности интерферометра совмещается с предметной светящейся линией. Далее цилиндрический,волновой.фронт падает на проверяемую де-. таль 12. Пучки, отраженный от проверяемой детали 12 и от эталонной поверхности, при совмещении интерферируют. Интерференционная картина наблюдается или фиксируется с помощью регистратора 11 интерференционной. картины. Для выравнивания интерферирующих пучков по интенсивности на эталонную поверхность наносится покрытие с необходимым коэффициентом отражения.
Введение за монохроматическим источником 1 света поляроида 2 позволяет регулировать яркость интерфеl ренционной картины, что улучшает усСоставитель Л.Лобзова
Редактор Э.Слиган Техред М.Дидык Корректор М.Максимишинец
Заказ 6146/44 Тираж 677 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.; д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 з 13 ловия работы, например при наблюдении глазом, позволяет ослабить яркость интрференционной картины, а при фотографировании-повысить.
Расположение за поляроидом 2 цилиндрической телескопической системы 3, а за цилиндрической линзой 5 щелевой диафрагмы 6 обеспечивает получение протяженного промежуточного изображения источника 1 света, равномерного по интенсивности по всей длине, свободного от рассеянного света и бликов.
Введение за щелевой диафрагмой 6 цилиндрического объектива 7, эа светоделителем 8 — второго цилиндрического объектива 9 позволяет сформировать предметную светящуюся "линию" с требуемым увеличением без потерь света.
59663 4
Формула изобретения
Интерферометр для контроля цилиндрических поверхностей, содержащий последовательно установленные монохро5 матическии источник света, зеркало, цилиндрическую линзу, светоделитель и регистрирующий блок, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью о6ес10 печения контроля протяженных цилиндрических поверхностей с размером цилиндрической образующей до 400 мм, он снабжен поляроидом и цилиндрической телескопической системой, последовательно установленными между источником света и зеркалом, щелевой .диафрагмой и цилиндрическим объективом, последовательно установленными между цилиндрической линзой и светоделителем, и последовательно установленными sa светоделителем вторым цилиндрическим объективом .и концентричаской линзой, вогнутая поверхность которой является эталонной, а выпуклая обращена к светоделителю.
