Способ получения сверхвысокого вакуума и устройство для его осуществления

 

1. Способ получения сверхвысокого вакуума путем откачки газа из реципиента, размещенного в герметичном кожухе, и полости последнего, отличающийся тем, что.с целью повышения пpeдeль•нt)FO.. вакул|ма, откачку газа из рещ'Пиента и полости'" кожуха осуществляют последовательно.2. Устройство для получения сверхвысокого вакуума, содержап1ее герметичный кожух, размещенн.ый в нем рециппент и вакуумные насосы, подсоединенные один к полости кожуха, а другой — к реципиенту, отличающееся тем. что, с целью повышения предельного вакуума, в полости кожуха установлена по меныпей мере одна герметичная перегородка, разделяющая ее на внутреннюю и наружную камеры, вакуумный насос реципиента расположен во внутренней камере и выход его сообщен с последней, а в наружной камере установлен допо;:- нительный насос, вход которого соединен с внутренней камерой, а выход — с наружной.<с>(Лсо100 1СЛ

COIO3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН з(я) F 04 В 37!14

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ:

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3406796/25-06 (22) 11.03.82. (46) 15.03.84. Бюл. № 10 (72) А. А. Чага и А. В. Дроздов (71) Минский филиал Государственного проектно-технологического и экспериментального института «Оргстанкнпром» (53) 621.52 (088.8) (56) l. Авторское свидетельство СССР № 436208, кл. F 17 С 3/08, 1974.

2. Тренделенбург Э. Сверхвысокий вакуум. М., «Мир», 1966, с. 257. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕРХВЫСОКОГО ВАКУУМА И УСТРОИСТВО ДЛЯ

ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ (57) 1. Способ получения сверхвысокого вакуума путем откачки газа из реципиента, размещенного в герметичном кожухе, и полости последнего, отличающийся тем, что, „.Я0„„1О79885 А с целью повышения предельного.. ваку ".ма, откачку газа из реципиента и полости пжуха осуществляют последовательно.

2. Устройство для получения сверхвысокого ва куу ма, содср ж а щее герметичный кожух, размещенный ь пем рсциппснт и вакуумные насосы, подсоединенные один к полости кожуха, а другой -- к реципиенту, отличающееся тем. что, с целью повышения предельного вакуума. в полости кожуха становлена по меньшей мере одш. I срметичная перегородка, разделяющая сс на внутреннюю и наружную камеры, вакуумный насос реципиента расположен во внмтгрепней камере и выход его сообщен с последней, а в наружной камере установлен дополнительный насос, вход которого соединен с внутренней камерой, а выход — с наружной.

1079885

Составитель В. Кряковкин

Техред И. Версс Корректор В. Синицкая

Тираж 624 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ПГ1П «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор М. Товтин

Заказ 1294/Зб

Изобретение относится к вакуумной техникс, а именно к способам и устройствам для получения сверхвысокого вакуума.

Известны способ получения вакуума путем откачки газа из реципиента в атмосферу и устройство для его осуществления, содержашее реципиент, соединенный с вакуу мным насосом (1) .

Недостатком известных способа и устройства является невозможность достижения сверхвысокого вакуума без предварительного прогрева реципиента, требующего значительных энергозатрат.

Наиболее близкими к изобретению являются способ получения сверхвысокого вакуума путем откачки газа из реципиента, размещенного в герметичном кожухе, и полости последнего и устройство для его осушествления, содержащее герметичный кожух, размещенный в нем реципиент и вакуумные насосы, подсоединенные к полости, кожуха и реципиента (2).

Однако данные способ и устройство обесllc .ивают недостаточно высокий предельный вакуум, вследствие значительной разницы в величине вакуума в реципиенте и в полости между кожухом и реципиентом, которая обуславливает значительную газопроницаемость в реципиент.

Целью изобретения является повышение предельного вакуума.

Указанная цель достигается тем, что согласно способу получения сверхвысокого вакуума путем откачки газа из реципиента, размещенного в герметичном кожухе, и полости последнего, откачку газа из реципиента и полости кожуха осушествляют последовательно.

В устройстве для получения сверхвысокого вакуума, содержащем герметичный кожух, размещенный в нем реципиент и вакуумные насосы, подсоединенные один к полости кожуха, а другой — к реципиенту, в полости кожуха установлена по меньшей мере одна герметичная перегородка, разделяющая ее на внутреннюю и наружную камеры, вакуумный насос реципиента расположен во внутренней камере и выход его сообщен с последней, а в наружной камере установлен дополнительный насос, вход которого соединен с внутренней камерой, а выход — с наружной.

На чертеже схематично представлено устройство для получения сверхвысокого вакуума

Устройство содержит герметичный кожух

1, размещенный в нем реципиент 2 и вакуумные насосы 3 и 4, подсоединенные к полости кожуха 1 и реципиенту 2, причем в полости кожуха 1 установлена по меньшей мере одна герметичная перегородка 5, разделяющая ее на внутреннюю и наружную

10 камеры, вакуумный насос 3 реципиента 2 расположен во внутренней камере и выход его сообщен с последней, а в наружной камере установлен дополнительный насос 6, вход которого соединен с внутренней камерой, а выход — с наружной.

Устройство также содержит перегородку

7, разделяющую наружную камеру на две полости 8 и 9, при этом в полости 9 расположен еше один дополнительный насос 10, вход которого соединен с полостью 8, а

20 выход — с полостью 9. Управление насосами 3, 4, 6 и 10 осуществляется следящей системой 11.

Способ получения сверхвысокого вакуум а осуществляется следуюшим образом.

Газ из реципиента 2 откачивается насосом 3 во внутреннюю камеру, образованную перегородкой 5 и реципиентом 2. Далее из внутренней камеры газ откачивается насосом 6 в полость 8, затем насосом 10 в полость

9 и насосом 4 в атмосферу. При этом количество перегородок может быть любым, соот30 ветственно и количество дополнительных насосов. В результате в реципиенте 2, в полости между реципиентом и перегородкой

5, в полостях 8 и 9 установится остаточное давление в соответствии с условием

Рь РЗ Р4 Ратн где Р1 — давление в реципиенте 2;

P — давление в полости между реципиентом 2 и перегородкой 5;

Рз — давление в полости 8;

IP4 — давление в полости 9;

P - атмосферное давление.

Следяшая система 11 поддерживает постоянный перепад давлений на каждой из перегородок, отключая и включая насосы.

Таким образом достигается повышение предельного вакуума вследствие уменьшения перепада давлений на каждой из перегородок.