Способ получения вакуума
Изобретение относится к способам получения сверхвысокого вакуума при помощи низких т-р. Цель изобретения - повышение предельного вакуума, Емкое ь 2, разметенная в теплоизолированном кожухе 1 , заполняется жидкостью 6. В кожух заливается хладагент . После образования на стенках емкости кристаллизационного слоя жидкость из емкости удаляется в резервуар 5, а т-ра сте}шк емкости еще более понижается, достигая т-ры хладагента . В результате в емкости 2 остаточное давление определяется давлением насыщенных паров жидкости при т-ре хладагента, поскольку газовыделение со стенок исключается вследствие наличия слоя замерзшей жидкости на стенках емкости, 2 ил.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН
А3
„„SU„„72098 (g1) 4 1 04 В 37/08, 37/14 л
Ф й
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
H ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4126490/25-06 (22) 01.08.86 (46) 07 ° 02.88. Бюл, 1(" 5 (72) О.Е.Бородин, 10.Г.Володин и В.Л.Каджаев (53) 621.52(088.8) (56) Патент Германии h 170677, кл. 27 Ь 5, опублик. 1906. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕ111Л ВАКУУ11Л (57) Изобретение относится к способам получения сверхвысокого вакуума при помощи низких т-р. Цель изобретения — повышение предельного вакуума, Емкость 2, размещенная в теплоизолиронанном кожухе i, заполняется жидкостью 6, В кожух залинается хладагент, После образования на стенках емкости кристаллизационного слоя жидкость из емкости удаляется в резервуар 5, а т-ра стенок емкости еше более понижается, достигая т-ры хладагента, В результате в емкости 2 остаточHое давление определяется давлением насыщенных паров жидкости при т-ре хладагента, поскольку газовыделение со стенок исключается вследст— ние наличия слоя замерзшей жидкости на стенках емкости, 2 ил.
1372098 ти на стенках емкости.
Способ получения вакуума путем занижение температуры стенок емкости, Составитель В ° Кряковкин
Техред И. Ходанич Корректор В. Бутяга
Редактор О. Головач
Заказ 467/30 Тираж 574 Подписное
БИИИП1! 1осударстненного комитета СССР по делам изобретений и открытий
1!3035, . 1оскна, Ж-35» Раушская наб.> д.4/5
Проиэнодс гн ешь — полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная > 4
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам получения сверхвысокого вакуума при помощи низких температур °
Целью изобретения является понышение предельного вакуума.
Иа фиг.1 представлена схема устройства, реализующего предлагаемый способ, н положении, соответствующем промежуточной операции способа; на фиг.2 — то же, после окончания реализации способа.
Устройство содержит теплоиэолированный кожух.1 с размещенной н нем емкостью 2, снабженной трубопроводами с запорной арматурой — вентилями 3 и 4. Один из трубопроводов через вентиль 3 сообщается с атмосферой, другой через вентиль 4 — с жидкостным резервуаром 5, заполненным жидкостью 6 и имеющим трубопровод с вентилем 7, сообщающим резервуар 5 либо с атмосферой, либо с вакуумным насосом.
Способ реализуется следующим образом.
Обезгаженная в резервуаре 5 жидкость 6 подается в емкость 2, заполняя ее полностью и вытесняя из нее весь воздух через вентиль 3 в атмосферу. Вентили 3 и 4 закрываются и в кожух 1 заливается хладагент, напри»ер жидкий азот. После образования на стенках емкости 2 кристаллиэационного слоя жидкость 6 из емкости 2 удаляется н резервуар 5, а температура стенок емкости еще более понижа)О ется, достигая температуры хладагента. В результате в емкости 2 остаточное давление определяется давлением насыщенных паров жидкости 6 при температуре хладагента, поскольку газо-!
1-. выделение со стенок исключается вследствие наличия слоя замерзшей жидкосФормула изобретения полнения емкости и последующего удаления из нее жидкости, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью
2В повышения предельного вакуума, после заполнения емкости ее стенки охлаждают до образования на них кристаллизационного слоя, а после удаления жидкости осуществляют дальнейшее по
