Устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов. Цель изобретения - повьпиение помехозащищенности за счет компенсации фазовых возмущений, вносимых в предметный пучок, при вибрациях отражателя. Устройство содержит источник 1 когерентного излучения и светоделитель 2, связанный оптически с системами формирования опорного и предметного пучков, а также два плоских зеркала 7 и 9, установленных напротив отверстия 8, выполненного в рассеивателе 5 1 ил. § (Л 00 ел VI о 4 гч

„.80„„1357704 А 2

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)4 G 01 В 11/24 9/021

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (61) 593070 (21) 4090673/24-28 (22) 26.05 ° 86 (46) 07.12.87. Бюл. Ф 45 (72) А.П. Голиков, М.Л. Гурари и С.И. Прытков (53) 531.715.1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 593070, кл. G О 1 В 11/24, С 01 В 9/021, 1976. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЗЕРКАЛЬНЫХ

ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов. Цель изобретения— повышение помехозащищенности за счет компенсации фазовых возмущений, вносимых в предметный пучок, при вибрациях отражателя. Устройство содержит источник 1 когерентного излучения и светоделитель 2, связанный оптически с системами формирования опорного и предметного пучков, а также два плоских зеркала 7 и 9, ус- Е тановленных напротив отверстия 8, выполненного в рассеивателе 5, 1 ил.

1357704

Ф о р мул а и з о б р е т е н и я

Составитель Л.Лобзова

Техред А.Кравчук

Редактор Г.Волкова

Корректор 0 ° Kðàâöoâà

Заказ 5986/37

Тираж 677 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, уд. Проня гнал, 4

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов таких, как их радиусы кривизны или локальные отступления поверхности от заданной формы и является усовершенствованием известного устройства по авт.св. Р 593070.

Цель изобретения — повышение помехозащищенности устройства за счет компенсации фазовых возмущений вносимых в предметный пучок при вибрациях отражателя.

На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого устройства для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов.

Устройство состоит из последовательно расположенных источников когерентного излучения и светоделителя 2, связанного оптически с системами формирования опорного и предметного пучков. Системы формирования предметного пучка включают в себя блок 3 освещения и сигнальный канал, состоящий из отражателя 4, рассеивателя 5 и регистратора 6 (фотопластинка). Система формирования опорного пучка включает плоское зеркало 7, отверстие 8 в рассеивателе 5, отражатель 4, плоские зеркала 9 и 10 и расширитель 11 пучка. Отверстие 8 вблизи центра рассеивания имеет небольшие размеры, достаточные для прохождения нерасширенного пучка лазера (несколько миллиметров). Отражатель 4 установлен на подвижной каретке механизма 12 сдвига. Расстояние между отражателем 4 и рассеивателем 5 меньше фокусного расстояния отражателя 4.

Устройство работает следующим образом.

Освещают от источника 1 когерентного излучения рассеиватель 5 и расположенный эа ним отражатель 4 предб метным пучком прошедшим через светоУ делитель 2 и блок 3 освещения. Затем отраженное и рассеянное излучение подают на регистратор 6 одновременно с опорным пучком, прошедшим от источника 1 когерентного излучения через светоделитель 2, зеркало 6, отверстие 8, отражатель 4, снова— через отверстие 8, зеркала 9 и 10 и расширитель 11, На регистраторе 6 записывают голограмму, обрабатывают ее без смещения регистратора 6 с места экспозиции. На этапе восстановления включают одновременно предметный и опорный пучки и через голограмму, записанную на регистраторе 6, наблюдают восстановленное изображение рассеивателя 5. После этого производят сдвиг отражателя 4 посредством механизма 12 сдвига, наблюдают голографическую интерферограмму сдвига, по которой судят о геометрических параметрах отражателя 4. Фазовые возмущения, вносимые в предметный пучок при вибрациях отражателя 4, в значительной мере. компенсируются такими же возмущениями, вносимыми одновременно и в опорный пучок.

Устройство для измерения геометЗ5 рических параметров зеркальных оптических элементов по авт.св. 593070, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения помехозащищенности устройства, оно снабжено двумя плос40 кими зеркалами, в рассеивателе выполнено отверстие, зеркала установлены напротив отверстия, одно — на пути отраженного от светоделителя излучения, а другое — на пути отраженного от отражателя излучения,