Столик объектов для электронного микроскопа

Авторы патента:

H01J37/20 - устройства для крепления или управления положением объекта или материала; устройства для регулирования диафрагм или линз, конструктивно сопряженных с опорой (подготовка образцов для исследований G01N 1/28)

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧ ЕСКИНА

РЕСПУБЛИК

А1

„.SU„„1458 04 (51) 4 Н Ol J 37/20

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

flO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 3708542/24-21 (22) 11.03.84 (46) 15.02.89. Бюл. У 6 (71) Сумское производственное объединение "Электрон" (72) Р. А. Гришин (53) 621.385.833(088.8) (56) Патент Японии Р 50-13146, кл. Н 01 J 37/20, 1975.

Патент Японии К 57-52705, кл. Н 01 J37/20,,1982. (54)(57) 1. СТОЛИК ОБЪЕКТОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА, содержащий каретку, соединенную с патроном для образцов, и механизм перемещения, выполненный в виде толкателя и пластины с односторонним уклоном, установленной с возможностью возврат1, Изобретение относится к узлам электронно-оптических приборов, в частности к электронным микроскопам.

Цель изобретения вЂ” повышение точности позиционирования путем обеспе-: чения линейной зависимости перемещений, повышение виброустойчивости и уменьшение габаритов за счет упрощения конструкции.

На фиг. 1 представлен стол объектов, вид сверху; на фиг. 2 вЂ” разрез

А-А на фиг. 1.

Столик объектов для электронного микроскопа содержит каретку 1, на которой установлен патрон 2 для образцов 3, толкатели 4, 5 с взаимно перпендикулярными осями, механизмы 6 перемещения, пружину 7, поджимающую кано-поступательного перемещения, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности позиционирования путем обеспечения линейной зависимости,перемещений, повышения виброустойчивости и уменьшения габаритов, введена неподвижная наклонная опора с расположенными на ней телами качения, на которых размещено большее основание пластины с односторонним уклоном, наклонная плоскость которой ориентирована вертикально, перпендикулярно оси толкателя.

2. Столик объектов по и. i о тл и ч а ю шийся тем, что угол между наклонной плоскостью пластины и ее большим основанием равен 7-12 о

2 О 4 ретку 1 к толкателям 4, 5; Механизм 4:ь

6 перемещения снабжен пластиной 8 с Ql односторонним уклоном в 7-12, опира- QQ ющейся большим основанием на тела 9 Я ) качения, размещенные на неподвижной опоре 10 а наклонная плоскость пластины, взаимодействующая с толкателем, расположена вертикально, перпендикулярно оси толкателя. Пластина 8 меньшим основанием опирается через шарик

11 на механизм 12 подвижки и поджата сверху пружиной 13.

Столик объектов для электронного микроскопа работает следующим образом.

При вращении рукоятки механизма 12 подвижки пластина 8 своим большим основанием перемещается на телах каче/ з

1458904

4 ния по параллельной ей неподвижной ной, перемещается, приводя в движеопоре 10, при этом наклонная плос- ние толкатель 4. Сила, действующая кость пластины 8, оставаясь вертикаль - на толкатель, совпадает с его осью.

Составитель А. Гаврилов ,Редактор М. Келемеш Хехред Л.Олийнык Корректор С. Патрушева

Заказ 373/55 Тираж б94 Подписное

BHHHIIH Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r Ужгород, ул. Проектная, 4

Столик объектов для электронного микроскопа

Изобретение относится к электронной технике

Устройство для исследования поверхности твердого тела // 1324079

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при анализе эмиттированных поверхностью твердого тела частиц по направлению, энергии и массе в сверхвысоковакуумных установках

Вакуумный манипулятор // 1302352

Изобретение относится к электронной спектроскопии

Устройство для исследования поверхности твердого тела // 1302351

Изобретение относится к приборостроению

Просвечивающий электронный микроскоп // 1262593

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано при конструировании устройств для перемещения объектов в просвечивающих электронных микроскопах

Устройство для электронно-микроскопического исследования образцов при воздействии ультразвука // 1238173

Изобретение относится к технике микроскопии и может быть использовано при исследовании физических свойств металлов в условиях сочетания ультразвукового и статического воздействий на кристаллы и непосредственного изучения этих структур в ,.

Способ определения активности нейронов головного мозга на электронно-микроскопических препаратах // 1223079

Переключаемое магнитное устройство для закрепления на магнитопроводящем основании // 1211824

Изобретение относится к приборостроению

Гониометрическая приставка для деформирования объекта в электронном микроскопе // 1205207

Растровый электронный микроскоп // 1191980

Погрузочно-разгрузочное устройство для полупроводниковых пластин для установки ионной имплантации // 2126191

Способ и устройство для инактивации загрязняющих примесей в биологической жидкости // 2219951

Твердотельное исполнительное устройство // 2260828

Изобретение относится к области оптики и предназначено для использования в качестве дефлектора в системах управления положением оптического луча в пространстве

Наконечник держателя и сетка для электронной томографии // 2300822

Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов

Предметный столик // 2310218

Изобретение относится к области микроэлектронной техники и может быть использовано при разработке технологического и тестового оборудования

Предметный столик растрового электронного микроскопа // 1522318

Изобретение относится к электровакуумным приборам и может быть использовано для управления положением объектов в растровом электронном микроскопе

Сканирующий туннельный микроскоп // 1531181

Изобретение относится к туннельной электронной микроскопии и может быть использовано в приборах для исследования физических свойств поверхностей твердых тел с разрешающей способностью порядка размеров атомов

Способ извлечения изделия из вакуумного объема // 1612341

Изобретение относится к области вакуумного машиностроения и может быть использовано в вакуумных установках для нанесения пленочных материалов и для проведения исследований материалов в сверхвысоком вакууме

Диафрагма электронного микроскопа // 1615821

Изобретение относится к диафрагмирующим управляемым устройствам электронной микроскопии и может использоваться в качестве исполнительного механизма, работающего автономно в вакууме

Предметный столик электронного микроскопа // 1636895

Изобретение относится к технике электронной микроскопии