Насос для откачки водорода

 

Оп ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К., АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<и964227

Союз Советскик

Социалистических

Республик (72) Автор изобретения

Г. П. Глазунов (7I) Заявитель (54) НАСОС йЛЯ ОТКАЧКИ ВЙДОРОПА

Изобретение относится к вакуумной технике, точнее к безмасляным средствам откачки изотопов водорода, и может применяться в различных- устройствах и процессах, требующих удаления водорода.

Известен насос для откачки водорода, содержащий мембрану из палладия или его сплавов, одна сторона которой обращена в откачиваемый объем, а другая - в окружаюшую атмосферу (воздух), обеспечивающую химическое связывание водорода. Насос снабжен также нагревателем, о позволяюшим нагреть мембрану до 600 С и более $1) .

Недостатком данного насоса является невысокая удельная быстрота откачки и большое время достижения предельного вакуума.

По основному авт. св. Уо 653425 иэ вестен насос для откачки водорода, со держащий корпус с патрубком для подвода откачиваемого газа и прогреваем чо диафрагму, выполненную в виде закрепленных

2 на корпусе труб иэ материала с высокой проницаем остью по водороду, преимушест

1 венно палладия f 2 ) .

Недостатком известного насоса является большое время достижения предель» ного вакуума, так как при включении насоса происходит десорбция сорбированных мембраной молекул газа в откачиваемый объем.

Бель изобретения - сокращение откач1О ки.

Укаэанная цель достигается тем, что в известном насосе в нижней части труб размещен нераспыляемый геттер.

Между патрубком и трубами установлен вакуумный клапан. На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Насос содержит корпус 1 с патрубком

2 для подвода откачиваемого газа. К кор пусу 1 прикреплена палладиевая диафрат ма, выполненная в виде труб 3. Трубы 3 закреплен;ы на корпусе 1 так, что их по

3 9642 лость сообщена с патрубком 2, В нижней части труб 3, размещен нераспыляемый геттер (Zv 16%„фФ ) 4. Снаружи труб 3 раяиоложен электрический нагре-, ватель 5, который служит для поддержа- 5 ния рабочей температуры диафрагмы и нагреватель 6 для поддержания рабочей температуры и регенерацни геттера 4.

Между диафрагмой н патрубком 2 расположен вакуумный клапан 7. Температуры 10 диафрагмы и геттера контролируются хромель-копелевыми термопарами 8 с измерителем 9.

Насос работает следующим образом.

После подсоединения к откачиваемому объему с некоторым парциальным давле» кием водорода при закрытом клапане 7 нагревают диафрагму и геттер 4 до 500-, 700 С и 300 - 400 С соответственно.

Поскольку полость труб 3 изолирована от вакуумного объема при помощи клапа-. на 7, весь десорбируемый во время про:грева до рабочей. температуры диафрагмы газ находится . внутри труб 3 и откачивается геттером 4, температура которого при помощи автономного нагревателя 6 поддерживается оптимальной (350 С).

Количество геттера 4 подбирается из того расчета, чтобы его быстрота откачки была достаточной для откачки десорбируюшегося газа, и определяется в каукцом конкретном случае геометрическими размерами и режимом работы вакуумной

27 4 системы. После достижения рабочей темо пературы диафрагмы (500 - 700 С и зависимости от требуемой быстроты откачки) открывают клапан 7. Водород, находящийся в вакуумном объеме, проникает через нагретый палладнй и химически связываез ся кислородом на. обратной стороне диафрагмы, образуя воду. .Таким образом, поскольку в предлагаемом насосе десорбированный во время разогрева гаэ не поступает в откачиваемый объем, а откачивается расположенным в нижнем кольцевом участке полости труб геттером время достижения предельного вакуума существенно уменьшается.

Формула изобретений

1. Насос для откачки водорода по авт. св. М 653425, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью сокрашения времени откачки, в нижней части труб размещен нераспыляемый геттер.

2. Насос по п. 1, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что между патрубком и трубами установлен вакуумный клапан.

Источники информации, принят1ае во внимание при экспертизе

1. Патент Великобритании

N 950405, кл. С1 N, опублик, 1961.

2. Авторское свидетельство СССР

М 653425, кл. f 04 В 37/14, 1979, 964227

Составитель О. Тишина

Редактор В. Пилипенко Техред M.Гергель . Корректор М. Демчик

Заказ 7584/8 Тираж 678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушскаи наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент „г. Ужгород, ул. Проектная, 4