Устройство для обезгаживания микроканальных пластин
Изобретение относится к электронной технике и может использоваться для обезгаживания микроканальных пластин в равномерном потоке электронов. Цель изобретения повышение производительности достигается за счет использования цилиндрической геометрии источников потока электронов, что позволяет обеспечить одновременную обработку партии микроканальных пластин в равномерном потоке электронов. Устройство содержит линейный термокатод 1, цилиндрический анод 2, имеющий ряд отверстий 3 по образующей с наружной поверхности которого установлены многопозиционный кассеты 4 электрически соединенные с анодом 2. За каждой кассетой расположен коллектор 5 вторичных электронов. Термокатод 1 и анод 2 установлены на основании 7, имеющем выводы 8 - 11 для подачи напряжения на термокатод и анод, коллекторы вторичных электронов и микроканальные пластины 12. Основание 7 выполнено в патрубком 13 для откачки и закрыто съемным вакуумным колпаком 14, установленным на уплотнении 15. 1 ил.
Изобретение относится к электронной технике и может использоваться для обезгаживания микроканальных пластин в равномерном потоке электронов. Цель изобретения повышение производительности, достигается за счет использования цилиндрической геометрии источника потока электронов, позволяющей обеспечить одновременную обработку партии микроканальных пластин в равномерном потоке электронов. Сущность изобретения поясняется чертежом. Устройство для обезгаживания микроканальных пластин содержит линейный термокатод 1, расположенный аксиально цилиндрическому аноду 2, выполненному с рядами отверстий 3 по образующей анода 2, с наружной поверхности которого установлены многопозиционные кассеты 4, электрически соединенные с анодом 2. За каждой кассетой 4 расположен коллектор 5 вторичных электронов, площадь которого больше или равна суммарной площади всех отверстий 3 соответствующего ряда. По торцам анода 2 установлены охранные электроды 6, выполненные в виде усеченных конусов. Термокатод 1 и анод 2 установлены на основании 7, которое снабжено электровводами 8, 9, 10 и 11 для подачи напряжения соответственно на термокатод 1, анод 2, коллекторы 5 вторичных электронов и микроканальные пластины 12. Основание 7 выполнено с патрубками 13 для откачки и закрыто съемным вакуумным колпаком 14, установленным на уплотнении 15. Для обеспечения равномерности потока электронов по поверхности микроканальных пластин при их обезгаживании, соотношение между радиусом анода R и радиусом отверстия в аноде r выбрано из выражения 
R 
где 
предельная величина относительной неравномерности плотности электронного потока по площади отверстия в аноде, равная 0,01-0,2. Устройство работает следующим образом. В многопозиционные кассеты 4 устанавливают микроканальные пластины 12, которые для обеспечения оптимального режима обезгаживания подбирают по группам по номинальному напряжению. Кассеты 4 закрепляют на аноде 2 и опускают колпак 14 на основание 7 вакуумной камеры, после чего ее откачивают через патрубок 13. Затем подают напряжение на анод 2, микроканальные пластины 12 и коллекторы 5, а напряжение на термокатоде 1 плавно повышается до тех пор, пока он не обеспечит заданный уровень плотности электронного потока на входных поверхностях микроканальных пластин 12. Напряжение на каждой кассете 4 устанавливают такой величины, чтобы суммарный выходной ток коллектора 5 группы микроканальных пластин для каждой кассеты имел номинальную величину. После завершения электронной обработки напряжение с электродов и кассет снимают, под колпак 14 напускают воздух, колпак 14 поднимают, кассеты 4 снимают с анода 2 и обезгаженные микроканальные пластины извлекают из кассет. При использовании данного устройства возможно проводить групповое обезгаживание микроканальных пластин при высокой одноpодности потока электронов, что позволяет повысить производительность не менее, чем в 20 раз.
Формула изобретения
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБЕЗГАЖИВАНИЯ МИКРОКАНАЛЬНЫХ ПЛАСТИН, содержащее герметичную камеру, в которой размещены источник электронов, анод, коллектор вторичных электронов, средство для крепления микроканальных пластин и электровводы, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности, источник электронов выполнен в виде цилиндрического прямонакального термокатода, расположенного на оси полого цилиндрического анода, на торцах которого установлены электрически соединенные с ним охранные электроды в виде усеченных конусов, а на боковой поверхности вдоль образующей выполнены ряды отверстий, диаметр которых выбран равным диаметру обезгаживаемых микроканальных пластин, средство крепления которых выполнено в виде многопозиционных кассет, установленных с электрическим контактом на внешней поверхности анода, причем за внешней стороной каждой из кассет установлен коллектор вторичных электронов, а радиус R анода выбран из выражения
где r радиус отверстия в аноде, м; d предельная величина относительной неравномерности плотности электронного потока по площади отверстия в аноде, равная 0,01 0,2.РИСУНКИ
Рисунок 1
