Гониометрическая приставка для деформирования объекта в электронном микроскопе

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧ ЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

Д1) g H 01 J 37/20 1,г. с

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

И ABTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬП ИЙ (21) 3656484/24-21 (22) 28.10.83 (46) 15.01.86.Бюл. 11 2 (71) Физико-технический институт низких температур АН УССР (72) Б.И.Веркин, В.К.Чернецкий, Ф.Ф.Лаврентьев, И.Д.Абушенков, У.Мессершмидт (DD) и Ф.Аппель (DD) (53) 621.385.833(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 396751, кл. Н 01 J 37/26, 1971.

2. Messerschmidt U., Арре1 F.

Principles of the Design of Strai—

ning Stages. -Kristall und Technik, v.14, 1979, 11 - 10, р.1245-1248 (прототип). (54)(57) ГОНИОМЕТРИЧЕСКАЯ ПРИСТАВКА

ДЛЯ ДЕФОРМИРОВАНИЯ ОБЪЕКТА В ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ с вертикальным вводом объекта, содержащая элемент термического расширения с электронагревателем, шарнирно связанный с двумя симметрично расположенными поворотными рычагами, установленными на корпусе гониометра, снабженном карданным сочленением, выполненным B

„„SU„,, 12О52О7 д виде двух помещенных одно в другое колец, оси вращения которых расположены в одной плоскости и развернуты под прямым углом одна относительно другой, и объектодержатель, отличающаяся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет совмещения силового нагружения с охлаждением объекта, она снабжена источником жидкого хладагента и двумя выполненными из теплопроводящего материала опорами, которые имеют рабочие площадки для установки объектодержателя, расположенные в плоскости осей вращения колец карданного сочленения, при этом опоры связаны со свободными концами поворотных рычагов посредством стержней из теплоизолирую— щего материала и выполнены с теплообменниками, которые гидравлически связаны посредством гибких трубопроводов через впускной и выпускной патрубки с источником жидкого хладагента, а выпускной патрубок соединен через гибкий теплопровод с элементом термического расширения.

Изобретение 07 HOCHI к злзктронНоН микроскопии H может быть использовано при исследованиях кине :атики и динамики процессов пласт;-лче:кой деформации и фазовых превращений при низких температурах не.-.осред"(Бен(ло при деформировании Б колонне злекTPOICH0Г0 МИКРОСКОПБ С 9ЕЭТИКа IBHk)!l>I>4

I вводам исследуемого объекта, Известна гон(лом трнческая прис— тавка для деформирования объекта при комнатной :-емпературе в электронном микроскопе с Бертикальныл вводом объекта... состоящая из биметаллических пластин., нагревателей и рыча,ов, на свободных концах yc-.HHoâëåíû зксцентриковые зажимы для крепления объектодержателя Г11, Однако в этом устройстве невозможность охлаждения нагружаемого объекта ограничивает функциональн)>(е возможности устройства, Наиболее близким к изобретению является гониометрическая пристаэка дпя деформирования объекта при комнатной температуре в электронHt3M микроскопе с верт<лкальнь>ми в задом объекта, coäåp>êàùàs элемен: т рмического расширения с злектро— н,ьгревателем, шарнирно связанный с двумя симметри (но расположенными по— в >ротными рьг агами, vcTGHoBJIBHHbMH на корпусе гониометра, снабженном карданным сочленением, выполненным в виде двух помещенных однО в другое к<злец> сси вращения которых распо л<зжены в одной плоскости и развер— нуты год прямым углом одна относительнс пругой и Объектодержа— таль Г2 <, Для устройства характерны Над жность конструкции, повышенная плавность и жесткость нагружения,. а также большой интервал углов лов эрота -Oáúåê-а, )u +22 ) .

Недостатком известнсго устройстB а является зтcóòñòBèå возможности совместить силовое нагружение и следуемого объекта с его охлаждением до криогенньж температур. Объясняется это тем, что электронные микроскопы с вертикальным вводом обьекта имеют весьма ограниченные габариты рабочего пространства вблизи объекта, так как в большинстве случаев объект размещается в канале полюсного наконечника объективной линзы. Это снижает эксперименталь1 "it <0.).),)ж)lос .1; (<>:,.H!S!3е<)I а-(ьнсс->--„ й"" ":<0(МЕ -0 О Г "-ЯЗ.)

Л -« 1. t-,,,:,.. -, (>(7 ". (<К . T<„; i, « tt — = ->,=

-)p-(;бхс 7имь: исс; е,<о)-:: - .(1<, -,—:н к .Н ь. (!)епосрв д(1 тв Б;нно 1- ко.. 0)и): —. 1< 1 < Г (. I i(01 Г) <ЛИКТ .C:С Oi P; B PO Hi«P tiB—

i< ) 00 <)PRO) " <1100. Н" Е 0 ) (>P."; > =

< . Д «O Б Р Е, < ()П (Ы) I Е О 0 ХЛ а ЖД Е Н <, Е 1>< -) ) <; )в

t ;t<>. ни епве.)(- темпР»,- < >>г (-;

:()":") I ..(7(10 НЯ>ПЬ) (!>(Х Б Π—;МО 1 НО(1 ТP H >C О ;H

0;, С -le) Совмь.)(е ни С н<.(<ь 0

";:а))зн)(а(1<е (ь 1(о<з-,игает: я те:", < (- —. (и:иомет; ичсс :-.я прHcта-):кг . ля — Р ..- <)р м(100вэни. -. Об 1 ек та Б ЗГ:ек

) t .(НОМ МИК P 0<1 КОПГ . Б Р i . Кк () IЬ НЬЗ("- я< (О "1 > < tт>ех (а,, с дезжащая 3> <Р= ->1< <. срмич<ь-.кого; Оасшнре<-:ия с "= pK. pp(-." >>"-I ß Я>Л»(ЕтРИ<> HO,О: <- -0

)-:)i. ("" ((ЬМ(Л РЫ :. II ам(. ) «CT ПНОВ.! Сн:I!C И . л,:.Орпу(е Гс 1)ндм = т 0»

)) Г>. <ДЕ,JB Ó > Г Оь(ЕЩ(1 - НЫХ О, <1-. .)() )< 3 I I 11... 3(И БP (ЦСH) Я К 07 ОВЬ".Х ="(-..<. . < !.:ж(ны 3 Однс й:. „Ic с к :с т,.:-;:- Б() е". а н дв умя зь по.(и<= нными из 7.е(7:10р с?. о ця це Г 0 i а т = p): ада О и О р а(".и .:. . i т <. рь)е Н<е;о7 р бонне ),)-.c)ùàäêH:(я ус— аь) c K .."Оде ржа: p J-", (е l >ь! 3 плОс.- 0 ст) Ос cи ВГ а!1(н(<. . к ° л=-Б карданно(0 ссчле iek!Hя > при: —;7 о(-:

:: —,0pû связань) со свобод-"üïè ";.OHцам> ОБ 000 (",-(Ь Х; С>Ь<т(((Г 0»= -О < ЕДС вЂ”; — —.0> ней из геплои зо::.Hi.ующе) 0 ма -pH-,.; а е Б ь)п 0 т(1(е нь) (1 т c . и . с 0 б м(— ) I"-> к а i

r.,i ОПЫЕ Г>Л)(РаБЛ)(ЧЕСКИ ((БЯЗБНЫ 0> := П. ()т<вом ) .л<)ки"« р> <0(1)7poB Од<ОБ =О,з<.. 1

;.::.<-).ус к ной )-:: Бь пускной патрубк- с

". 011-".Нкогл жидкого хладаге -(та < а я<в

-1 уСК - зй;- ато<,б>ОК С <- Е«АНЕН --Е"„Р =. - БГ— ц кий теплопрсвод с элементом термического расширения, На фиг. 1 представлено устройство, Общий вид; на фиг,2 — поперечное сечение B плоскости карданного сочленен)ля; на фиг:3 — теплообменник опор, сечение; на фиг.k — соединение гибкого теплопровода с элементом терми5, (ji0; !

-. О!T— C I "" г т

i т) p, () т. !!:ii )j1г(((г(!111 Пи г .:) т тг.

)О Р(1(.(I О T tli!J (;)i;PH г

I ;i ?(1Т=

TT01tO. OTÎit

О. (П :(гl 0.1(тг(!г((Г т" т т гт г

П -. г T.(р(:() C::110:;;) (г(г "г)1(!()г г(гОО((,гГг) ;,:,,! (гг !I 15! г ). !г

;::.. t;1- О:(. - .. .::".:t Т

) --;,:; — г

„;(т;!(.t T т! —;ПI!". . I "", .",т ".т (,г):," ". ((;)Т 0 гг(. .! (г:IР Е, i IP," Ò 0 ; T ; 1". !. (. :

TC; n Il III!) .t t ) . .: (". - I.I i I !

1: О 55 )(1: гг(:. О(:О 550.I 3 . I(. (1(О!51IO!11 1(O 1(;т!) .УОО I О !! г

3 (1(() C! 1(1((т((г(! t,. il(l t !3 5(11 t О ! . - .. 1 . (г-,г() t !(г О г..,;-) (5,515!1 5!

IIIiÅ;1, .(0 I ОР Ot" Ii i 0.1-((ПО i! I I 5 У:-:

5(т!Х Ol!О!) г.:... - — . ) ) i(0.1 ; . 1:,г(° ОРИ:30!! ("..;Ii I:. : " (г . " .: I!

1:O;)i!5t (тl:1;г - Ll u .!r(()Тг(ОО)(::..)г О

1 C) I, . ; i I т 7 1 . I I i t, ., г(О (т ir O !

ПС-г тг((!(ОР(!))г .Д I

УСТ!7(7(!(1 (1!(7 01(я".;-.;.=iio;ii! У г):.

: 1 гl 8 И 1 () 5 ij"-:() г !- "(2г(1 И ) 1! - (г! г, (1((1(!! 0 . 7

1, О, -„,(-п г..;-, 1! "П . О

К(; От)!т(, Р((" fo:1():;t -" - 110 г

oi;;1), г", (!((it (тг . 1 ("

::Or u (Огt(iet т 1. (тПОр(г. 1 т.т (г! (т (1!ОГт т ((i(.1)!(г IГО,!11

Г ! (Г;,*,! 1!)(!Г ((!г! ;;, 3 3: . . (Ь(1 ".-р(), т эр -i - Г -пг- О;;. Tt--1-; -,-;t)I (Г по ()Г:(! С (.- ) Ti (О" ) )О ((TTTj, .1; Т(, (Рт ГП " гт, .!) г ? t Ti, О "

1 О toi!01) It,::7,i 1 О !гг)ггт г.t!1. с

O(= (!!!!(5(О).:,. 3 1, 3,).. г(ОТОр .:- ц

rior,Оpicr Г)c гr..г) пр«((е .г t)pt )л гл, -. —. )

);„-TT 11 (,;ПО (i-PIT(t . И,(rr t)r iQ, т;

Р (г Я(э (г!т(. Р iT (ОО !Pit!i!1;-(И

1- И (17 г) П П т(гг г (T(... О (г TI g г ).т t) t) P P,т ) ij ():-:

1- -(-,.г. 5(.;,т (1((11!.lt!

: О )"i C.:I I(!11 г ((71) f. 17 (1.".. 1) !— ., (г.,7(. I т. (О . .((IТЛ 1 ТPp . 1(- 1 :(0 .",() г.!!..!!О (т:, -- т (г г: (;(."- Т (11-1 т(т—.!.1 ... 01 . г г .(:1 . г((, :Ii)C ! - . - !() I (!t," I1C .. -(1(т

3 ) 1(17 О т (г(, И(1 т! ((О г =(CpOППС!rb:

,,10 1 j!! 1 ) Ю вЂ”..—,0),;TI 1 -, HOP C0O

- ". ". г 7 . . I t О П:1 0 Т . ". Л . ..10 i(. ) 01 1

Р; ";:. О О . О (гг(" .. гИ) ( (. " — т "" Тп t-;r "t 11„-,2..(0 (° -,, г- -,; -; т.г 1, т-| .т(7 )Т т- 1,(((r(r(О -- - " . : гг ".;т ((1 !т 3 7 IT 0 т \ г т г т:"т г(г Т Т(1;.тт IC IT Tr и" = " "-т Р Еп;. П;1;7(т!

) опор; (- (c, ! 1>; Ч (>, 1

Д,/(,. (!

fc о(:

1!(Р-,i(I (5 >, -)

> ..,2 ! (( (! (!

- 10 вь б() 3}}I, >(ОC I >3 : О, K а «i(5(I}L> Й

"lI -(I (. }3 т о

ЕЛЬI: О ".1:}J-.}>}й т бол(3 е

Р>}>(Ч "} ОВ К (:с3В

И т ОК I (r(J3 g!

О(: 1 (;1(« )(Р(2 3 ()!((((; - Д (1 ;;i;; 1 .*!. жв I I); >, I I;(1)(: (::.т :=, (.t I 4 l I ((}>

I.(.;, К ii ifl " ; : и !.:, 1;,1 (> !

«е (I I i . - (), Г 1; > а, (f i ),".

11,! 5"„ (,; . СК; .::: )(« ° т:()(т,, f : !(iIj j > ((}. >!,: ., (.J (:-;1,! } ()К а нагрев атег(ь 2, можно осуще =твнвть силовое ц}(клическое нагруженио Обью- к та > а периодическим изменением тгм— пературь(}}одаваемь}х E теплоабме }II-.— ки 3 (и 32 паров хладагентэ. можнс( осуществлять также -. термическое нагрев-охлаждение ) циклиров ание объекта и. с)}едованив., Трубопроводы

3.) > .) (.,.")6 и 37 облад(,а}() больной (1, i l i 11;1 ) ()К О(> (Г Г «1>)>(}>Е и (кими, тоб(,(оf)! с -!е(- ит} (: б(-(ьц! „«() ж>=(. -(;о(- 1 } i- } в

I."(.(}>(уст ройс -}3» 7 > ) }:k1 ж(13 )(. Yi5. 3!. ."} чч (1 1> р яв н}(т .>Г..(- I)D}>ТОК ПО СтЕ0)ХНЯМ О ":- ((х -:а(т(Й т!0(зс(1О (}ь х аУ-Л Л PII!>L"(О(}(!О 31 (И! д б () (а и - 0 1. к ) 1} (, 1) )(i(; . -. (и и -) 7 I? 05207 Д не превь ревышает 0 2 Вт что соответУ 1 генных температур, близких к темпествует расходу жидкого гелия 0,3 ф, ратуре жидкого гелия, а также осу—

Таким образом, наличие опор с :цеств:.ять силовое (сжатие-растяже ш теплообменниками, связанных с ры- и термическое (нагрев †охлажден) чагами посредством достаточно жест- циклирование объекта исследова .ия. ких теплоизолирующих стержней, а так- При этом обеспечивается наклон объек-. же тепловая связь элемента терми- та исследования относительно пучка о ческого расширения с выпускным пат- электронов в интервале углов - -2 . рубком, охлаждаемым отработанными па- Все это расширяет область применерами хладагента, обеспечивают возмож- 10 ния устройства, так как значительно ность силового нагружения объекта повышаются его универсальность и при одновременном охлаждении до крио- функциональные возможности.

ВНИИПИ Заказ BS3 /S4 Тираж 678 Подписное

Филиал ППП "Патент", г.,УжГород, ул. Проектная, 4