Просвечивающий электронный микроскоп

 

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано при конструировании устройств для перемещения объектов в просвечивающих электронных микроскопах . Цель изобретения - упрощение конструкции. Верхняя 1 и нижняя 2 платы объектодержателей жестко соединены между собой в единый подвижный стол с помощью стержней 3, выполненных из немагнитного материала. Стержни 3 проходят через симметрично расположенные отверстия, выполненные в верхнем полюсном наконечнике объективной линзы 9. Приводные элементы 14 механизма перемещения стола размещены в камере объектов. При этом каждая плата 1 и 2 стола снабжена отдельным шлюзовым устройством 11 и 12 для i с & смены исследуемых объектов без нару (Л щения вакуума в колонне микроскопа. Предложенная конструкция позволяет исключить дополнительный механизм для перемещения платы 2 л использовать наиболее простой механизм, являющийся общим для обеих объединенных плат 1 и 2. 1 ил. 13

СО!ОЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

А1 (!9) (!!) a)) 4 Н 01 J 37/20

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

М iZ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTHA (21) 3916683/24-21 (22) 27.06.85 (46) 07.10.86. Бюл. У 37 (7!) Сумское производственное объединение "Электрон" (72) С. Ф. Зелев, В, К, Кононенко и А. М. Климовицкий (53) 621.385.833(088.8) (56) Пилянкевич А. Н., Климовицкий А, N. Электронные микроскопы.

Киев, Техника, 1976, с. 84.

Sparrow Т. I,, Tang Т.Т., Valdre U, Objective Lensand Speciment

stages for a Versatile high voltage

СТЕМ/STEM. — J. Microsc Spectrosc

Е1есйтоп, 1984, ч. 9, р. 279-290. (54) ПРОСВЕЧИВАЮЩИЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП (57) Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано при конструировании устройств для перемещения объектов в просвечивающих электронных микроскопах. Цель изобретения — упрощение конструкции. Верхняя 1 и нижняя 2 платы объектодержателей жестко соединены между собой в единый подвижный стол с помощью стержней 3, выполненных из немагнитного материала.

Стержни 3 проходят через симметрично расположенные отверстия, выполненные в верхнем полюсном наконечнике объективной линзы 9. Приводные элементы 14 механизма перемещения стола размеще" ны в камере объектов. При этом каждая плата и 2 стола снабжена отдельным шлюзовым устройством 11 и 12 для, <О смены исследуемых объектов без нарушения вакуума в колонне микроскопа.

Предложенная конструкция позволяет исключить дополнительный механизм для перемещения платы 2и использовать наиболее простой механизм, являющийся общим для обеих объединенных плат

1 и 2. 1 ил.

1262593 2

l5

Формула изобретения

Составитель В. Гаврюшин

Техред Л.Сердюкова Корректор. Л. Патай

Редактор О, Головач

Заказ 5438/52 Тираж 643

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по.делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д, 4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к электройной микроскопии и может быть использовано при конструировании устройств для перемещения объектов в просвечивающих электронных микроскопах (ПЭМ).

Цель изобретения — упрощение конструкции за счет исключения одного из механизмов перемещения плат объектодержателей.

На чертеже показана схема ПЭМ в области объективной линзы, ПЭМ содержит верхнюю 1 и нижнюю 2 платы объектодержателей, которые жестко соединены между собой при помощи вертикальных стержней 3, Для верхнего ввода служит первый объектодержатель 4, для бокового ввода — второй объектодержатель 5. При этом при боковом вводе может быть использовано несколько .объектов 6, фиксация положения которых осуществляется фиксатором 7 и пружиной 8.

Стержни 3 выполнены из немагнитного материала и проходят через отверстия в верхнем полюсном наконечнике объективной линзы 9, В немагнитной втулке 10 имеется расточка для размещения нижней платы 2.

ПЭМ снабжен шлюзовым устройством 11 для верхнего ввода и шлюзовым устройством 12 для бокового ввода объектов.

Электронно-лучевая конденсаторная система 13 размещена на объективной линзе 9, оптические оси которых совмещены. Приводные элементы 14 механизма перемещения плат размещены в камере объектов ПЭМ, Устройство работает следующим образом.

Первичный пучок электронов,формиру-. емый электронно-лучевой кондеисорной системой 13, направляется на исследуемый объект, находящийся в. объектодержателе 4, размещенном на верхней плате 1, В таком режиме работы объективной линзы 9 могут быть получены высококонтрастные изображения при малых увеличениях, исследованы магнитнйе объекты, так как объект расположен практически вне магнитного поля объективной линзы.

При исследовании объектов в характеристических рентгеновских лучах so вторичных и отраженных электронах необходимо использовать боковой ввод объекта. При этом объектодержатель 4 выводится из канала объективной линзы с помощью шлюзового устройства 11, и вводится без нарушения вакуума второй объектодержатель 5 для бокового ввода, смонтированный на нижней плате 2 в немагнитной втулке IO.

Перемещение объекта в горизонтальной плоскости при верхнем и боковом вводе осуществляется одними и теми же приводными элементами 14 механизма перемещения плат, размещенными в камере объектов, Это позволяет исключить дополнительный механизм для перемещения нижней платы и использовать для этого один наиболее простой механизм,. являющийся общим для обеих объединенных плат, Просвечивающий электронный микроскоп, содержащий электронно-лучевую конденсорную систему., объективную линзу с верхним 1и нижним олюсными наконечниками между верхней и нижней платами объектодержателей и механизм перемещения плат, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью упрощения конструкции, верхняя и нижняя платы объектодержателей жестко соединены между собой с помощью вертикальных стержней, выполненных из немагнитного материала и размещенных в отверстиях, симметрично выполненных в верхнем полюсном наконечнике объективной линзы, причем диаметр отверстий составляет не менее суммы диаметра стержня и предельной величины перемещения плат в перпендикулярном к оптической оси направлении.