Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля формы конических оптических поверхностей. Цель изобретения - возможность контроля формы конических поверхностей. Излучение монохроматического источника 1 выходит из интерференционного блока 2, который формирует цилиндрические волновые фронты - рабочий и сравнения. Рабочий цилиндрический волновой фронт, дважды отражаясь от контролируемой конической поверхности, искаженный ее ошибками, интерферирует с ц1шиндрическим фронтом сравнения. Интерференционную картину наблюдают через наблюдательную систему 5. Для контроля всей площади конической поверхности контролируемый конус поворачивается вокруг своей оси. 1 ил. с (С ////. ///Х со ел со о:) а со
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК
А1 (19) (11) (51)4 G 01 В 11/24, 9/02
3СЕ(" ,g : И
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4087704/24-28 (22) 07.07,86 (46) 15.12 ° 87. Бюл. № 46 (72) И.Я.Бубис, Ю,В.Канатов и M.È.Êóçèíêoâ (53) 531 ° 715.1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
¹ 171591, кл. С 01 В 11/24, 1964.
Авторское свидетельство СССР
¹ 1226041, кл. G 01 В 9/02, 1984. (54) ИНТЕРФЕРОИЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля формы конических оптических поверхностей, Цель изобретения — возможность контроля формы конических поверхностей. Излучение монохроматического источника 1 выходит из интерференционного блока 2, который формирует цилиндрические волновые фронты — рабочий и сравнения.
Рабочий цилиндрический волновой фронт, дважды отражаясь от контролируемой конической поверхности, искаженный ее ошибками, интерферирует с цилиндрическим фронтом сравнения. Интерференционную картину наблюдают через наблюдательную систему 5. Для контроля всей площади конической поверхности контролируемый конус поворачивается вокруг своей оси. 1 ил.
135
Составитель Л.Лобзова
Техред M,Äèäûê Корректор M.Màêñèìèøèíåö
Редактор Э.Слиган
Заказ 6146/44 Тираж 677 Подписное
BHHHIIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля формы конических оптических поверхностей.
Цель изобретения - возможность кентроля формы конических поверхностей.
На-чертеже изображена принципиальная схема интерферометра для контроля формы оптических поверхностей.
Интерферометр содержит последовательно установленные монохроматический источник 1 излучения, например лазер, интерференционный блок 2, конус 3 с образцовой поверхностью, плоское автоколлимационное зеркало 4 и наблюдательную систему 5, Интерферометр работает следующим образом.
Излучение монохроматического источника 1 выходит из интерференционного блока 2, который формирует цилиндрические волновые фронты — рабочий и сравнения. Рабочий фронт падает на конус 3 с образцовой, поверхностью, ось которой совмещена с осью кривизны цилиндрического волнового фронта. Отражаясь от конуса 3, плоский волновой фронт падает на зеркало 4 и идет в обратном направлении. Дважды отраженный от контролируемой конической поверхности (не показана) волновой фронт, искаженный ее ошибками, интерферирует с цилиндрическим волновым
9669
2 фронтом сравнения. Интерференционную картину, несущую информацию об ошибках контролируемой конической поверхности, наблюдают через наблюдательную
6 систему 5. При контроле конус 3 с образцовой поверхностью заменяется на конус, поверхность которого подлежит контролю. Для контроля всей площади конической поверхности поворотным устройством (не показан) обеспечивается поворот конуса вокруг своей оси. Ошибку, вносимую поворотным устройством, можно исключить, используя конус с образцовой поверхностью. !
Формула изобретения
Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей, содержащий последовательно установленные монохроматический источник излучения и интерференционный блок для формирования цилиндрических волновых фрон26 тов — рабочего и сравнения, и наблюдательную систему, е т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью обеспечения возможности контроля формы конических поверхностей, он снабжен
Зп конусом с образцовой конической поверхностью, установленным так, что его ось совмещена с фокальной линией рабочего цилиндрического волнового фронта, и.плоским зеркалом, установленным перпендикулярно этой оси.
